化学机械研磨设备国际招标公告2
化学机械研磨设备国际招标公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 倍线宽内层铜导线化学机械研磨机 | 1 | 详见招标文件 | |
2 | 多晶硅化学机械研磨机 | 2 | 详见招标文件 | |
3 | 介电层化学机械研磨机 | 4 | 详见招标文件 | |
4 | 铝金属化学机械研磨机 | 1 | 详见招标文件 | |
5 | 内层铜导线化学机械研磨机 | 1 | 详见招标文件 | |
6 | 钨插栓化学机械研磨机 | 1 | 详见招标文件 |
标签: 化学机械研磨
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