原子层沉积设备国际招标公告2
原子层沉积设备国际招标公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 300mm 等离子加强型原子层高质量氧化硅沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
2 | 300mm 热原子层氧化铪沉积设备 | 1 | 详见招标文件 |
标签: 原子层沉积设
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