序号

货物名称

招标技术要求

1

离子扫描显微镜

1.1镓离子束

1.1.1离子源种类：液态镓离子源，保证寿命不低于2000小时

1.1.2分辨率： ≤3 nm

1.1.3加速电压：1kV ～ 30 kV

1.1.4束流强度：1pA to 100 nA

1.2氦离子束

1.2.1离子源种类：氦气

1.2.2分辨率： ≤0.5 nm

1.2.3加速电压：10 kV ～ 30 kV

1.2.4束流强度：0.1 to 100 pA

1.2.5具有电子束流枪，可对绝缘体材料无干扰加工

1.3探测器：样品室内二次电子探测器

1.4气体注入系统

配有多气体注入系统，沉积材料包括Pt, W, XeF2, PMCPS, TMCTS, deionized water等

1.5 样品室以及样品台

1.5.1 样品室内具有CCD相机系统；

1.5.2 样品室内部尺寸不小于280mm×280mm×260mm (L×W×H)

1.5.3 五轴高精度超优中心全自动马达样品台

1.5.4 样品台X Y 方向移动范围不低于48mm，Z方向移动范围不低于8mm，倾斜角度 T 范围不小于0到56度，旋转角度R=360°

1.6 真空系统

1.6.1 无油机械泵、2个分子泵（450 L/sec）和1个离子泵(40 L/sec)

1.6.2 配有用于快速更换样品的样品预交换室loadlock系统

1.7 系统控制

1.7.1 基于Windows 7操作系统的64位图形用户界面，

1.7.2 带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的双轴遥感操作系统

序号

目录

招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期

货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

3

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）其他商务要求

1

关于交货

1.1签订合同后260天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学检测中心指定位置。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

1

离子扫描显微镜

1.1镓离子束

1.1.1离子源种类：液态镓离子源，保证寿命不低于2000小时

1.1.2分辨率： ≤3 nm

1.1.3加速电压：1kV ～ 30 kV

1.1.4束流强度：1pA to 100 nA

1.2氦离子束

1.2.1离子源种类：氦气

1.2.2分辨率： ≤0.5 nm

1.2.3加速电压：10 kV ～ 30 kV

1.2.4束流强度：0.1 to 100 pA

1.2.5具有电子束流枪，可对绝缘体材料无干扰加工

1.3探测器：样品室内二次电子探测器

1.4气体注入系统

配有多气体注入系统，沉积材料包括Pt, W, XeF2, PMCPS, TMCTS, deionized water等

1.5 样品室以及样品台

1.5.1 样品室内具有CCD相机系统；

1.5.2 样品室内部尺寸不小于280mm×280mm×260mm (L×W×H)

1.5.3 五轴高精度超优中心全自动马达样品台

1.5.4 样品台X Y 方向移动范围不低于48mm，Z方向移动范围不低于8mm，倾斜角度 T 范围不小于0到56度，旋转角度R=360°

1.6 真空系统

1.6.1 无油机械泵、2个分子泵（450 L/sec）和1个离子泵(40 L/sec)

1.6.2 配有用于快速更换样品的样品预交换室loadlock系统

1.7 系统控制

1.7.1 基于Windows 7操作系统的64位图形用户界面，

1.7.2 带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的双轴遥感操作系统

序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

免费保修期

1.1产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），货物免费保修期为1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24 小时内提供现场服务。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

（二）其他商务条款偏离表

1

关于交货

1.1签订合同后260天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学指定地点。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

55

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

3

检测报告

（仅适用于对产品有检测要求的项目）

2

专家打分

因不同产品检测要求可能不一样，建议由采购人根据采购项目的具体情况确定需要提供的检测报告的类别并设置评分规则，统一采用客观评分。

5

技术规格偏离情况

50

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，每负偏离一项扣5分

3

商务需求

7

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

4

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣20分。

2

其他商务条款偏离情况

3

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣20分。

4

综合实力部分

8

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

3

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。

序号

货物名称

招标技术要求

1

离子扫描显微镜

1.1镓离子束

1.1.1离子源种类：液态镓离子源，保证寿命不低于2000小时

1.1.2分辨率： ≤3 nm

1.1.3加速电压：1kV ～ 30 kV

1.1.4束流强度：1pA to 100 nA

1.2氦离子束

1.2.1离子源种类：氦气

1.2.2分辨率： ≤0.5 nm

1.2.3加速电压：10 kV ～ 30 kV

1.2.4束流强度：0.1 to 100 pA

1.2.5具有电子束流枪，可对绝缘体材料无干扰加工

1.3探测器：样品室内二次电子探测器

1.4气体注入系统

配有多气体注入系统，沉积材料包括Pt, W, XeF2, PMCPS, TMCTS, deionized water等

1.5 样品室以及样品台

1.5.1 样品室内具有CCD相机系统；

1.5.2 样品室内部尺寸不小于280mm×280mm×260mm (L×W×H)

1.5.3 五轴高精度超优中心全自动马达样品台

1.5.4 样品台X Y 方向移动范围不低于48mm，Z方向移动范围不低于8mm，倾斜角度 T 范围不小于0到56度，旋转角度R=360°

1.6 真空系统

1.6.1 无油机械泵、2个分子泵（450 L/sec）和1个离子泵(40 L/sec)

1.6.2 配有用于快速更换样品的样品预交换室loadlock系统

1.7 系统控制

1.7.1 基于Windows 7操作系统的64位图形用户界面，

1.7.2 带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的双轴遥感操作系统

序号

目录

招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期

货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

3

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）其他商务要求

1

关于交货

1.1签订合同后260天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学检测中心指定位置。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

1

离子扫描显微镜

1.1镓离子束

1.1.1离子源种类：液态镓离子源，保证寿命不低于2000小时

1.1.2分辨率： ≤3 nm

1.1.3加速电压：1kV ～ 30 kV

1.1.4束流强度：1pA to 100 nA

1.2氦离子束

1.2.1离子源种类：氦气

1.2.2分辨率： ≤0.5 nm

1.2.3加速电压：10 kV ～ 30 kV

1.2.4束流强度：0.1 to 100 pA

1.2.5具有电子束流枪，可对绝缘体材料无干扰加工

1.3探测器：样品室内二次电子探测器

1.4气体注入系统

配有多气体注入系统，沉积材料包括Pt, W, XeF2, PMCPS, TMCTS, deionized water等

1.5 样品室以及样品台

1.5.1 样品室内具有CCD相机系统；

1.5.2 样品室内部尺寸不小于280mm×280mm×260mm (L×W×H)

1.5.3 五轴高精度超优中心全自动马达样品台

1.5.4 样品台X Y 方向移动范围不低于48mm，Z方向移动范围不低于8mm，倾斜角度 T 范围不小于0到56度，旋转角度R=360°

1.6 真空系统

1.6.1 无油机械泵、2个分子泵（450 L/sec）和1个离子泵(40 L/sec)

1.6.2 配有用于快速更换样品的样品预交换室loadlock系统

1.7 系统控制

1.7.1 基于Windows 7操作系统的64位图形用户界面，

1.7.2 带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的双轴遥感操作系统

序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

免费保修期

1.1产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），货物免费保修期为1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24 小时内提供现场服务。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

（二）其他商务条款偏离表

1

关于交货

1.1签订合同后260天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学指定地点。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

55

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

3

检测报告

（仅适用于对产品有检测要求的项目）

2

专家打分

因不同产品检测要求可能不一样，建议由采购人根据采购项目的具体情况确定需要提供的检测报告的类别并设置评分规则，统一采用客观评分。

5

技术规格偏离情况

50

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，每负偏离一项扣5分

3

商务需求

7

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

4

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣20分。

2

其他商务条款偏离情况

3

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣20分。

4

综合实力部分

8

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

3

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。