全自动特气柜招标公告
全自动特气柜招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 全自动特气柜 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2016-10-11 09:31 |
| 竞价结束时间： | 2016-10-14 09:31 |
| 申购备注： | 全自动特气柜及管道各种阀门一、项目概述本次校内网上竞价采购项目是全自动特气柜及管道各种阀门，辅助干法刻蚀机完成CL2及BCL3气体的安全供给，是干法刻蚀气路系统的重要组成部分。二、辅件清单2.1全自动特气柜：1台2.2管道及各种阀门：1套 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 全自动特气柜 | 1 | Brother | Brother | 是 | 四、设备质保期一年，保修期内因非人为原因造成的缺陷或损坏时，厂家负责修理和更换 | 三、技术指标及配置要求3.1全自动特气柜3.1.1 特气种类：CL2、BCL3。3.1.2 全自动操作（配称、自动吹扫、抽真空、紧急切断、事故报警、远程关断等）。3.1.3 双工艺瓶配置。3.1.4 四出口,每种气体双工艺出口,终端过滤器。3.1.5 BCL3钢瓶加热、盘面伴热，管线伴热及其控制器(2通道)等、CL2/BCL3 配称。3.1.6 PLC 控制及10.4" 触摸屏。3.1.7符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳等， 设备图纸及设备配置表齐全。3.1.8 气柜带声光报警，包含1颗Cl2侦测器和1颗BCl3侦测器 。3.1.9 验收标准：（1）压力测试1.2倍使用压力4小时内无压降 。（2）氦检测试：氦检漏率＜1×10－9 cc.atm/sec。3.2 管道及各种阀门3.2.1CL2、BCL3、吹扫N2、产生真空N2等4路气体优质不锈钢内外抛光管道，规格1/4 或3/8，长度10m*4。3.2.3 N2减压阀2个及各种卡套等。 | 无 |
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