高空缓存架充气模组改造项目国际招标公告1
高空缓存架充气模组改造项目国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高空缓存架充气模组(N2 purge OHB)改造 | 100套 | 用于12英寸集成电路制造企业的硅片盒充气,满足28nm的工艺研发及量产的技术需求 |
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