是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1采用材质SUS304制作，内外电解抛光.。
1.2漏率≤2x10^-12 mbar·L/s，
1.3腔体在经过充分烘烤后，本底真空优于2.0x10^-10 mbar，
1.4腔体有足够多扩展口，方便后续扩展。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

GCINNO、 鹏城半导体、CHI-VAC

型号

GC-MP4-FT、PC-YPT-4、QW-MP-4

技术规格及参数

2.1适配flag type样品托。
2.2 XY方向位移±12.5mm，Z方向位移150mm，绕Z轴±180°手动旋转，旋转精度0.5°；
2.3配置热辐射和直流加热模块，热辐射最高温度1000℃；配置液氮制冷模块

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

CHI-VAC、GCINNO、鹏城半导体

型号

QW-KC-DW、GC-KC-600-B10、PC-YL-D10

技术规格及参数

3.1法兰接口：CF35，坩埚容量：10cc，
3.2最高使用温度不低于550℃，最高除气温度不低于600℃，
3.3集成水冷，手动shutter.
3.4包含半宽温控电源，欧陆PID，手自一体。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

CHI-VAC、鹏城半导体、GCINNO

型号

QW-KC-ZW、PC-YL-Z10、GC-KC-1400-B10

技术规格及参数

4.1法兰接口：CF35，坩埚容量： 10cc，
4.2最高使用温度不低于1300℃，最高除气温度不低于1350℃，
4.3集成水冷，手动shutter，
4.4包含半宽温控电源，欧陆PID，手自一体。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

GCINNO、CHI-VAC、鹏城半导体

型号

GC-KC-1800-B02、QW-KC-GW、PC-YL-G2

技术规格及参数

5.1法兰接口：CF35，坩埚容量： 2cc，
5.2最高使用温度不低于1800℃，最高除气温度不低于1850℃，
5.3集成水冷，手动shutter，
5.4包含半宽温控电源，欧陆PID，手自一体。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

用于红外测温仪窗口，接口CF35。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

用于传样观察窗口,接口CF63

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

用于腔内情况观察窗口,接口CF100

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

用于支撑设备，可上下调节，采用材质SUS304不锈钢制作。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

采用不锈钢制作，做防锈表面处理。标准尺寸 600*800*1800MM。

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。