真空镀膜机(连续溅射式)(1)招标公告
真空镀膜机(连续溅射式)(1)招标公告
西北(陕西)国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-10-14在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:真空镀膜机(连续溅射式),1套
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实。
项目已具备招标条件的说明:具备。
2、招标内容
招标项目编号:0617-164023HY1625/01
招标项目名称:陕西华星电子集团有限公司北斗导航用表面贴装石英晶体器件产业化项目设备采购
项目实施地点:中国陕西省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 真空镀膜机(连续溅射式) | 1 | *6.4 卖方具有国际上同行业中近3年内的先进设计和制造水平。供货产品在国内有良好的销售业绩,售后服务优良。*7.2.1 真空室真空度 取件室≤1.0x10-3 Pa 溅镀室≤1.0x10﹣3Pa*7.2.7 膜厚分布 托盘内分布 以Ag150nm为基准±1.2% 托盘间分布 以Ag150nm为基准±1.5%*7.2.8 溅射时的搬送速度 可根据膜厚要求,可在1~40mm/sec范围内可调 托架搬送采用齿条传输,托架定位采用脉冲数目控制*7.2.9 膜厚控制 通过设定夹具的搬送速度和电源功率控制膜厚,全过程由欧姆龙可编程控制器计算控制,每条托架掩模板上的厚度或频率可单独设置和控制。所有参数设定和操作均在触摸屏里完成*7.3.2操作控制系统该设备采用欧姆龙可编程控制器和欧姆龙触摸屏进行所有的控制和操作,驱动马达为欧姆龙伺服马达和东方电机伺服马达,机器各项性能稳定可靠。 *7.3.4排气系统 采用日本真空ULVAC的冷凝泵和旋转泵,性能稳定可靠 |
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