采购项目名称：真空镀膜设备及手套箱
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后3个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：设备包括真空镀膜设备及配套手套箱，具体参数需满足以下要求：真空腔体内部尺寸400*400mm；极限真空：优于6×10-5Pa（手套箱环境），大气至6×10-4Pa时间小于35分钟（手套箱环境），关机12小时真空度≤10Pa，漏率：优于5×10－8Pa*L/S；基片旋转：转速0～15转／分连续可调；含高精度膜厚检测系统。手套箱包含三个不锈钢箱体，箱体1尺寸为1200mm（长）X300mm（宽）X900mm（高），箱体2尺寸为1200mm（长）X750mm（宽）X900mm（高），箱体3尺寸为1200mm（长）X300mm（宽）X900mm（高）材质为SUS304不锈钢，厚度3mm。一个具有可再生能力的气体纯化柱，氧气和水的吸附量为60升和2公斤；泄露率﹤0.001vol%/h. 氧分析仪 测量范围可设：0-1000 ppm 精度：量程的1% 或0.2ppm；水分析仪测量范围：0-1000ppm 精度：0.2ppm。控制系统由 PLC和彩色触摸屏组成，采用用户友好的中英文操作界面。
质保期：12个月
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