阵列激光修补机国际招标公告2/06
阵列激光修补机国际招标公告2/06
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 阵列激光修补机 | 3台 | (1)该套设备主要用于6代LTPS工厂玻璃基板上的残留、异物等缺陷修复,拥有自动激光修补功能、自动研磨修补功能。 (2)Stage(不遮挡透射光), 玻璃基板范围背光覆盖率100%,大板边沿5mm背光亮度与中间一致。; (3)光学对位精度≤ 10μm(对位后,走对位mark坐标偏差≤10μm)。 | 0730-244*****0041-06 |
标签: 国际招标
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