高精度三轴控制系统清采比选号采购公告
高精度三轴控制系统清采比选号采购公告
采购项目名称：高精度三轴控制系统
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后60个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：1.具有保证小于1um的位移分辨率； 2. XYZ三个独立可调的正交轴，最小位移量0.2um，每个轴都具有大于25mm的行程范围，支持手柄手动控制和远程串口指令两种控制模式； 3.压电扫描器其位移精度应小于100nm，响应速度在25ms量级； 4.粗定位最小位移：30nm，精定位开环分辨率：0.1nm； 5.典型线性误差：0.1%，典型双向重复精度：<10nm，闭环精度小于100nm； 6.通光口径：18.5*10.6mm，刷新频率＞820Hz，可提供二次开发以及算法支持。
质保期：12个月
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