项目名：备件采购
编号：无
日期：2024-11-04
采购单位：无锡中微晶园电子有限公司

放电枪绝缘柱/氮化硼 个 100 双边绝缘柱 件 100 电位计 个 1 真空联接件 个 1 可变电容 个 1 水过滤芯（0.1μm） 个 2 水过滤芯（0.5μm） 个 2 同步带 个 15 过滤器 个 1 MARK8 C/S 气缸（7Z-1 SD6N60P） 个 2 可控硅 个 10 THETA电机 个 1 陶瓷手臂PULLOUT ARM 件 1 6寸focus ring（Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi） 个 1 Pigtail Filament 灯丝 个 15 红外线灯管--********* 件 20 放电腔盖板 件 5 320钼磨轮 个 2 oxide压环（6寸） 个 5 i12 Camera信号处理板 块 1 上电极（铝、国产） 个 1 边环（国产） 个 1 聚焦环（国产） 个 1 离子交换柱 件 1 堵头 个 2 热偶规 件 10 氧化炉支撑轴 个 2 oxide基座（6寸） 个 2 纯水阀 个 1 盖板 个 2 加热棒 个 2 清洗机台板档条 套 1 专用探针 个 1 去离子罐-0190-***** 件 2 硅电极 件 1 耦合器 件 2 水过滤器 个 2 水平半圆弧银导电带/源 件 1 6寸压片 个 200 单孔底板 个 1 行星轴衬套 个 3 DC PLUG陶瓷 个 20 支架 个 1 NIKON显微镜调焦轴 个 1 SPOOL QUARTZ 个 1 Assembly,Cable,Coax,RF Match Upper Rg213U 个 1 Assembly,Ground strap FLTCA 个 1