项目概况

中北大学感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购项目的潜在投标人应在山西政府采购平台（https://login.sxzfcg.zcygov.cn/user-login/#/login）上获取招标文件，并于2024年11月28日9点00分（北京时间）前在“山西政府采购平台”投标人端提交投标文件。

序号

标的名称

数量

单位

简要技术需求

备注

1

感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购

1

套

该系统由碳化硅刻蚀设备、深硅刻蚀设备、辅助特气设备及刻蚀掩膜图形化设备四部分构成，可用于实现SiC、Si、Poly-Si、SiO2、Si3N4等材料刻蚀，要求如下：

1、射频功率：0-3000W；

2、样品尺寸：6 英寸，向下兼容；

3、刻蚀速率及刻蚀不均匀性：0.01~0.4μm/min；刻蚀不均匀性优于±5%；

4、终点监测激光波长：670 nm；

5、制冷温度范围：-30℃~80℃；

6、刻蚀材料：III-V族半导体、SiO2、Poly-Si、Si、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等；

7、支持气体：Cl2、BCl3、HBr、SF6、CHF3、CH4、H2、Ar、N2等。

是否允许代理商参加

是

是否接受联合体参加

否

是否允许合同分包

否

交货时间

合同签订后120日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。

履约地点

太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。

付款方式

合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。

履约保证金

1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。

2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。

3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。

4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。

执行标准及验收标准

详见招标文件内商务、技术要求。

服务要求

详见招标文件内商务、技术要求。

相关政策要求

详见招标文件内商务、技术要求。

序号

标的名称

数量

单位

简要技术需求

备注

1

可见至近红外高通量光谱系统

1

套

主要指标

1、焦距：≥498mm；

2、波长检测范围：300~1700nm；

3、分辨率≤0.1nm (@1200g/mm标准测试条件20μm狭缝)；

4、采样率≥50 fps@100kHz(FVB)；

5、可见探测器峰值量子效率：≥95%。

2

超宽频声场标定测试系统

1

套

★1、水声频率范围：10 Hz至1 MHz

2、动态范围：1mPa-10kPa

3、全带宽自噪声：≤1Paê

4、灵敏度：≥3mV/Paê

5、输出阻抗：50Ω

6、全触摸屏操作ê

7、采集和分析软件ê

是否允许代理商参加

是

是否接受联合体参加

否

是否允许合同分包

否

交货时间

合同签订后120日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。

履约地点

太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。

付款方式

合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。

履约保证金

1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。

2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。

3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。

4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。

执行标准及验收标准

详见招标文件内商务、技术要求。

服务要求

详见招标文件内商务、技术要求。

相关政策要求

详见招标文件内商务、技术要求。