序号

资产说明

数量

启用日期

型号

供应商

1

高温扩散系统

2

2007/6/30

中国电子科技四十八研究所

2

高温扩散系统

3

2007/7/30

中国电子科技四十八研究所

3

扩散炉

1

2006/4/30

4

硅片制绒面

1

2006/4/30

5

PSG清洗机2

1

2007/6/30

北京七星华创电子股份有限公司

6

超声波清洗机

1

2007/7/27

深圳市捷佳创精密设备有限公司

7

手动制绒清洗机

1

2008/7/15

6槽

苏州汇科机电设备有限公司

8

手工清洗机

1

2010/12/30

宁晋县阳明机械配件厂

9

刻蚀机

1

2011/10/31

H61-11/ZM

北京七星华创电子股份有限公司

10

等离子刻蚀机

10

2007/6/30

中国电子科技四十八研究所

11

等离子刻蚀机

1

2008/9/30

PE-260

深圳市捷佳创精密设备有限公司

12

等离子刻蚀机

1

2006/12/12

中国电子科技四十八研究所

13

等离子刻蚀机

1

2008/11/25

PE-260A

深圳市捷佳创精密设备有限公司

14

等离子刻蚀机

1

2010/12/31

PE-260

深圳市捷佳伟创微电子设备

15

等离子刻蚀机

1

2007/8/22

中国电子科技四十八研究所

16

等离子体刻蚀机

2

2006/4/30

17

等离子体刻蚀机

1

2006/8/1

中国电子科技第四十八研究所

18

箱式等离子体刻蚀机

2

2010/8/31

北京七星华创电子股份有限公司

19

工控机

1

2006/4/30

20

热风循环烘箱

1

2007/6/30

GMH-2800

21

热风循环烘箱

1

2007/8/22

GMH-2800

南京神鹏机械设备有限公司

22

热风循环烘箱

1

2007/8/22

GMH-1800

南京神鹏机械设备有限公司

23

热风循环隧道烘箱

2

2008/6/24

GMH-2800

南京神鹏机械设备有限公司

24

热风循环隧道烘箱

2

2011/7/31

GWH-2800

南京神鹏机械设备有限公司

25

热风循环隧道烘箱

1

2008/6/24

GMH-2800

南京神鹏机械设备有限公司

26

热风循环隧道烘箱

2

2008/6/24

GMH-2800

南京神鹏机械设备有限公司

27

热风循环隧道烘箱

1

2008/6/24

GMH-2800

南京神鹏机械设备有限公司

28

无尘烤箱

1

2008/9/19

XTS-900

昆山台顺机械制造有限公司

29

无尘烤箱

1

2008/8/30

XTS900

昆山台顺机械制造有限公司

30

烤箱

1

2006/10/27

XTS—90

昆山台顺机械制造有限公司

31

烤箱

1

2006/9/25

XT60

32

自制摞片机

1

2013/8/31

自制

33

自制摞片机

1

2013/8/31

自制

34

自制摞片机

1

2013/8/31

35

自制摞片机

1

2013/8/31

36

自制摞片机

1

2013/8/31

37

自制摞片机

1

2013/8/31

38

自制摞片机

1

2013/8/31

39

自制摞片机

1

2013/8/31

40

自制摞片机

1

2013/8/31

41

等离子刻蚀机

1

2010/12/31

PE-260

深圳市捷佳伟创微电子设备

41

板P

1

2006

R&R

合计

59