项目概况

东南大学集成电路学院12寸等离子增强气相沉积采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录e交易平台（以下简称平台）网址为：https://www.ejy365.com获取招标文件，并于2024年12月02日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：JC203*****3756

项目名称：东南大学集成电路学院12寸等离子增强气相沉积采购项目

预算金额：1650.****** 万元（人民币）

最高限价（如有）：1650.****** 万元（人民币）

采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：集成电路学院采购12寸等离子增强气相沉积1套，主要技术要求如下:

1.设备功能：实现直径12寸及以下尺寸晶圆表面的薄膜沉积，包括SiOx、SiCN、SiCOH等类型薄膜的沉积。

2.含有设备前端模块（EFEM)一套，其内部配备有全自动机械手用于取放晶圆，外围有高效过滤器（FFU)控制空气洁净度，有3个晶圆盒承载台和6个冷却平台。

3.含有工艺腔体（PM）不少于3个，各自含有1套独立完整的射频电源、进出气系统、真空控制系统和真空泵系统，均可独立加工直径为12寸及以下尺寸的晶圆。

4. 三个PM可分别实现化学组分为SiCOH、SiCN、SiO的薄膜沉积。每个PM各自配备一个专用的液态前驱体输送系统。

5. 12寸晶圆内完成SiCOH薄膜沉积后，晶圆表面全部面积范围内直径为0.09 μm以上的颗粒数量不超过20个。

6. 在12寸晶圆上沉积SiO薄膜，最大厚度可超过50 μm，薄膜完整无缺陷，无开裂、脱层等缺陷。

本项目不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

合同履行期限：合同签订后8个月内设备安装调试合格。

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：3.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2023年度的财务报告，或投标截止时间前六个月内银行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无3.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：无。3.4第3.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。3.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。3.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

三、获取招标文件

时间：2024年11月11日 至 2024年11月18日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：登录e交易平台（以下简称平台）网址为：https://www.ejy365.com

方式：（1）凡有意参加投标者，请于获取时间内登录e交易平台按照要求进行实名会员注册、完善相关信息及选择项目报名、下载招标文件，平台网址为：http://www.ejy365.com。下载者首次登录平台前，须前往平台免费注册，注册成功且完善相关信息后，可以及时参与平台上所有发布的项目。（2）下载者应充分考虑平台注册、信息检查、资料上传、购标确认、费用支付所需时间，下载者必须在获取时间内完成支付，否则将无法保证获取招标文件。未按照本公告要求获得本项目招标文件的，招标代理机构不予接收其投标文件。（3）下载者需要发票的，须通过平台“资金管理”模块进行操作。招标文件服务费发票由招标代理机构开具；下载者选择开具增值税普通发票的，可在”资金管理--标书费电子发票”下载增值税电子普通发票；选择开具增值税专用发票的，可在”资金管理--专用发票申请”中填写相关信息；平台服务费发票由江苏易交易信息科技有限公司开具。非因招标代理机构或平台原因，发票一经开具不予退换。（4）平台网站首页“帮助中心”提供操作手册，下载者可以下载并根据操作手册提示进行注册、登录等操作。易交易平台技术支持联系方式 供应商技术支持热线：400-828-0799（工作时间：9:00-11:30,13:30-19:00） 供应商项目参与操作说明： https://www.ejy365.com/upload/link/2022/08/30/48e1dd12-5050-4bbf-bfc9-a0d7a037ba1c.pdf 技术支持服务态度不满意投诉热线：400-828-0799转0。（5）联合体投标（如允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名义在平台办理注册、下载文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各方均具有约束力。

售价：￥400.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2024年12月02日 09点00分（北京时间）

开标时间：2024年12月02日 09点00分（北京时间）

地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标1室投标人因故未出席开标会的，视同同意本项目开标结果。

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1、行业划分：工业

2、本项目(非专门)面向中小企业采购。

3、本项目(非专门)面向监狱企业采购。

4、本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。

5、投标人应提供投标文件一式柒份（正本壹份、副本陆份），所有投标文件均应密封后递交，同时应提供电子版投标文件壹份（电子版须为投标文件正本加盖公章、签字后形成PDF扫描件，扫描件内容应与纸质投标文件正本完全一致、U盘形式（单独封装）、随纸质正本文件一并提交）。当电子版文件和纸质正本文件不一致时，以纸质正本文件为准。电子版文件用于辅助评标和平台存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。

6、本项目在中国政府采购网网站发布公告。

7、投标人应当从采购代理机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请按“标段”获取招标文件，编制、提交投标文件，并按“标段”开标、评标。

8、勘察现场：无

9、投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至投标截止时间前3个月的社保缴纳证明材料。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：东南大学　　　　　

地址：南京市四牌楼2号　　　　　　　　

联系方式：集成电路学院：李老师 0510-********； 实验室与设备管理处：刘老师 025-********。　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：江苏省设备成套股份有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋9楼908室　　　　　　　　　　　　

联系方式：黄旭 025-********、186*****359　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：黄旭

电　话：　　025-********、186*****359