6寸手动探针台清采比选号采购公告
6寸手动探针台清采比选号采购公告
采购项目名称：6寸手动探针台
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后60%，验收合格后40%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：1) 载物台支持晶圆尺寸：6英寸 2) Chuck XY轴行程：不小于150*150mm 3) XY轴移动分辨率：≤5μm 4) Z轴可调范围：≥10mm 5) Theta轴：≥± 6° 6) 配置CCD，像素≥200W； 7) 配置防震台和空压机和真空泵 8) ★配置67GHz 探针2根，射频针座两套 9) ★配置射频线缆两根，校准软件一套并且支持OSLT和LRRM校准方式 10) 为了保证测试准确度，校准软件，探针和射频针座为同一厂家
质保期：12个月
供应商报名地址：点击进入
标签: 探针
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