8英寸锗硅器件芯片流片服务采购公告
8英寸锗硅器件芯片流片服务采购公告
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购8英寸锗硅器件芯片流片服务。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 需求名称 | 是否需要附件证明 | 需求说明 |
|---|---|---|
| 服务内容、流程及方案 | 是 | 1. 晶圆级波导型Ge光探测器流片。以SOI为衬底（初始SOI衬底上有已经制备好的部分光子器件图案），交付不少于6片8英寸完整晶圆，其中包含不少于3片VPIN Ge光探测器晶圆、不少于3片LPIN Ge光探测器晶圆。包含至少9次图案化工艺： 1.1 一次Rib波导光刻与干法刻蚀，最小线宽200nm；与初始SOI衬底已有的光子器件套刻误差不大于80nm； 1.2 一次Si选区外延，Si外延厚度120nm，厚度误差≤10%；最小线宽≤500nm； 1.3 一次Ge选区外延，Ge外延厚度200 nm，厚度误差≤10%；最小线宽≤200nm； 1.4 一次Ge N+ 选区离子注入，最小线宽500nm； 1.5 一次Ge P+ 选区离子注入，最小线宽500nm； 1.6 一次Ge金-半接触孔光刻与干法刻蚀； 1.7 一次Si金-半接触孔光刻与干法刻蚀； 1.8 一次AlCu金属电极光刻与刻蚀； 1.9 一次金属电极开窗口光刻与刻蚀。 2． 一次短流程，包含2片8英寸Si晶圆，均无须进行图案化： 2.1 一片Si晶圆上进行Ge薄膜外延：1）Ge外延厚度500nm，厚度误差小于10%； 2）Ge外延薄膜CMP后表面粗糙度Ra小于0.5 nm （5 μm * 5 μm AFM测量区域）；3）CMP后晶圆翘曲度高度小于80 μm；4）CMP后晶圆表面Particle直径大于0.3 μm的颗粒物不超过30个。 2.2 一片Si晶圆上进行离子注入与激活。（供应商响应时需扩展描述，不得照抄响应，供应商需要在服务报价模块填报详细服务报价明细） |
| 服务团队 | 是 | 供应商针对本服务项目所能提供的人员数量不少于7人，包括项目负责人、工艺集成工程师，设备操作工程师、测试表征工程师等。服务人员需具备相关资格，供应商响应时需要提供服务团队人员清单、职务、学历、专业背景及其项目分工。（须加盖供应商公章） |
| 服务质量保证措施 | 是 | 供应商必须按照采购方要求的服务内容提供相应的服务，供应商响应时需提供服务质量保证措施方案。（须加盖供应商公章） |
| 进度计划及保证措施 | 是 | 供应商必须按照采购方要求的服务期限提供相应的服务，供应商需在签订合同后的12个月内完成晶圆的流片服务工作，并每周汇报进度。供应商在响应时需要提供服务期限内明确的进度计划表。（须加盖供应商公章） |
| 自罚承诺 | 是 | 供应商所交付的项目研发成果与采购人要求不符合的或有严重逾期的，供应商应承担违约责任，供应商响应时需提供自罚承诺书。（须加盖供应商公章） |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 公司综合实力 | 是 | 供应商需提供公司简介、往期获得过的相关荣誉证书或在有效期内的相关资质证书、近5年内（自2020年1月起）硅光子流片相关服务案例的照片或报道等。 |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2020年1月起至今的硅光子流片领域的服务合同，其中需体现合同的签约主体、服务名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 |
| 付款方式 | 是 | 双方签订合同后采购方支付70%的项目首付款，项目交付验收合格后采购方支付30%的项目尾款。 |
| 服务期限 | 是 | 自合同签署并生效之日起的12个月内。 |
1、质量标准和要求
成交供应商所提供的服务的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
2、验收
服务根据合同的规定完成后，采购方应及时进行根据合同的规定进行服务验收。成交供应商应当以书面形式向采购方递交验收通知书，采购方在收到验收通知书后的10个工作日内，确定具体日期，由双方按照本合同的规定完成服务验收。采购方有权委托第三方检测机构进行验收，对此成交供应商应当配合。
如果属于成交供应商原因致使系统未能通过验收，成交供应商应当排除故障，并自行承担相关费用，同时进行试运行，直至服务完全符合验收标准。
如果属于采购方原因致使系统未能通过验收，采购方应在合理时间内排除故障，再次进行验收。如果属于故障之外的原因，除本合同规定的不可抗力外，采购方不愿或未能在规定的时间内完成验收，则由成交供应商单方面进行验收，并将验收报告提交采购方，即视为验收通过。
3、保密
如果采购方或成交供应商提供的内容属于保密的，应签订保密协议，甲乙双方均有保密义务。
4、补救措施和索赔
采购方有权根据质量检测部门出具的检验证书向成交供应商提出索赔。
在服务期限内，如果成交供应商对提供服务的缺陷负有责任而采购方提出索赔，成交供应商应按照采购方同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜：
（1）根据服务的质量状况以及采购方所遭受的损失，经过买卖双方商定降低服务的价格。
（2）成交供应商应在接到采购方通知后七天内，根据合同的规定负责采用符合规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来更换在服务中有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由成交供应商负担。
（3）如果在采购方发出索赔通知后十天内成交供应商未作答复，上述索赔应视为已被成交供应商接受。如果成交供应商未能在采购方发出索赔通知后十天内或采购方同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，采购方有权从应付的合同款项中扣除索赔金额，如不足以弥补采购方损失的，采购方有权进一步要求成交供应商赔偿。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延服务，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实、可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间提供服务，采购方可以应付的合同款项中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每（天）赔偿延期服务的服务费用的百分之零点五（0.5%）计收，直至提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。（一周按七天计算，不足七天按一周计算。）一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
1、汇款信息
采购代理机构名称：上海机电设备招标有限公司
采购代理机构开户银行（人民币）：建行上海市分行营业部
账号（人民币）：310*****400*********
户名：上海机电设备招标有限公司
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础，再以63.71折计取（不低于2500.00元人民币）。
上海大学
2024-11-14
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购8英寸锗硅器件芯片流片服务。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 需求名称 | 是否需要附件证明 | 需求说明 |
|---|---|---|
| 服务内容、流程及方案 | 是 | 1. 晶圆级波导型Ge光探测器流片。以SOI为衬底（初始SOI衬底上有已经制备好的部分光子器件图案），交付不少于6片8英寸完整晶圆，其中包含不少于3片VPIN Ge光探测器晶圆、不少于3片LPIN Ge光探测器晶圆。包含至少9次图案化工艺： 1.1 一次Rib波导光刻与干法刻蚀，最小线宽200nm；与初始SOI衬底已有的光子器件套刻误差不大于80nm； 1.2 一次Si选区外延，Si外延厚度120nm，厚度误差≤10%；最小线宽≤500nm； 1.3 一次Ge选区外延，Ge外延厚度200 nm，厚度误差≤10%；最小线宽≤200nm； 1.4 一次Ge N+ 选区离子注入，最小线宽500nm； 1.5 一次Ge P+ 选区离子注入，最小线宽500nm； 1.6 一次Ge金-半接触孔光刻与干法刻蚀； 1.7 一次Si金-半接触孔光刻与干法刻蚀； 1.8 一次AlCu金属电极光刻与刻蚀； 1.9 一次金属电极开窗口光刻与刻蚀。 2． 一次短流程，包含2片8英寸Si晶圆，均无须进行图案化： 2.1 一片Si晶圆上进行Ge薄膜外延：1）Ge外延厚度500nm，厚度误差小于10%； 2）Ge外延薄膜CMP后表面粗糙度Ra小于0.5 nm （5 μm * 5 μm AFM测量区域）；3）CMP后晶圆翘曲度高度小于80 μm；4）CMP后晶圆表面Particle直径大于0.3 μm的颗粒物不超过30个。 2.2 一片Si晶圆上进行离子注入与激活。（供应商响应时需扩展描述，不得照抄响应，供应商需要在服务报价模块填报详细服务报价明细） |
| 服务团队 | 是 | 供应商针对本服务项目所能提供的人员数量不少于7人，包括项目负责人、工艺集成工程师，设备操作工程师、测试表征工程师等。服务人员需具备相关资格，供应商响应时需要提供服务团队人员清单、职务、学历、专业背景及其项目分工。（须加盖供应商公章） |
| 服务质量保证措施 | 是 | 供应商必须按照采购方要求的服务内容提供相应的服务，供应商响应时需提供服务质量保证措施方案。（须加盖供应商公章） |
| 进度计划及保证措施 | 是 | 供应商必须按照采购方要求的服务期限提供相应的服务，供应商需在签订合同后的12个月内完成晶圆的流片服务工作，并每周汇报进度。供应商在响应时需要提供服务期限内明确的进度计划表。（须加盖供应商公章） |
| 自罚承诺 | 是 | 供应商所交付的项目研发成果与采购人要求不符合的或有严重逾期的，供应商应承担违约责任，供应商响应时需提供自罚承诺书。（须加盖供应商公章） |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 公司综合实力 | 是 | 供应商需提供公司简介、往期获得过的相关荣誉证书或在有效期内的相关资质证书、近5年内（自2020年1月起）硅光子流片相关服务案例的照片或报道等。 |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2020年1月起至今的硅光子流片领域的服务合同，其中需体现合同的签约主体、服务名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 |
| 付款方式 | 是 | 双方签订合同后采购方支付70%的项目首付款，项目交付验收合格后采购方支付30%的项目尾款。 |
| 服务期限 | 是 | 自合同签署并生效之日起的12个月内。 |
1、质量标准和要求
成交供应商所提供的服务的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
2、验收
服务根据合同的规定完成后，采购方应及时进行根据合同的规定进行服务验收。成交供应商应当以书面形式向采购方递交验收通知书，采购方在收到验收通知书后的10个工作日内，确定具体日期，由双方按照本合同的规定完成服务验收。采购方有权委托第三方检测机构进行验收，对此成交供应商应当配合。
如果属于成交供应商原因致使系统未能通过验收，成交供应商应当排除故障，并自行承担相关费用，同时进行试运行，直至服务完全符合验收标准。
如果属于采购方原因致使系统未能通过验收，采购方应在合理时间内排除故障，再次进行验收。如果属于故障之外的原因，除本合同规定的不可抗力外，采购方不愿或未能在规定的时间内完成验收，则由成交供应商单方面进行验收，并将验收报告提交采购方，即视为验收通过。
3、保密
如果采购方或成交供应商提供的内容属于保密的，应签订保密协议，甲乙双方均有保密义务。
4、补救措施和索赔
采购方有权根据质量检测部门出具的检验证书向成交供应商提出索赔。
在服务期限内，如果成交供应商对提供服务的缺陷负有责任而采购方提出索赔，成交供应商应按照采购方同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜：
（1）根据服务的质量状况以及采购方所遭受的损失，经过买卖双方商定降低服务的价格。
（2）成交供应商应在接到采购方通知后七天内，根据合同的规定负责采用符合规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来更换在服务中有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由成交供应商负担。
（3）如果在采购方发出索赔通知后十天内成交供应商未作答复，上述索赔应视为已被成交供应商接受。如果成交供应商未能在采购方发出索赔通知后十天内或采购方同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，采购方有权从应付的合同款项中扣除索赔金额，如不足以弥补采购方损失的，采购方有权进一步要求成交供应商赔偿。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延服务，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实、可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间提供服务，采购方可以应付的合同款项中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每（天）赔偿延期服务的服务费用的百分之零点五（0.5%）计收，直至提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。（一周按七天计算，不足七天按一周计算。）一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
1、汇款信息
采购代理机构名称：上海机电设备招标有限公司
采购代理机构开户银行（人民币）：建行上海市分行营业部
账号（人民币）：310*****400*********
户名：上海机电设备招标有限公司
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础，再以63.71折计取（不低于2500.00元人民币）。
上海大学
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