采购项目名称：聚焦离子束系统
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后3个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：? 主要技术参数： 厂商需具备聚焦离子束在工艺和应用上的指导和开发经验，能够配合用户完成在系统上的二次开发，包含硬件支持和软件开发。 1.1 离子束系统的集成：完成离子束系统在用户指定场景或设备上的安装、调试与测试； 1.2 提供工艺工装1套，并辅助用户进行工艺相关工装设计； 1.3 射频离子源主源：1台； 1.4 射频中和器：1台； 1.5 射频离子源控制系统：包含源控制模块、束流控制模块、中和控制模块和射频控制模块，1套； 1.6 工控机：支持运动平台控制、计算软件应用等，1台； 1.7 射频离子源口径：不大于30mm； 1.8 离子源束流：5~40mA； 1.9 束流能量：50~1500eV； 1.10 栅网材质：三层钼栅； 1.11 栅网类型：聚焦栅，焦距24cm； 1.12 栅网尺寸：不大于Φ60mm； 1.13 源安装法兰：CF150； 1.14 刻蚀速率：Si>60nm/min；SiO2>120nm/min；SiC>50nm/min；Ni>100nm/min；
质保期：12个月
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