采购项目名称：超高真空泵组
采购单位：北京市清华大学 物理系 C116
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后3个工作日内
交货地址：北京市清华大学 物理系 C116
技术参数及配置要求：包括 一套带TSP的超高真空离子泵和一套带闸板阀的分子泵 离子泵主要参数 包括500 L/s 离子泵、TSP 泵芯和 TSP 低温挡板 工作寿命 >***** 小时 抽气口法兰 8 英寸 CFF (NW 150) 最大启动压力 ≤ 5 x 10-2 mbar 最高烘烤温度 350 °C 极限真空 < 1 x 10-11 mbar 真空高压接头类型 FischerSHV 配备TSP控制器，最大输出功率大于等于1400W 配备离子泵控制器 电流测量范围从1nA到20mA 分子泵主要参数 接口 CF100，应当包括控制器和一个CF100的手动阀门用以截止真空 抽速 N2 300L/s He 340L/s H2 280L/s 压缩比 N2 ＞1x1011 He ＞1x106 H2 ＞5x104 针对RV前级泵ISO/CF的极限压力 ≤6x10-8/5x10-10mbar 最高入口法兰温度 80°C 操作方向 垂直且竖直，直到 水平 +/- 2° 1 米处的噪音级别 <45 dB(A) 静止电功率 通常为 20W
质保期：12个月
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