江苏大学因教学科研需要，拟购置如下仪器设备，经费已经落实到位，欢迎合格的潜在投标人参与报名并接受资格预审。

本次招标信息如下：

1、 招标编号：JSDXSBC-D-*******

2、 项目名称、数量、技术参数与要求：射频等离子磁控溅射镀膜仪一台（详见附件一）

3、 本次采购不接受联合体投标。

4、 合格的投标人

4.1、 符合国家相关法律及学校采购管理办法等的规定；

4.2、 具有独立法人资格、具有独立订立合同的民事能力且信誉良好；

4.3、 具有本次招标货物的供货、安装、售后服务等的成功经验和相应能力；

5、 资格审查：

5.1、 资格审查方式：资格预审。

5.2、 资格审查时间：2016年11月14日14：00。请参加的单位提前15分钟到达现场。

5.3、 资格审查地点：江苏大学行政2号楼4楼402室。

6、 资格审查时潜在投标人需提供的材料：

6.1、 营业执照正本或副本的复印件（加盖单位公章）；

6.2、 法人授权委托书原件（见附件二）；

6.3、 法人代表身份证复印件（加盖单位公章）；

6.4、 法人授权代表身份证复印件（加盖单位公章），带原件；

6.5、 非生产厂家需提供产品销售代理授权证明（非生产厂家投标须提供针对本项目唯一的专项授权书原件和复印件，或投标人取得的产品代理证书复印件（加盖单位公章））；

6.6、 提供投标人2014年以来同类项目销售合同复印件2份（加盖单位公章）；

7、 招标文件获取及售价：

7.1、 资格审查合格单位超过三家单位，资格审查结束当场发放，资格审查合格单位不足三家单位，我校重新组织招标；

7.2、 招标文件售价：人民币200元。售后不退。

8、 投标截止时间及开标时间、开标地点：详见招标文件。

9、 与本次招标相关的事宜请按下列通讯方式联系：

9.1、 技术咨询：江苏大学机械工程学院　　　　　　　黄老师　　153*****179

9.2、 商务咨询：江苏大学实验室与设备管理处　　张老师　 0511－********

9.3、 联系地址：江苏省镇江市学府路301号行政2号楼4楼418室

江苏大学实验室与设备管理处

2016年11月9日

技术指标参数及配置

1.1 电源部分

一个300 W、13.5 MHz的射频电源，功率为800 W（包括真空泵）。要求其可方便灵活地在射频和直流电源之间切换。

1.2 磁控溅射头

1.2.1 一个 2英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接，并用一个快速挡板安装在法兰上（手动操作）；也可选配1英寸的溅射头。

1.2.2 靶材尺寸：直径为50 mm，最大厚度6.35 mm。

1.2.3 溅射头所需冷却水：流速10 L/min（仪器中配有一台流速为16 L/min的循环水冷机）。

1.3 真空腔体

1.3.1 真空腔体尺寸：160 mm OD × 150 mm ID × 250mm H；采用高纯石英制作。

1.3.2 密封法兰：直径165 mm，采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封。

1.3.3 采用一个不锈钢网罩住整个石英腔体以屏蔽等离子体，避免辐射危害。

1.3.4 真空度：采用直联式双极旋片真空泵时为10-3 Torr，采用涡旋分子泵时可达10-5 torr。

1.3.5 LED显示屏显示，同时也可输入所需制备薄膜的相关控制参数。

1.4 载样台

1.4.1 载样台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热（调控薄膜质量）。

1.4.2 载样台尺寸：直径50 mm （最大可放置2英寸的基片）。

1.4.3 旋转速度：1~20 rpm。

1.4.4样品的最高加热温度为700℃ (短期使用，恒温不超过1小时)，长期使用温度500℃，控温精度+/- 10℃。

1.4.5 LED显示屏显示，同时也可输入所需制备薄膜的相关控制参数。

1.5 真空泵

可选用直联式双极旋片泵，也可选用德国制作的分子泵系统。

1.6 薄膜测厚仪

1.6.1 仪器上安装一个精密的石英振动薄膜测厚仪，可实时监控薄膜的厚度，分辨率为0.10 ?。

1.6.2 LED显示屏实时显示薄膜厚度。

2、技术文件及资料

投标时应提供主要技术文件，包括但不限于以下内容：

设备的技术规格和技术性能，提供操作及维修手册。原产地证明、执行标准、近三年同型号仪器的用户信息等。

设备的外形尺寸及正常操作与安装维修时所需的空间位置，其它安装需要注意事项。

3、 安装调试及所需材料工具

为了使合同设备能顺利运行，卖方应负责派有经验的技术人员到买方合同设备现场进行安装、调试、技术指导，并对设备性能进行担保。安装调试所需工具由供方自备。

4、 操作环境

电源：220VAC，50/60Hz

工作温度 15℃-30℃

工作湿度 40%-60%

存储温度 10℃-50℃

存储湿度 40%-60%

5、备品备件

根据仪器特点提供2年以上的备品备件（列详细清单）。

6、 售后服务与培训

6.1*保修期：按供货方合格证书技术资料中的精度、质量要求和双方签订的合同技术附件所规定的条款进行验收；设备安装、调试、验收合格签字后，仪器进入保修期，整机保修期限为二年。在试运行期间，如有损坏或质量不合格者，卖方应及时给予修复和更换，其修理和更换应是免费的。正常修理周期和修理期间是否提供免费测试。

6.2维修技术方面

6．2.1 合同签订后，在一周内供应商寄送专业的实验室准备条件。并给予专业的实验室建议。

6.2.2在保修期外，为仪器提供终身维修服务，维修问题出现时，维修技术人员应在4小时内对维修信息作出响应，快速而准确地解决仪器的问题；需要时48小时内到达现场。维修时不收取人工费，更换配件按市场价的X（由厂家提供扣率）折扣收取。

6.2.3　*厂家承诺在硬件条件允许的情况下，终身免费升级软件，并对新软件的功能免费培训。

6.3　培训方面

6.3.1 安装工程师在用户现场安装调试完毕后，进行现场讲解培训，保证掌握基本技能，可以正确操作使用仪器。

6.3.2 仪器使用一段时间后,由厂方应用专家为甲方操作人员在江苏大学现场提供定期免费应用培训。培训内容包含仪器的基本原理、操作、日常维护及基础理论课程，通过技术培训，应使买方的技术人员能够掌握操作和维修技术，能较熟练地调整工艺和及时处理各种故障；培训时间不少于5个工作日。厂方将根据市场推过活动情况原则上可为江苏大学用户免费（含会务、住宿、车票费）提供2人次国内同行用户交流会。

7、 *交货地点：江苏大学机械工程学院（由供应商提供国内运保费）

8、交货时间：合同生效，收到付款后6周内。

9、 其他需要突出说明相关内容（供应商根据自身的仪器特点及售后服务）

法人代表授权委托书

（投标单位全称）__________________________法定代表人（姓名）____________授权（全权代表姓名）____________为全权代表，参加贵单位组织的（项目名称）_______________________________项目的投标，招标编号为________________，其在招标中的一切活动本单位均予承认。

法定代表人签字：______________

单位公章：

二0一六年______月______日

全权代表姓名：_________________________________________

职　　　　务：_________________________________________

详细通讯地址：_________________________________________

传　　　　真：_________________________________________

电　　　　话：_________________________________________

手　　　　机：_________________________________________

邮　　　　箱：_________________________________________

邮　　　　编：_________________________________________