谐振器全流程工艺开发技术服务采购公告
谐振器全流程工艺开发技术服务采购公告
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购谐振器AlN C-SOI全流程工艺开发技术服务。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 需求名称 | 是否需要附件证明 | 需求说明 |
|---|---|---|
| 服务内容、流程及方案 | 是 | 供应商需基于需求方提供的9片客供片和设计版图进行谐振器AlN C-SOI全流程工艺的技术开发，供应商提供2片常规硅裸片做为全流程的先行实验片。 工艺开发流程如下： （1）C-SOI腔体刻蚀（按对应版图）：腔体直径：200μm~600μm； （2）压电叠层沉积：下电极钼厚0.2μm±10%，AlN 厚1μm±10%，上电极钼厚0.2μm±10%； （3）上电极Mo刻蚀（按对应版图） （4）SiO2沉积 SiO2 PECVD 0.5μm±10%； （5）上电极过孔刻蚀（按对应版图） （6）下电极过孔刻蚀（按对应版图） （7）金属铝铜沉积 金属铝铜厚1μm±10%； （8）金属铝铜刻蚀（按对应版图） （9）正面深槽刻蚀（按对应版图） 交付成果：9片谐振器AlN C-SOI全流程工艺晶圆样品（供应商响应时需扩展描述不得照抄响应，供应商需要在服务报价模块填报详细服务报价明细。） |
| 服务团队 | 是 | 供应商针对本服务项目所能提供的人员数量不少于3人，其中不少于1名项目经理 、1名PIE制程整合工程师、1名PE制程工程师。供应商响应时需要提供服务团队人员清单及其分工，并加盖公章。 |
| 服务质量保证措施 | 是 | 供应商应按照采购方要求的服务内容和服务期限提供相应的服务，供应商响应时需要提供相应的工艺开发约定制度文件，并加盖公章。 |
| 进度计划及保证措施 | 是 | 服务期限内，采购方与供应商需每个月召开一次项目进度沟通会议，讨论相关进度信息、量测数据、后续计划等。2025年3月前完成压电叠层沉积。（供应商需提供进度计划表及保证进度的措施承诺，并加盖供应商公章） |
| 安全保密 | 是 | 供应商需对本次采购项目涉及的技术信息承担保密义务。（供应商须提供针对本项目的保密承诺书，并加盖供应商公章） |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 公司综合实力 | 是 | 供应商需提供公司简介，技术团队介绍等以证明其综合实力 |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2021年1月起至今的同类工艺开发技术服务的合同证明，证明供应商具备该类工艺的开发经验与能力 |
| 付款方式 | 是 | 合同签署并生效后一个月内，采购方向供应商一次性支付成交总金额的100%。供应商未按采购人要求的服务内容与质量标准履行服务职责，给采购方造成实际损失的，供应商应按实赔偿。因供应商服务能力、服务质量问题导致采购方无法实现合同目的，或供应商无正当理由而拖延服务的，采购方有权单方解除合同并根据情况向供应商追回已付合同款项及追索最高为成交总金额50%的违约金。 |
| 服务期限 | 是 | 从2024年12月到2025年8月 |
1、质量标准和要求
成交供应商所提供的服务的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
2、验收
服务根据合同的规定完成后，采购方应及时进行根据合同的规定进行服务验收。成交供应商应当以书面形式向采购方递交验收通知书，采购方在收到验收通知书后的10个工作日内，确定具体日期，由双方按照本合同的规定完成服务验收。采购方有权委托第三方检测机构进行验收，对此成交供应商应当配合。
如果属于成交供应商原因致使系统未能通过验收，成交供应商应当排除故障，并自行承担相关费用，同时进行试运行，直至服务完全符合验收标准。
如果属于采购方原因致使系统未能通过验收，采购方应在合理时间内排除故障，再次进行验收。如果属于故障之外的原因，除本合同规定的不可抗力外，采购方不愿或未能在规定的时间内完成验收，则由成交供应商单方面进行验收，并将验收报告提交采购方，即视为验收通过。
3、保密
如果采购方或成交供应商提供的内容属于保密的，应签订保密协议，甲乙双方均有保密义务。
4、补救措施和索赔
采购方有权根据质量检测部门出具的检验证书向成交供应商提出索赔。
在服务期限内，如果成交供应商对提供服务的缺陷负有责任而采购方提出索赔，成交供应商应按照采购方同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜：
（1）根据服务的质量状况以及采购方所遭受的损失，经过买卖双方商定降低服务的价格。
（2）成交供应商应在接到采购方通知后七天内，根据合同的规定负责采用符合规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来更换在服务中有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由成交供应商负担。
（3）如果在采购方发出索赔通知后十天内成交供应商未作答复，上述索赔应视为已被成交供应商接受。如果成交供应商未能在采购方发出索赔通知后十天内或采购方同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，采购方有权从应付的合同款项中扣除索赔金额，如不足以弥补采购方损失的，采购方有权进一步要求成交供应商赔偿。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延服务，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实、可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间提供服务，采购方可以应付的合同款项中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每（天）赔偿延期服务的服务费用的百分之零点五（0.5%）计收，直至提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。（一周按七天计算，不足七天按一周计算。）一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
1、汇款信息
采购代理机构名称：上海财瑞建设管理有限公司
采购代理机构开户银行（人民币）：中国农业银行上海定西路支行
账号（人民币）：033*****040******
户名：上海财瑞建设管理有限公司
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础，再以63.71折计取（不低于2500.00元人民币）。
上海大学
2024-11-21
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购谐振器AlN C-SOI全流程工艺开发技术服务。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 需求名称 | 是否需要附件证明 | 需求说明 |
|---|---|---|
| 服务内容、流程及方案 | 是 | 供应商需基于需求方提供的9片客供片和设计版图进行谐振器AlN C-SOI全流程工艺的技术开发，供应商提供2片常规硅裸片做为全流程的先行实验片。 工艺开发流程如下： （1）C-SOI腔体刻蚀（按对应版图）：腔体直径：200μm~600μm； （2）压电叠层沉积：下电极钼厚0.2μm±10%，AlN 厚1μm±10%，上电极钼厚0.2μm±10%； （3）上电极Mo刻蚀（按对应版图） （4）SiO2沉积 SiO2 PECVD 0.5μm±10%； （5）上电极过孔刻蚀（按对应版图） （6）下电极过孔刻蚀（按对应版图） （7）金属铝铜沉积 金属铝铜厚1μm±10%； （8）金属铝铜刻蚀（按对应版图） （9）正面深槽刻蚀（按对应版图） 交付成果：9片谐振器AlN C-SOI全流程工艺晶圆样品（供应商响应时需扩展描述不得照抄响应，供应商需要在服务报价模块填报详细服务报价明细。） |
| 服务团队 | 是 | 供应商针对本服务项目所能提供的人员数量不少于3人，其中不少于1名项目经理 、1名PIE制程整合工程师、1名PE制程工程师。供应商响应时需要提供服务团队人员清单及其分工，并加盖公章。 |
| 服务质量保证措施 | 是 | 供应商应按照采购方要求的服务内容和服务期限提供相应的服务，供应商响应时需要提供相应的工艺开发约定制度文件，并加盖公章。 |
| 进度计划及保证措施 | 是 | 服务期限内，采购方与供应商需每个月召开一次项目进度沟通会议，讨论相关进度信息、量测数据、后续计划等。2025年3月前完成压电叠层沉积。（供应商需提供进度计划表及保证进度的措施承诺，并加盖供应商公章） |
| 安全保密 | 是 | 供应商需对本次采购项目涉及的技术信息承担保密义务。（供应商须提供针对本项目的保密承诺书，并加盖供应商公章） |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 公司综合实力 | 是 | 供应商需提供公司简介，技术团队介绍等以证明其综合实力 |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2021年1月起至今的同类工艺开发技术服务的合同证明，证明供应商具备该类工艺的开发经验与能力 |
| 付款方式 | 是 | 合同签署并生效后一个月内，采购方向供应商一次性支付成交总金额的100%。供应商未按采购人要求的服务内容与质量标准履行服务职责，给采购方造成实际损失的，供应商应按实赔偿。因供应商服务能力、服务质量问题导致采购方无法实现合同目的，或供应商无正当理由而拖延服务的，采购方有权单方解除合同并根据情况向供应商追回已付合同款项及追索最高为成交总金额50%的违约金。 |
| 服务期限 | 是 | 从2024年12月到2025年8月 |
1、质量标准和要求
成交供应商所提供的服务的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
2、验收
服务根据合同的规定完成后，采购方应及时进行根据合同的规定进行服务验收。成交供应商应当以书面形式向采购方递交验收通知书，采购方在收到验收通知书后的10个工作日内，确定具体日期，由双方按照本合同的规定完成服务验收。采购方有权委托第三方检测机构进行验收，对此成交供应商应当配合。
如果属于成交供应商原因致使系统未能通过验收，成交供应商应当排除故障，并自行承担相关费用，同时进行试运行，直至服务完全符合验收标准。
如果属于采购方原因致使系统未能通过验收，采购方应在合理时间内排除故障，再次进行验收。如果属于故障之外的原因，除本合同规定的不可抗力外，采购方不愿或未能在规定的时间内完成验收，则由成交供应商单方面进行验收，并将验收报告提交采购方，即视为验收通过。
3、保密
如果采购方或成交供应商提供的内容属于保密的，应签订保密协议，甲乙双方均有保密义务。
4、补救措施和索赔
采购方有权根据质量检测部门出具的检验证书向成交供应商提出索赔。
在服务期限内，如果成交供应商对提供服务的缺陷负有责任而采购方提出索赔，成交供应商应按照采购方同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜：
（1）根据服务的质量状况以及采购方所遭受的损失，经过买卖双方商定降低服务的价格。
（2）成交供应商应在接到采购方通知后七天内，根据合同的规定负责采用符合规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来更换在服务中有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由成交供应商负担。
（3）如果在采购方发出索赔通知后十天内成交供应商未作答复，上述索赔应视为已被成交供应商接受。如果成交供应商未能在采购方发出索赔通知后十天内或采购方同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，采购方有权从应付的合同款项中扣除索赔金额，如不足以弥补采购方损失的，采购方有权进一步要求成交供应商赔偿。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延服务，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实、可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间提供服务，采购方可以应付的合同款项中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每（天）赔偿延期服务的服务费用的百分之零点五（0.5%）计收，直至提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。（一周按七天计算，不足七天按一周计算。）一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
1、汇款信息
采购代理机构名称：上海财瑞建设管理有限公司
采购代理机构开户银行（人民币）：中国农业银行上海定西路支行
账号（人民币）：033*****040******
户名：上海财瑞建设管理有限公司
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础，再以63.71折计取（不低于2500.00元人民币）。
上海大学
2024-11-21
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