快速退火处理系统(Lamp)国际招标公告(2)
快速退火处理系统(Lamp)国际招标公告(2)
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-11-10在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:新建12吋晶圆代工生产线
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,具备了招标条件
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位,具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********3060/01
招标项目名称:合肥晶合12吋晶圆制造基地项目12吋芯片退火处理系统与金属及硅化物薄膜沉积系统
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 快速退火处理系统(Lamp) | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | |
浅沟槽隔离及金属介电层的二氧化硅薄膜沉积?之高密度电浆系统(STI/IMD HDP) | 2台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
氮氧化硅及氮化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(SiON/SiN) | 3台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
钨金属栓塞之化学气相沉积系统 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
二氧化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(PETEOS) | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
非晶质碳薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(Carbon) | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
二氧化硅可参杂硼磷薄膜沉积之半大气压化学沉积系统(BP TEOS/O3 TEOS) | 2台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
氮化钛之化学气相沉积系统 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
铝金属之物理气相沉积系统 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
钛与氮化钛之金属粘着层的物理气相沉积系统 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
钴金属之物理气相沉积系统 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | ||
2 | 12英吋(300mm)晶圆半自动目检机 | 1台 | 系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 |
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