快速退火处理系统(Lamp)国际招标公告(2)

快速退火处理系统(Lamp)国际招标公告(2)

上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-11-10在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:新建12吋晶圆代工生产线
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,具备了招标条件
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位,具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********3060/01
招标项目名称:合肥晶合12吋晶圆制造基地项目12吋芯片退火处理系统与金属及硅化物薄膜沉积系统
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):

序号产品名称数量简要技术规格备注
1快速退火处理系统(Lamp)1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
浅沟槽隔离及金属介电层的二氧化硅薄膜沉积?之高密度电浆系统(STI/IMD HDP)2台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
氮氧化硅及氮化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(SiON/SiN)3台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
钨金属栓塞之化学气相沉积系统1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
二氧化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(PETEOS)1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
非晶质碳薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(Carbon)1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
二氧化硅可参杂硼磷薄膜沉积之半大气压化学沉积系统(BP TEOS/O3 TEOS)2台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
氮化钛之化学气相沉积系统1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
铝金属之物理气相沉积系统1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
钛与氮化钛之金属粘着层的物理气相沉积系统1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
钴金属之物理气相沉积系统1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。
212英吋(300mm)晶圆半自动目检机1台系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应是响应招标、已在招标机构处领购招标文件且满足文件中要求,并参加投标竞争的法人或其他组织。凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2016-11-10
招标文件领购结束时间:2016-11-17
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼1601室
招标文件售价:¥15000/$2350
其他说明:1、以上是包件一的售价,包件二晶圆半自动目检机的标书售价为1000元人民币或150美元 2、如电汇标书款请在备注栏注明 [emailprotected][emailprotected]
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2016-12-01 10:00
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼1601室
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼1601室
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人:合肥晶合集成电路有限公司
地址:安徽省合肥市新站区大禹路与西淝河路(合肥新站综合保税区)
联系人:李先生
联系方式:86-***-********
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达广场16楼
联系人:张伟、陆中浩、丁锦秀
联系方式:86-21-****************
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国建设银行上海市分行营业部
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行上海市分行营业部
账号(人民币):****************6341
账号(美元):****************6341
其他: SWIFT CODE:PCBCCNBJSHX


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 国际招标 沉积系统 薄膜

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