膜厚量测设备国际招标公告(2)
膜厚量测设备国际招标公告(2)
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-11-12在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包件1:使用laser激光管发出直射或斜射光来进行硅片表面颗粒检测的装置。
包件2:该设备主要用于300毫米晶圆的膜厚量测。
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:****-********3056/02
招标项目名称:上海华力集成电路制造有限公司膜厚量测设备
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 表面颗粒检测设备 | 1台 | *满足28nm产品量产表面颗粒检测需求 | |
2 | 膜厚量测设备 | 1台 | *满足28nm产品的膜厚量测需求。 |
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