燕东科技离子注入设备采购国际招标公告1
燕东科技离子注入设备采购国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 中束流离子注入设备 | 1台 | 为实现半导体集成电路8/12吋65nm硅片制造流程中的中束流注入工艺。 | |
2 | 12吋中束流离子注入设备 | 1台 | 为实现半导体集成电路12吋28nm硅片制造流程中的中束流离子注入工艺。 |
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