01-01 透射电镜
一、技术参数
1.分辨率和放大倍数
1.1线分辨率：≤ 0.204 nm。
★1.2 点分辨率: ≤ 0.37 nm。
1.3 放大倍率：≥25×～******×。
2.加速电压
2.1加速电压：≥20 kV–120 kV高压，连续可调。
2.2加速电压全程范围内切换和电镜模式需通过软件控制快速完成。
3电子枪和透镜系统
3.1 电子枪发射源类型：六硼化镧灯丝或钨灯丝。
▲3.2物镜具有恒功率模式。
★3.3物镜极靴间距：≥10 mm，保证单倾样品杆和三维重构样品杆的最大转动角度超过±65°。
★3.4聚光镜光阑孔和物镜光阑孔的切换和对中由计算机软件控制，软件系统可选择光阑孔径并进行自动化对中。
4.真空系统
▲4.1 完全无油真空系统，具备三级真空系统，至少包括1个前级隔膜泵、1个分子泵和2个离子泵。
4.2常温下真空度：电子枪真空度≤ 9 x10-6 Pa；样品区真空度≤ 3 x10-5 Pa。
4.3换样时间≤60秒。
4.4更换样品期间无需关高压同时保持灯丝开启状态。
★4.5观察和拍摄样品图像时可以开启离子泵同时关闭分子泵和隔膜泵。
5电子衍射
5.1 最大衍射角：≥ ±12°
5.2 最大会聚角：≥ 200 mrad。
5.3 相机长度（SA camera length ）调整范围不小于0.0205m – 8.1m，
6 样品台
6.1五轴优中心自动样品台，观察点位置可以标记存储并返回。
▲6.2 标准样品杆最大α倾斜角度：≥ ±90°。
★6.3样品移动范围：X,Y ≥ 2 mm；Z ≥ 0.75 mm 。
6.4样品漂移速率（使用标准样品杆）：≤ 1nm/min。
7 自动拼图拍摄
★7.1 自动拼图拍摄可设置的拼图数量≥50×50，单次总自动拼图张数≥2500。
7.2 拍摄图像的实时拼接可以与图像拍摄采集同时进行。
8 数字化照相系统
8.1 配置TEM一体化超高速高动态数字相机，快速寻找观察兴趣区，动态模式可实现短时间和长时间曝光的快速切换，支持动态傅立叶变换。
8.2配置TEM一体化超快速高分辨底部安装CMOS相机，可动态显示TEM像、衍射花样等图像，可拍摄动态录像。
▲8.3高分辨CMOS相机像素：感应尺寸：≥4,0964,096像素，像素物理大小≥14um14um，有效感光面积：≥3200mm2。
9 电镜操作和控制
★9.1 采用人机分离的系统控制方式，控制装置和电镜主机可以相隔10m或更远安装在不同的房间，实现人机分离的操作模式。
9.2具备常用功能，包括但不限于包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。
9.3电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意不少于5个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。
10.原装图像工作站一套：硬件配置不低于以下要求：处理器不少于6核、3.0GHZ，≥512 G SSD高速硬盘以及≥8TB SATA 7200 rpm硬盘，≥64GB内存,≥8GB独立显存。
★11.服务包含符合电镜安装要求的场地改造，验收标准为生产厂家安装工程师按照标准测量合格并符合安装条件。
★二、配置
1.图像工作站一套
2.随机透射电镜专用工具1套
3.透射电镜预安装工具包一套
4.配合透射电镜使用的5KW不间断电源UPS一套
01-02 聚焦离子束扫描电镜
一、技术参数
1.电子枪和电子束的技术要求
1.1电子发射源的类型：肖特基热场发射灯丝。
★1.2电子束流强度不窄于1pA至170nA。
★1.3电子束成像的最高分辨率：≤0.6nm @ 15kV, ≤1nm @ 1kV （非减速模式）。
1.4 加速电压范围：≥200 V至30 kV。
1.5 最大水平视野宽度：≥2.3 mm @WD=4 mm。
2.离子枪和离子束的技术要求
2.1离子源类型，Ga+。
2.2离子束加速电压：≥0.5kV至30kV。
2.3离子束束流范围不窄于：1pA至100nA。
▲2.4包含飞行时间（TOF）校正功能。
2.5重合点的离子束分辨率：在≤2.5 nm @30kV。
3.辅助气体注入系统GIS
3.1样品仓具有至少4个气体注入系统的单独接口。
3.2配置GIS沉积系统，用于离子束切割。
4.真空系统和真空样品仓
4.1内径不小于370mm。
4.2内置等离子清洁器，可清洗样品仓或样品表面。
4.3样品仓最高真空度：≤2.6×10-6 mbar（真空抽取24小时后）。
4.4不含油泵的清洁真空系统。
5.马达样品台
5.1五轴马达驱动样品台，样品台移动范围：X/Y方向不小于110mm，Z方向不小于60mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度)，倾斜角范围大于或等于-15°至90°。
5.2最大样品直径不小于110mm，可全方位旋转。
5.3最大样品高度不小于85mm（样品最高点在共心点）。
5.4非倾斜时的最大样品重量：≥5 kg（包括样品托架）。
6.信号探测器
6.1配备镜筒外样品仓内的二次电子探测器。
▲6.2镜筒内不少于3个电子信号探测器，其中至少一个电子探测器可切换二次电子和背散射电子两种模式。
★6.3镜筒下端配置可伸缩性的背散射电子探测器。
6.4配备样品仓内的红外摄像头。
6.5配备样品仓内的用于样品导航的彩色光学摄像头。
7.包含选配的应用软件
7.1自动切片和实时观察软件：可以在用户定义的样品体积中进行自动离子束连续切片和成像，可以将捕获的图像序列直接在软件内编译成视频，或者用作三维重建和切片体积的进一步分析的数据。
7.2自动拍照、光电联用和拼图软件：用于双束电镜的自动化拍照和光镜/电镜图像关联的软件套件。
7.3 可以自动识别外置序列超薄切片，可标注序列超薄切片的顺序并实现自动定位，设定目标区域后，可连续自动对外置序列超薄切片进行自动拍照。
7.4软件具有图像前处理功能，针对生物电镜数据灰度值接近，软件具有分割渲染功能，能够对膜结构、点状或者球状结构做增强，快速提取复杂的生物结构。
8.图形工作站：硬件配置不低于以下要求：处理器不少于6核、3.0GHZ，≥512 G SSD高速硬盘以及≥8TB SATA 7200 rpm硬盘，≥64GB内存,≥8GB独立显存。
★9.服务包含符合电镜安装要求的场地改造，验收标准为生产厂家安装工程师按照标准测量合格并符合安装条件。
★二、配置
1.电镜主机一套
2.信号探测器一套
3.真空系统一套
4.系统软件一套
5.图形工作站1套
合同履行期限：国产设备合同签订后30日历天内将货物送到需方指定地点并安装完毕；进口设备合同签订后210日历天内将货物送到需方指定地点并安装完毕（采购项目如有特殊要求按采购项目要求执行）。
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