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1.8本项目(非专门)面向中小企业采购。

1.9本项目(非专门)面向监狱企业采购。

1.10本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。

项目概况
集成电路学院 12 寸等离子增强气相沉积采购招标项目的潜在投标人应在 e 交易平台
（https://www.ejy365.com）获取招标文件，并于 2024 年 12 月 24 日 10 点 00 分（北京
时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
1.1 项目编号：JC203224853756
1.2 项目名称：东南大学集成电路学院 12 寸等离子增强气相沉积采购
1.3 预算金额：1650 万元
1.4 最高限价：1650 万元
1.5 采购需求：
项目地点：东南大学无锡校区
项目概况：集成电路学院采购 12 寸等离子增强气相沉积 1 套，主要技术要求如下:
1.设备功能：实现直径 12 寸及以下尺寸晶圆表面的薄膜沉积，包括
SiOx、SiCN、SiCOH 等类型薄膜的沉积。
2.含有设备前端模块（EFEM)一套，其内部配备有全自动机械手用于取放晶圆，外围
有高效过滤器（FFU)控制空气洁净度，有 3 个晶圆盒承载台和 6 个冷却平台。
3.含有工艺腔体（PM）不少于 3 个，各自含有 1 套独立完整的射频电源、进出气系统、
真空控制系统和真空泵系统，均可独立加工直径为 12 寸及以下尺寸的晶圆。
4. 三个 PM 可分别实现化学组分为 SiCOH、SiCN、SiO 的薄膜沉积。每个 PM 各自配
备一个专用的液态前驱体输送系统。
5. 12 寸晶圆内完成 SiCOH 薄膜沉积后，晶圆表面全部面积范围内直径为 0.09 μm 以上
的颗粒数量不超过 20 个。
6. 在 12 寸晶圆上沉积 SiO 薄膜，最大厚度可超过 50 μm，薄膜完整无缺陷，无开裂、
脱层等缺陷。
本项目不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。
1.6 合同履行期限：合同签订后 8 个月内设备安装调试合格。
1.7 行业划分：工业
1
1.8 本项目(非专门)面向中小企业采购。
1.9 本项目(非专门)面向监狱企业采购。
1.10 本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。
1.11 本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求
2.1 满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为
自然人的，提供其身份证）；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供 2023 年度的财务报告，或投
标截止时间前六个月内银行出具的资信证明）；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需
要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半
年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据），依法享受免缴、缓
缴的，提供证明材料；
（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；
（6）法律、行政法规规定的其他条件：无
2.2 落实政府采购政策需满足的资格要求：无
2.3 采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料
或者情况说明：无。
2.4 第 2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令
停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。
2.5 供应商在参加政府采购活动前 3 年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购
活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。
2.6 单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合
同项下的政府采购活动。
为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不
得再参加该采购项目的其他采购活动。
2.7 拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行
为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参
与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府
采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。
三、获取招标文件
2
3.1 时间：2024 年 12 月 3 日至 2024 年 12 月 10 日 17:30。（北京时间，法定节假日
除外）
3.2 地点：登录 e 交易平台（以下简称平台）网址为：https://www.ejy365.com
3.3 方式：
（1）凡有意参加投标者，请于获取时间内登录 e 交易平台按照要求进行实名会员注
册 、 完 善 相 关 信 息 及 选 择 项 目 报 名 、 下 载 招 标 文 件 ， 平 台 网 址 为 ：
http://www.ejy365.com。下载者首次登录平台前，须前往平台免费注册，注册成功且
完善相关信息后，可以及时参与平台上所有发布的项目。
（2）下载者应充分考虑平台注册、信息检查、资料上传、购标确认、费用支付所
需时间，下载者必须在获取时间内完成支付，否则将无法保证获取招标文件。未按照本
公告要求获得本项目招标文件的，招标代理机构不予接收其投标文件。
（3）下载者需要发票的，须通过平台“资金管理”模块进行操作。招标文件服务
费发票由招标代理机构开具；下载者选择开具增值税普通发票的，可在”资金管理 --标
书费电子发票”下载增值税电子普通发票；选择开具增值税专用发票的，可在”资金管
理--专用发票申请”中填写相关信息；平台服务费发票由江苏易交易信息科技有限公司
开具。非因招标代理机构或平台原因，发票一经开具不予退换。
（4）平台网站首页“帮助中心”提供操作手册，下载者可以下载并根据操作手册
提示进行注册、登录等操作。易交易平台技术支持联系方式
供应商技术支持热线：400-828-0799（工作时间：9:00-11:30,13:30-19:00）
供应商项目参与操作说明：
https://www.ejy365.com/upload/link/2022/08/30/48e1dd12-5050-4bbf-bfc9-
a0d7a037ba1c.pdf 技术支持服务态度不满意投诉热线：400-828-0799 转 0。
（5）联合体投标（如允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名
义在平台办理注册、下载文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各
方均具有约束力。
3.4 招标文件服务费每套 400 元，售后不退。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
4.1 2024 年 12 月 24 日 10 点 0 0 分（北京时间）
4.2 提交投标文件地点及开标地点：南京市鼓楼区清江南路 18 号鼓楼创新广场 D 栋
11 楼开标 1 室
3
投标人因故未出席开标会的，视同同意本项目开标结果。
4.3 投标人应提供投标文件一式柒份（正本壹份、副本陆份），所有投标文件均应密封
后递交，同时应提供电子版投标文件壹份（电子版须为投标文件正本加盖公章、签字后形
成 PDF 扫描件，扫描件内容应与纸质投标文件正本完全一致、U 盘形式（单独封装）、随
纸质正本文件一并提交）。当电子版文件和纸质正本文件不一致时，以纸质正本文件为准
电子版文件用于辅助评标和平台存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
6.1 本项目在中国政府采购网网站发布公告。
6.2 投标人应当从采购代理机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请按“标段”
获取招标文件，编制、提交投标文件，并按“标段”开标、评标。
6.3 勘察现场：无
6.4 投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至
投标截止时间前 3 个月的社保缴纳证明材料。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系
　 7.1 采购人信息
名 称：东南大学
地址：南京市四牌楼 2 号
联系方式：
集成电路学院：李老师 0510-85115626；
实验室与设备管理处：刘老师 025-83792693。
7.2 采购代理机构信息
名 称：江苏省设备成套股份有限公司
地　址：南京市鼓楼区清江南路 18 号鼓楼创新广场 D 栋 9 楼 908 室
联系方式：黄旭 025-86636850、18606195359
7.3 项目联系方式
项目联系人：黄旭
电　话：025-86636850、18606195359
采购代理机构：江苏省设备成套股份有限公司
2024 年 12 月 3 日
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联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com