采购项目名称：等离子体表面处理机
采购单位：北京市海淀区中关村环保园58号院3号楼
付款方式：合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址：北京市海淀区中关村环保园58号院3号楼
技术参数及配置要求：1 6061铝合金材质无缝焊接的真空腔体，真空室不小于12"W × 14"D × 12"H； 2 射频发电机+匹配变压器，300 W @ 100～460 KHz； 3 发生器误差小于设定值±2%； 4 质量流量控制器：2个气路，流速0～100 cc/min； 5 另配1路冲洗气路，1路破真空进气气路； 6 表面微加工精度达10 nm； 7 干泵排气速度＞10 m3/h； 8 配有Pirani压力计，实时数字显示工艺舱的压力值； 9 极限真空度≤1 Pa； 10 热电偶真空计时间控制可以精确到秒； 11 Windows控制系统，支持自动/手动控制模式自由切换，实时显示工艺过程，通过图表和数字实时显示气体流量、压力、等离子清洗时间，功率等工艺参数； 12 安全功能：温度、压力、门锁互锁功能； 13 报警功能：工艺气体异常报警，设置参数异常报警，显示详细报错信息； 14 设备可靠性：具有该响应型号不少于3份海内外知名高校（QS200）或厂商（上市公司）供货业绩，提供合同证明。
质保期：60个月
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