序号

设备名称

技术指标和功能要求

单位

数量

备注

1

高真空多靶磁控溅射镀膜机

*1、主溅射真空室尺寸:Ф560×350mm

进样室尺寸：Ф560×350mm

真空系统配置：主溅射室、进样室由各自独立的分子泵与机械泵抽气

极限压力：

主溅射室6.67×10^-6Pa

进样室≤6.67×10^-4Pa

修复真空时间：主真空室40min可达到6.6×10^-4Pa

进样室室40min可达到6.6×10^-3Pa

磁控靶组件：靶材尺寸Ф60，各靶射频溅射与直流溅射兼容，靶与样品距离40-80mm可调。

*2、设计6个工位，其中1个工位安装加热炉，其余工位为水冷基片台；

*3、样品尺寸Ф30，可放6片，运动方式0-360°往复回转，基片加热最高温度600℃

*4、水冷循环

*5、有负偏压控制系统

*6、电脑：

参数：CPU 酷睿I5-6400处理器

操作系统 Windows 7 家庭普通版

CPU类型 第六代 智能英特尔 酷睿I5处理器

四核500G

内存容量 4GB

内存类型 DDR4

内存频率 2133MH

插槽数量 2

*7、柜机空调

套

1

2

真空蒸发镀膜机

*1、主真空室尺寸：400×400×450mm；

2、极限压力：≤2×10-5Pa；

*3、盒式蒸发舟；

*4、膜厚检测仪：美国Filtech，每秒测量10次，0.03Hz测量，0.0133埃/秒；

5、样品台：样品尺寸：120×120mm基片，可放置42×34mm小基片6个，基片可连续回转，转速5-20转/分；

6、采用LED外照明方式；

7、真空室外带烘烤方式。

套

1

3

1 总体要求

1.1设备应采用先进成熟的设计思路及制造技术。

1.2设备具有优良的品质，即可靠性高，使用寿命长。

1.3设备操作方便、维护及维修容易，安全可靠。

1.4设备有高的测量准确性和重复性。

2 光源（光谱范围及分光方式）

a) 光谱范围： 240nm-2500nm

*b) 分光方式：采用前置单色仪分光

C)最小光谱测量间隔：由于0.2nm

3 起偏器、补偿器（调制器）和检偏器部分

a) 覆盖范围：覆盖仪器给定的整个光谱范围（240-2500nm）

*b) 补偿技术：基于旋转补偿或自动相位延迟等多位置动态补偿技术，补偿位置不少于3个。

4 测角仪部分

a) 入射角可变范围：20°-90°，最小步长0.01°

b) 变角方式：步进马达驱动，自动变角

c) 角度精度：0.01°

d) 样品准直：包括样品准直系统

5 样品台部分

*a）样品台：垂直样品台，真空吸附样品，可吸附最大样品直径150 mm

b) Z向移动方式及行程：手动，最大行程20mm

c) 样品台调整：可对样品的俯仰进行手动调节

6 数据采集及分析软件

a) 软件应包括3个license（一个用于在线测试和分析数据，另二个用于离线分析数据）。
b) 数据分析软件功能全、条理清晰、操作简便、人机互动性强；材料库及色散关系式全，可参考已知光学常数来建立色散关系式，可组合多个色散关系式到同一材料层中；可进行椭偏数据和透射率及反射率数据合并拟合，有多数据同时拟合功能；可对拟合参数的唯一性进行检测。

c) 软件可进行单层、多层膜的膜层厚度、折射率n、消光系数k等参数的分析。

d) 软件应具备材料组分、折射率梯度分布、表面粗糙、界面混合、各向异性等分析能力；可修正不理想的真实样品，如膜厚不均匀、背反射等。

*计算机配置，最新64位操作系统，500G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅

e) 软件可选择多入射角进行测量并同时拟合数据

*7 测量准确性：

在240-1700nm光谱范围上，Ψ：450±0.030 ，?：00±0.060 ；在1700-2500nm光谱范围上，Ψ：450±0.050 ，?：00±0.10（为直射状态下测量空气的数据）

8.测量重复性:

σ（Ψ）:0.0150，σ（Δ）:0.080；(30次测量的标准偏差，样品为SiO2（30nm）/Si)

套

1

4

多功能光催化反应器

*1、光源功率可连续调节大小，集成式光源控制器，可供汞灯、氙灯、金卤灯等多种光源使用。

*2、汞灯功率调节范围：100~1000W可连续调节。

3、氙灯功率调节范围：100~1000W可连续调节。

4、金卤灯功率调节范围：100~450W可连续调节。

*5、石英试管规格：30ml、50ml(或定做)。

6、可同时处理8个样品(或定做)。

八位磁力搅拌装置可同步调节8个样品的搅拌速度。

7、冷却水循环装置制冷量：＞1000W冷却水循环装置设有脚轮和底部排液阀。

套

1

5

浸渍提拉镀膜机

*1.提拉速度范围：1～6000 μm/s，最小分辨率1μm/s；（另有低速0.1μm/s、0.01μm/s产品）

2.速度精度：-0.02%～+0.02%；

3.最大行程：约170 mm（以实际为准）

*4.可镀膜基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；

5.浸渍时间：1～3600 s，最小分辨率1s；

*6.镀膜次数：1～100次，最少1次；

7.每次镀膜间隔时间：1～3600 s，最小分辨率1s；

8.电源：220V/50Hz ；

套

1

6

紫外可见分光光度计

：主机，自动六联池架，10mm 方形石英比色皿（7个），卤素灯 (备用品)，氘灯 (备用品)，薄膜厚度测定软件, 大样品室(内置直径60mm, 波长240nm-2600nm，PMT/InGaAs/PbS三检测器的积分球)，计算机，激光A4打印机

1 工作环境

1.1使用温度范围：15°C to 35°C

1.2 使用湿度范围：30% to 80%

2 技术规格

2.1 分光系统

2.1.1 光学系统: 双光束

2.1.2 分光器: 2片X2片光栅式双单色器。

预置单色器：凹面衍射光栅分光器，主单色器：象差校正型切尼尔一特纳分光器

2.1.3 测定波长范围: 185~3300nm

2.1.4 波长准确性: 紫外、可见区：±0.2 近红外区：±0.8

2.1.5 波长重复精度: 紫外、可见区：±0.08nm以内 近红外区：±0.32nm以内

*2.1.6 波长扫描速度: 波长移动速度：紫外、可见区：约18000nm/min 近红外区：约70000nm/min； 波长扫描速度: 紫外、可见区：约4500nm/min 近红外PMT/InGaAs区：约9000nm/min 近红外PbS区：约4000nm/min （各种切换所需时间除外）

2.1.7 波长采样间隔: 0.01～5nm

2.1.8 光源切换波长: 和波长同步自动切换282.0 nm~393.0 nm（0.1nm单位）

2.1.9 谱带宽度: 紫外、可见区：0.1/ 0.2/ 0.5/ 1/ 2/ 3/5/8nm 8档转换

近红外区： 0.2/ 0.5/ 1/ 2/ 3/5/8/12/20/32nm 10档转换

2.1.10 分辨率: 0.1nm

*2.1.11 杂散光: 0.00008% 以下 (220nm,Nal )

0.00005% 以下 (340nm, NaNO2)

0.0005% 以下 (1420nm, H2O)

0.005% 以下 (2365nm, CHCl3) "

2.1.12 测光方式: 双光束测光方式

2.1.13 测光类型: 吸光度（Abs），透射率（％），反射率，能量（E）

2.1.14 测光范围: 吸光度：-6~6 Abs

2.1.15 光度准确性：±0.003Abs(1Abs) ±0.002Abs(0.5Abs)

以上由NIST930D标准滤光镜测试"

2.1.16 光度重复精度：±0.0008Abs.(0～0.5Abs)，±0.0016Abs(0.5～1.0Abs) 1秒计算，

5次测定的最大偏差

*2.1.17 噪音 0.00005Abs RMS (500nm)

0.00008Abs 以下 (900nm)

0.00003Abs 以下 (1500nm) 狭缝2nm，1秒响应时的RMS值

*2.1.18基线平直度 ±0.004Abs（185-200nm）±0.001Abs（200-3000nm）±0.005Abs（3000-3300nm）

2.1.19 漂移：小于0.0002Abs/h (电源启动2小时后,500nm，1秒积算)

2.1.20 基线校正：计算机自动校正（电源启动时，自动存储备份的基线，可以再校正）

2.1光源： 50W卤素灯和氘灯（插座型）

*2.2检测器 紫外、可见区：光电倍增管R-928

近红外区：InGaAs光电二极管和冷却型PbS光电导原件

*计算机配置，最新64位操作系统，500G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅

套

1

7

去离子水和超纯净水制备系统

*1、产水量：10L/h；

2、最大取水流速：1-2L/min

*3、产水水质（一机同时产出两种水质）：

RO水水质：源水电导率*2%，运用五级净化工艺，有效滤除杂质、胶体、铁锈、细菌、病毒、大分子有机物等，保留水中有益矿物质和微量元素，水质符合中国饮用水国家标准《中华人民共和国国家标准GB5749—2006》。净化后的水质晶莹清澈、甜美甘醇，广泛适用于家庭、服务及办公场所

^**超纯水水质：电阻率 18.25 MΩ?cm@25℃，水质优于国家实验室GB6682-2008规格Ⅰ级水标准，TOC＜10ppb^**；微生物＜1cfu/ml ；颗粒杂质：(＞0.22μm) ＜1个/m1；硅截流率＞99.9%；可溶性硅(SiO₂)＜0.1ppb；吸光度(254nm,1cm)≤0.001；重金属去除率≥99%。

套

1

8

太阳光谱反射率及发射率测量仪

光谱范围250 nm to 2500 nm

±1%的灰色样品全尺寸

光学头:5“直径x 8”长

阀门和显示单元:7.5 x 5.5 x 3英寸

电池盒:7.5 x 6.25 x 4.0英寸

9

材料真空烧结制备炉

技术规格

额定电压：0-75V

2、电源电压：三相 380V

3、额定功率：40KW（待定）

4、最高温度：2000℃

5、冷态极限真空度：6.67×10-3Pa

6、工作区尺寸：Φ160×160mm（直径*高）

7、压 升率：≤ 4.0 Pa/h

8、加热器材料：石墨棒

9、保温隔热材料：石墨筒+石墨毡+外层不锈钢保温筒

10、温度控制方式：数显程序控温仪表+可控硅电压调整器

11、温度控制范围：室温—2000℃ （钨铼热电偶）

12、控温精度：±1℃

13、充气压力（微正压）：≤ 0.03 MPa

14、充气介质：N2 Ar等惰性气体

结构简介

1、炉体 为立式炉壳，其内层为1Cr18Ni9做成的园筒，外壳为碳钢经防锈处理。两层之间形成夹套可以通水冷却，将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体，炉体开有电极孔、抽气孔、热电偶孔及观察孔等。

2、炉体上部是炉盖，它是有内外封头和法兰焊成，中间可通水冷却炉盖，装有锁紧装置，松开锁紧，通过手动机构提升炉盖向后旋转打开，手动推到最大后即可装卸工件，炉体上设观察窗，可直接观察到物料烧结的变化。

3、炉底部分也是有内外封头和法兰组成，中间通水冷却，固定在炉体下部。

4、 炉内隔热屏由石墨筒、石墨毡、外层不锈钢保温筒等组成。

5 、真空系统由壹台2X-30机械泵配真空压差阀（防止因突然停电、机械泵油倒灌）、壹台TK-200油扩散泵配冷阱（防止油蒸气进入炉膛）、Ф200手动高真空蝶阀、充保护气氛阀（Ar、N2）、放气阀、Ф50手动蝶阀、真空压力表（±Pa）等组成，真空管道与泵的联接采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动），真空度的测量由数显复合真空计执行

6 、电气系统 380V三相电源经过降压变压器，电压降到安全电压，然后经过电缆再送到电极上。温度控制由程序控温仪（Honeywell）控制等。、电器元件采用Omron、TE品牌，控制箱体为西门子标准制作，控温精度高，操作方便。热电偶采用钨铼热电偶。

7 、水冷系统 冷却水由冷水机总管进入，经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方，然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门，可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表，当水压低于0.1Mpa时，可自动切断加热。冷却水管采用PPR材料或不锈钢管螺纹

连接、具有断水声光报警自动切断电源、使用寿命长、经久耐用等功能。

8、变压器及联接电缆：采用与使用功率相匹配的变压器及电缆。

9、炉架及操作平台：炉架结构采用优质冷轧钢板及型钢焊接结构独特设计技术，经久耐用，炉体安装在炉架上。操作平台合理的结构、用户可在操作平台上看通过观察窗看到炉内物料的变化、加料取料都在平台上完成。

套

10

多功能台阶仪系统

膜厚测试仪（台阶仪）主要用于薄膜材料厚度（2D）测量和表面形貌测量（3D）。可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度,薄膜曲率半径，应力测试等薄膜几何参数。应满足以下技术指标：

1. *最大扫描长度≥160mm；

2. *测试所允许的最大样品高度≥40mm；

3. *垂直方向的扫描范围≥900微米；

4. *测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）；

5. 测试垂直分辨率≤0.1nm

6. 光学系统：彩色CCD 180x放大倍率

7. XY移动载物台，X≥150mm行程,Y≥150mm行程；

8. *探针压力：0.03-15mg范围内可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。

9. 提供证书的校准用标样

10. 系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性

10.提供专用分析软件并终身免费升级

11． 多次扫描分析≥15次

12. *仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性

13.单次扫描最大采样点数120,000

14. *标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上

15. 仪器具有三维扫描功能

15.仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响

16.*计算机配置，最新64位操作系统，500G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅

17. 薄膜应力测量功能

注：*是必须满足的重要指标

套

1

11

太阳能电池I-V测试仪

技术参数：

1、SS150 AAA太阳能模拟器

1.1*光斑尺寸：25mm X 25mm

1.2*光谱匹配等级：A级

1.3*空间不均性等级：A级

1.4*时间稳定性等级：A级

1.5工作距离：100mm

1.6*氙灯功率：300W

1.7光谱范围：100mW/cm2

2、I-V测试系统

2.1电压范围：200V,精度：0.03%，分辨率：0.00001mV

2.2*电流范围：1A，精度：0.3%，分辨率：0.0001mA

扫描时间：2-50S

3、校正参比电池

3.1*带通：190-1100nm

3.2尺寸：20 X 20mm

3.3校正辐照度：1000W/m2

4、电池载物盘

4.1*测试样品尺寸：9 X 9cm

4.2*可实现真空吸附功能

5、四探针平台

5.1*四探针连接

5.2镀金铜探针

6、售后服务及其他

仪器在调试通过后提供1年保修服务，在保修期内，所有服务及配件全部免费（消耗品除外）。

仪器厂商在接到最终用户报修通知的8小时内应答，48小时内工程师上门服务；

仪器厂商应在现场免费进行安装调试该系统，确保仪器技术指标验收合格；并负责在现场或培训基地培训买方的技术人员、操作和维护人员。

全国免费服务热线，每周七天*八小时在线服务，指导操作，诊断并排除故障。

*计算机配置，最新64位操作系统，500G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅

套

1

11

打印机

1、最高分辨率1200×1200dpi

2、黑白打印速度33ppm

处理器800MHz

内存标配：256MB，最大：256MB

3、双面打印自动

4、84种可扩展的TrueType字体

5、接口类型USB2.010Base-T/100Base-TX/1000Base-T（RJ-45网络接口）

6、Windows 8/7 (32/64bit)/Vista (32/64bit)/XP 32bit SP2/Server 2008 (32/64bit)/Server 2003 32bit（SP3或更高版本）Mac OS X v10.5、v10.6、v10.7、Linux

台

2

12

彩色激光打印机

1处理器800MHz

2、内存标配：256MB，最大：256MB

3、双面打印自动

4、显示屏3英寸彩色触摸屏

5、产品尺寸392×412×236.2mm

台

1