序号

货物/服务名称

详细参数要求

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光学耦合测量系统

硬件和性能参数

1. 满足光学端面耦合和光栅耦合，光学性能测试

2. 端面耦合精度0.05微米，双面六轴调节架，配红外CCD光斑测试系统，配置光栅耦合双面自动六轴调节架，调节架线性轴行程不低于20mm，角度轴行程不低于±5°，分辨率不低于0.0032°

3. 芯片载物台具备温度调节能力，温度调节范围-5~60℃，温控分辨率达到0.05℃，温度波动≤±0.1℃，循环水冷。可XYR三维调节。底座可适配不同尺寸芯片要求。可进行真空吸附，吸附真空度不低于-33.3kPa。

4. 配备双面光纤及光纤阵列夹具，夹具可调可定制，可满足端面及光栅耦合。

5. 辅助观察单元采用龙门式结构，配备垂直和水平双视角，每个视角使用高清4K工业相机，相机分辨率不低于3.45μm，放大倍率不低于200倍，方便分析耦合过程

6. 具有自动点胶UV固化功能

7. 提供耦合耦合系统控制软件，支持光纤与芯片的自动耦合功能，可选择步进或连续模式进行控制，从而实现自动光学耦合。配套高速光功率计，支持光反馈的自动耦合方式，从而提升耦合的精度和稳定性。控制系统提供开发接口供用户自定义控制。

8. 配备直流和射频探针座，可对芯片进行DC/RF测试。探针座调整精度不低于0.7μm，并配套直流探针及射频探针。，

9. 提供高品质的光学平台，确保系统的使用性能和稳定性，并配套标准仪器架

10. 系统自动耦合时间小于10秒，耦合重复性误差小于0.2dB，耦合精度误差小于0.2dB，稳定性小于0.2dB/min

11. 提供相关测试仪器。包含，偏振消光比测试仪、可调起偏器、低偏光源、台式功率计、高精度源表、示波器等。

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售后服务

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。

4、质保期2年。