一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-24-G*****

2、项目名称：科研用热扫描探针纳米直写系统升级探针阵列模块采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：热扫描探针纳米直写系统升级探针阵列模块等，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：

为支持和提升热扫描探针光刻工艺设备的教学和科研工作，我校微纳系统制造中央实验室（NFF实验室）前期已采购1套热扫描探针纳米直写系统（品牌：NanoFrazor，型号：Explore）。现为提升纳米直写系统设备性能，提高设备样本的光刻直写效率，并能够满足高精度的线宽控制要求和长期稳定服务需求，现需对已购置的热扫描探针纳米直写系统进行设备升级，并采购原设备相应的整机延保服务。

NanoFrazor原设备的普通热探针可以在1微秒内实现热敏胶的蒸发，而新升级的多探针阵列模块可以实现比NanoFrazor普通热探针的光刻直写速度提升10倍，相对于传统基于尖端的光刻方法速度快了约*****倍。升级的多探针阵列模块包含的软件算法更新优化了错误修正和所编写的字段之间的相关性，可完成由同一数组中的不同提示所编写的字段之间的拼接，实现更好的拼接修正性。

经市场调研及专家论证，此次拟采购的升级模块是在已购置的设备基础上进行配套升级，并且涉及到专门的设备系统硬件软件对接调试，只有原设备厂商（Heidelberg Instruments Nano AG公司）提供的专门配套升级模块，才能确保与原设备的兼容适配，保证设备长期稳定正常运行，目前市场上没有其他品牌的模块配件能够实现升级所需要的功能参数要求。因此，目前仅有Heidelberg Instruments Nano AG公司的升级配件能够满足NFF实验室的设备升级需求。

综上所述，本项目拟以定向采购方式向广东省北尚进出口有限公司（Heidelberg Instruments Nano AG公司在中国对于此项目的唯一授权代理商）进行采购。

2、申请依据：

本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第（1）点“货物或服务只能由唯一供应商提供”的情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：广东省北尚进出口有限公司；地址：深圳市光明区马田街道薯田埔社区福东路33-35号602

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：林老师

联系电话：020-********

联系邮箱：janetjlqin@hkust-gz.edu.cn

香港科技大学（广州）采购处

2024年12月06日