一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-24-G*****

2、项目名称：科研用投影式曝光仿真模块等采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：科研用投影式曝光仿真模块等，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：为提升我校微纳系统中央实验室的实验支撑能力，完成各式微纳加工曝光模式的光刻胶和电子束模拟仿真跟数据处理，我校前期已采购电子束直写仿真软件GenISys LAB。

为确保电子束直写仿真软件的长期服务，提高STEPPER在光刻过程中的图形转印精确度，提升实验室的整体科研能力，现需升级该软件的投影式曝光模块功能（含该模块的4年订阅），并为已购置的GenISys LAB软件电子束光刻模块增购3年软件订阅。升级的模块包含了光掩模版设定、光刻机参数设定、光刻胶内的光强分布光学模拟仿真，以及光刻胶显影模拟仿真，可实现各种光学上工艺的优化包含FEM、工艺窗口、光刻胶厚度优化等，适应曝光仿真业务需求。

经市场调研及专家论证，本次采购的GenISys LAB软件投影式曝光模块及电子束光刻模块订阅只有原厂可提供。

综上，本项目拟以定向采购的方式向GenISys 公司在中国的唯一LAB软件代理商：利满洋行（RAYMOND AND CO）采购LAB软件。

2、申请依据：申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第（1）点“货物或服务只能由唯一供应商提供”的情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：RAYMOND AND CO ；地址：香港九龙观塘成业街27号日昇中心七楼702室

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：何老师

联系电话：020-********

联系邮箱：hanchihe@hkust-gz.edu.cn

香港科技大学（广州）采购处

2024年12月06日