高级型原子层沉积系统ALD设备采购项目公开招标公告

高级型原子层沉积系统ALD设备采购项目公开招标公告

公告概要:
公告信息:
采购项目名称 zycgr********高级型原子层沉积系统(ALD)设备采购项目
品目

货物/设备/航空航天工业设备/其他航空航天工业设备

采购单位 zycgr********
行政区域 苏州市 公告时间 2024年12月10日 15:52
获取招标文件时间 2024年12月10日至2024年12月17日
每日上午:9:00 至 11:00 下午:14:00 至 17:00(北京时间,法定节假日除外)
招标文件售价 ¥500
获取招标文件的地点 网络获取招标文件
开标时间 2024年12月31日 14:00
开标地点 苏州市吴中区石湖西路140号君联商务大厦715室
预算金额 ¥1460.******万元(人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人 代民安、霍佳敏
项目联系电话 0510-********
采购单位 zycgr********
采购单位地址 苏州市
采购单位联系方式 0512-********
代理机构名称 江苏弘业国际技术工程有限公司
代理机构地址 无锡市锡山经济开发区凤威路2号搜客天地A203室
代理机构联系方式 代民安、霍佳敏 0510-********

项目概况

zycgr********高级型原子层沉积系统(ALD)设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在网络获取招标文件获取招标文件,并于2024年12月31日 14点00分(北京时间)前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号:1009-2441HOLLY483

项目名称:zycgr********高级型原子层沉积系统(ALD)设备采购项目

预算金额:1460.****** 万元(人民币)

最高限价(如有):1460.****** 万元(人民币)

采购需求:

本项目采购一套高级型原子层沉积系统(ALD)。

采购项目的名称、数量:

包号

货物名称

数量

简要技术规格

是否允许采购进口产品

1

高级型原子层沉积系统(ALD)

1套

1、装片尺寸:8英寸且向下兼容6英寸,并方便装片尺寸切换;

2、反应腔体数量:≥2,并可拓展反应腔体数量≥4;

3、腔体种类:热反应腔1,等离子体模式反应腔≥1;

4、腔体功能:满足氧化物,氮化物,金属等薄膜沉积;

5、叠层沉积:无需出腔,通过全自动真空机械手实现自动双腔(或多腔)连续沉积;

6、厚度不均匀性:氧化物薄膜≤1%(1σ8英寸晶圆5毫米边缘除外);氮化物或金属薄膜≤3%(1σ,8英寸晶圆5毫米边缘除外);

7、温度及温控:温度范围50-500 ℃,温控精度±1℃;

本项目具体技术规格要求详见招标文件第五章。

合同履行期限:合同签订后6个月内

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库【2020】46号)规定,对小型和微型企业产品的价格给予10%的扣除,用扣除后的价格参与评审。执行《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库[2014]68号)第二条规定,监狱企业视同小型、微型企业,享受预留份额、评审中价格扣除等政府采购促进中小企业发展的政府采购政策。执行《财政部、民政部、中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》(财库〔2017〕141号)的规定,落实支持残疾人福利性单位发展政策,在政府采购活动中,残疾人福利性单位视同小型、微型企业,享受预留份额、评审中价格扣除等促进中小企业发展的政府采购政策。但残疾人福利性单位本身属于小型、微型企业的,不重复享受政策。上述三项价格扣除优惠不得重复享受。

3.本项目的特定资格要求:3.1.供应商须为在中华人民共和国境内注册,具有独立承担民事责任和履行合同能力,能够合法提供本采购项目货物和服务的独立法人企事业单位;3.2.供应商须提供授权委托人的由有关部门出具的2024年9月~2024年11月的社保缴费证明(公司成立不足三个月的则提供自成立之日起法定代表人授权代表的社保缴费证明)复印件加盖公章;3.3.拒绝下述供应商参加本次采购活动:1)供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。2)凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加本项目的采购活动。3)拒绝被“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商参与政府采购活动。

三、获取招标文件

时间:2024年12月10日 至 2024年12月17日,每天上午9:00至11:00,下午14:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)

地点:网络获取招标文件

方式:供应商须将营业执照、法定代表人身份证或者法定代表人授权书(授权书须注明被授权人手机号码及邮箱地址)及被授权人的身份证等获取招标文件资料扫描件发送至代理机构邮箱huojiamin@artall.com,获取招标文件资料经审核无误后,代理机构将电子文档招标文件发至供应商登记的邮箱,并邮寄纸质招标文件。

售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:2024年12月31日 14点00分(北京时间)

开标时间:2024年12月31日 14点00分(北京时间)

地点:苏州市吴中区石湖西路140号君联商务大厦715室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.本项目收取投标保证金。

2.本项目不接受进口产品(注:本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品)。

七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:zycgr********     

地址:苏州市        

联系方式:0512-********      

2.采购代理机构信息

名 称:江苏弘业国际技术工程有限公司            

地 址:无锡市锡山经济开发区凤威路2号搜客天地A203室            

联系方式:代民安、霍佳敏 0510-********            

3.项目联系方式

项目联系人:代民安、霍佳敏

电 话:  0510-********

 

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 原子层沉积 ALD

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