半导体研究所聚焦离子束双束电子显微镜采购项目市场调研公告
半导体研究所聚焦离子束双束电子显微镜采购项目市场调研公告
2024-12-16
广州市国科招标代理有限公司（以下简称“采购代理机构”）受广东省科学院半导体研究所（以下简称“采购人”）委托，现对“聚焦离子束双束电子显微镜”组织进行需求调研。为了解市场各供应商的服务情况，以及使服务和商务要求体现公平、公正的原则，现邀请有能力提供合格服务的各单位参与本项目的需求调研活动，相关事宜通知如下：
一、项目概况
| 1、调研内容： | 聚焦离子束双束电子显微镜 1套 |
| 2、调研标的内容清单及主要服务要求： | |
| 需要实现的功能： 主要应用于各类样品的高分辨显微成像、高精度微纳加工、三维分析、原位失效分析、截面制备、定点透射电镜样品制备、纳米图形加工、电子束刻蚀、离子束沉积等。 价格要求： 货款、设计、安装、随机零配件、标配工具、运输保险、调试、培训、质保期服务、各项税费（采购人为免税单位，如提供进口产品的需排除进口税费）及合同实施过程中不可预见费用等。 配置内容要求： 1）辅助气体注入系统：可在离子束、电子束诱导下进行Pt、W、C的气体沉积; 2）电子束分辨率（在最佳工作距离下）：≤0.6nm @ 15kV；≤1.0nm @ 1kV(非减速模式下); 0.9nm@1kV(减速模式下); 3）电子束分辨率（在束重合点处）：≤0.6nm @ 15kV；≤1.5nm @ 1kV； 4）电子束流强度范围：0.8pA-176nA； 5）X、Y方向移动范围不低于110mm； 6）样品仓内宽：≥379mm； 7）配备快速真空进样系统，快速进样时间≤25秒； 8）最大图像存储分辨率（单次扫描不拼接）：不低于64k*64k； 9）配备全自动 TEM制备软件，可以实现自动挖坑、提取、焊接以及减薄制样过程。 | |
二、调研方式
有意向参与的单位可以向采购代理机构提供参数指标、设计方案、相关产业发展情况、市场供给情况、同类服务项目历史成交信息及其他需求相关情况意见或建议（须按照附件一：政府采购项目采购需求格式进行填写），请在本公告发出之日起的5个工作日内，以邮件或邮寄形式（材料加盖公章，并提供加盖公章的营业执照、注明联系人、联系电话）发送至采购代理机构邮箱：gzgk@gzgkbidding.com，采用邮寄形式递交的单位请邮寄至：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼 李小姐020-********。采购人将根据调研意见情况，结合自身采购需求，形成采购文件。
三、需求调研截止日期、时间及公布媒体
1、递交截止日期和时间：2024年12月23日 17:30（北京时间，以采购代理机构收到时间为准）。
2、本公告信息在广州市国科招标代理有限公司网（www.gzgkbidding.com）上公布。
四、单位联系方式
采购代理机构：广州市国科招标代理有限公司
项目联系人：李小姐、苏先生
联系电话：020-********、020-********
传真号码：020-********
电子邮箱：gzgk@gzgkbidding.com
联系地址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼
邮政编码：******
网址：www.gzgkbidding.com
附件一：政府采购项目采购需求格式
广州市国科招标代理有限公司
2024年12月16日
附件下载: 附件一：政府采购项目采购需求格式
标签: 聚焦离子束
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