一、 JSDXSB－D－2016［0010］

二、 采购人名称：江苏大学实验室与设备管理处

三、 采购项目名称：射频等离子磁控溅射镀膜仪1套

四、 采购组织类型：自行组织

五、 项目主要技术参数指标技术指标参数及配置

1.1 电源部分

一个300 W、13.5 MHz的射频电源，功率为800 W（包括真空泵）。要求其可方便灵活地在射频和直流电源之间切换。

1.2 磁控溅射头

1.2.1 一个 2英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接，并用一个快速挡板安装在法兰上（手动操作）；也可选配1英寸的溅射头。

1.2.2 靶材尺寸：直径为50 mm，最大厚度6.35 mm。

1.2.3 溅射头所需冷却水：流速10 L/min（仪器中配有一台流速为16 L/min的循环水冷机）。

1.3 真空腔体

1.3.1 真空腔体尺寸：160 mm OD × 150 mm ID × 250mm H；采用高纯石英制作。

1.3.2 密封法兰：直径165 mm，采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封。

1.3.3 采用一个不锈钢网罩住整个石英腔体以屏蔽等离子体，避免辐射危害。

1.3.4 真空度：采用直联式双极旋片真空泵时为10-3 Torr，采用涡旋分子泵时可达10-5 torr。

1.3.5 LED显示屏显示，同时也可输入所需制备薄膜的相关控制参数。

1.4 载样台

1.4.1 载样台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热（调控薄膜质量）。

1.4.2 载样台尺寸：直径50 mm （最大可放置2英寸的基片）。

1.4.3 旋转速度：1~20 rpm。

1.4.4样品的最高加热温度为700℃ (短期使用，恒温不超过1小时)，长期使用温度500℃，控温精度+/- 10℃。

1.4.5 LED显示屏显示，同时也可输入所需制备薄膜的相关控制参数。

1.5 真空泵

可选用直联式双极旋片泵，也可选用德国制作的分子泵系统。

1.6 薄膜测厚仪

1.6.1 仪器上安装一个精密的石英振动薄膜测厚仪，可实时监控薄膜的厚度，分辨率为0.10 ?。

1.6.2 LED显示屏实时显示薄膜厚度。

2、技术文件及资料

投标时应提供主要技术文件，包括但不限于以下内容：

设备的技术规格和技术性能，提供操作及维修手册。原产地证明、执行标准、近三年同型号仪器的用户信息等。

设备的外形尺寸及正常操作与安装维修时所需的空间位置，其它安装需要注意事项。

3、 安装调试及所需材料工具

为了使合同设备能顺利运行，卖方应负责派有经验的技术人员到买方合同设备现场进行安装、调试、技术指导，并对设备性能进行担保。安装调试所需工具由供方自备。

4、 操作环境

电源：220VAC，50/60Hz

工作温度 15℃-30℃

工作湿度 40%-60%

存储温度 10℃-50℃

存储湿度 40%-60%

5、备品备件

根据仪器特点提供2年以上的备品备件（列详细清单）。

6、 售后服务与培训

6.1*保修期：按供货方合格证书技术资料中的精度、质量要求和双方签订的合同技术附件所规定的条款进行验收；设备安装、调试、验收合格签字后，仪器进入保修期，整机保修期限为二年。在试运行期间，如有损坏或质量不合格者，卖方应及时给予修复和更换，其修理和更换应是免费的。正常修理周期和修理期间是否提供免费测试。

6.2维修技术方面

6．2.1 合同签订后，在一周内供应商寄送专业的实验室准备条件。并给予专业的实验室建议。

6.2.2在保修期外，为仪器提供终身维修服务，维修问题出现时，维修技术人员应在4小时内对维修信息作出响应，快速而准确地解决仪器的问题；需要时48小时内到达现场。维修时不收取人工费，更换配件按市场价的X（由厂家提供扣率）折扣收取。

6.2.3　*厂家承诺在硬件条件允许的情况下，终身免费升级软件，并对新软件的功能免费培训。

6.3　培训方面

6.3.1 安装工程师在用户现场安装调试完毕后，进行现场讲解培训，保证掌握基本技能，可以正确操作使用仪器。

6.3.2 仪器使用一段时间后,由厂方应用专家为甲方操作人员在江苏大学现场提供定期免费应用培训。培训内容包含仪器的基本原理、操作、日常维护及基础理论课程，通过技术培训，应使买方的技术人员能够掌握操作和维修技术，能较熟练地调整工艺和及时处理各种故障；培训时间不少于5个工作日。厂方将根据市场推过活动情况原则上可为江苏大学用户免费（含会务、住宿、车票费）提供2人次国内同行用户交流会。

7、 *交货地点：江苏大学机械工程学院（由供应商提供国内运保费）

8、交货时间：合同生效，收到付款后6周内。

9、 其他需要突出说明相关内容（供应商根据自身的仪器特点及售后服务）

七、 拟采用的采购方式：单一来源采购方式

八、 申请理由：因11月15日和11月19日两次招标公告，只有南京保利华科学器材有限公司一家单位来报名

九、 拟定供应商：南京保利华科学器材有限公司。

十、 其他事项：

对该项目拟采用单一来源采购方式有异议的，请于2016年12月5日上午10：00前携书面材料与以下联系人联系，逾期将不再受理。

联系电话：

技术咨询：

1.1、 江苏大学机械工程学院：黄老师　　 电话： 153*****179

商务咨询：

江苏大学实验室与设备管理处：张老师　电话：　0511—********

江苏大学实验室与设备管理处

2016年11月30日