详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)

一、项目基本情况

1.1项目编号：JC203224K34428

1.2项目名称：东南大学微纳平台接近/接触式光刻系统采购项目

1.3预算金额：350万元（含外贸代理费）

1.4最高限价：338万元（不含外贸代理费）

1.5采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：微纳平台采购接近/接触式光刻系统一套，主要技术要求如下：

最大衬底尺寸：6英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片；支持6“晶圆键合的夹具一套。

曝光光源：UV LED曝光光源支持 365nm(i 线)， 405nm(h 线)， 435nm(g 线），支持输出光谱的任意编辑，可以控制每种波长的输出光强在关闭或者 15%~100%之间调节。配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求，可在同一设备上实现“高分辨率”和“大景深”两种模式曝光，两种模式随时切换，切换时间在5分钟以内。

分辨率：优于0.8um (i线，光刻胶厚度1um，真空接触，等间距图形)。 优于2.5um(i线，光刻胶厚度1um，曝光间隙20um，等间距图形)。

光强均匀度：优于±2.5％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少 9个点。正面对准精度±0.5um，背面对准精度±1.0um。

接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

1.6合同履行期限：境外产品：开具信用证后90天内设备安装调试合格。

境内产品：合同签订后90天内设备安装调试合格。

1.7行业划分：工业

1.8 本项目(非专门)面向中小企业采购。

1.9 本项目(非专门)面向监狱企业来购。

1.10 本项目 (非专门)面向残疾人福利性单位采购。

1.11 本项目不接受联合体投标。

二、申请人的资格要求

2.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

6.1本项目在中国政府采购网网站发布公告。

6.2投标人应当从采购代理机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请按“标段”获取招标文件，编制、提交投标文件，并按“标段”开标、评标。

6.3 勘察现场：无。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系

7.1采购人信息

名 称：东南大学

地址：南京市四牌楼2号

联系方式：微纳平台：张老师，电话：0510-85116656；

实验室与设备管理处：刘老师，电话：025-83792693。

7.2采购代理机构信息

名 称：江苏省设备成套股份有限公司

地 址：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D座9楼908室

联系人：李晨娟、褚燕琳

联系方式：（025）86631092、86636850

邮箱：chuyl@jcec.cn

7.3项目联系方式

联系人：李晨娟、褚燕琳

联系方式：（025）86631092、86636850

项目概况
东 南 大 学 微 纳 平 台 接 近 / 接 触 式 光 刻 系 统 采 购 项 目 的 潜 在 投 标 人 应 在 e 交易平台
（ https://www.ejy365.com
） 获取招标文件，并于
202 5 年 1 月 13 日 09 点 30 分（北京时
间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
1.1 项目编号：JC203224K34428
1.2 项目名称：东南大学微纳平台接近/接触式光刻系统采购项目
1.3 预算金额：350 万元（含外贸代理费）
1.4 最高限价：338 万元（不含外贸代理费）
1.5 采购需求：
项目地点：东南大学无锡校区
项目概况：微纳平台采购接近/接触式光刻系统一套，主要技术要求如下：
最大衬底尺寸：6 英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸
的衬底及不规则小片；支持 6“晶圆键合的夹具一套。
曝光光源：UV LED 曝光光源支持 365nm(i 线)， 405nm(h 线)， 435nm(g 线），
支持输出光谱的任意编辑，可以控制每种波长的输出光强在关闭或者 15%~100%之间调
节。配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求，可在
同一设备上实现“高分辨率”和“大景深”两种模式曝光，两种模式随时切换，切换时间
在 5 分钟以内。
分辨率：优于 0.8um (i 线，光刻胶厚度 1um，真空接触，等间距图形)。 优于 2.5um
(i 线，光刻胶厚度 1um，曝光间隙 20um，等间距图形)。
光强均匀度：优于±2.5％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少 9 个点。正面对准精度
±0.5um，背面对准精度±1.0um。
接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。
1.6 合同履行期限：境外产品：开具信用证后 90 天内设备安装调试合格。
境内产品：合同签订后 90 天内设备安装调试合格。
1.7 行业划分：工业
1.8 本项目(非专门)面向中小企业采购。
1.9 本项目(非专门)面向监狱企业来购。
1
1.10 本项目 (非专门)面向残疾人福利性单位采购。
1.11 本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求
2.1 满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自
然人的，提供其身份证）；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供 2023 年度的财务报告，或投标
截止时间前六个月内银行出具的资信证明）；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，
提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年
内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳
清单）），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；
（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；
（6）法律、行政法规规定的其他条件：无
2.2 落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
2.3 采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或
者情况说明：（1）代理商投标且所投产品为进口产品的，还应提供设备制造商或其驻中国
办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理授权委托书，并明确承担一切售前 、
售后责任。
2.4 第 2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停
产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。
2.5 供应商在参加政府采购活动前 3 年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购
活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。
2.6 单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合
同项下的政府采购活动。
为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得
再参加该采购项目的其他采购活动。
2.7 拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行
为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商 参与
政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府采购
网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。
三、获取招标文件
3.1 时间：2024 年 12 月 20 日至 2024 年 12 月 27 日 17:30。（北京时间，法定节假
日除外）
3.2 地点：登录 e 交易平台（以下简称平台）网址为：https://www.ejy365.com
3.3 方式：
（1）凡有意参加投标者，请于获取时间内登录 e 交易平台按照要求进行实名会员注
册 、 完 善 相 关 信 息 及 选 择 项 目 报 名 、 下 载 招 标 文 件 ， 平 台 网 址 为 ：
http://www.ejy365.com。下载者首次登录平台前，须前往平台免费注册，注册成功且完
善相关信息后，可以及时参与平台上所有发布的项目。
2
（2）下载者应充分考虑平台注册、信息检查、资料上传、购标确认、费用支付所需
时间，下载者必须在获取时间内完成支付，否则将无法保证获取招标文件。未按照本公告
要求获得本项目招标文件的，招标代理机构不予接收其投标文件。
（3）下载者需要发票的，须通过平台“资金管理”模块进行操作。招标文件服务费
发票由招标代理机构开具；下载者选择开具增值税普通发票的，可在“资金管理 --标书费
电子发票”下载增值税电子普通发票；选择开具增值税专用发票的，可在“资金管理 --专
用发票申请”中填写相关信息；平台服务费发票由江苏易交易信息科技有限公司开具。非
因招标代理机构或平台原因，发票一经开具不予退换。
（4）平台网站首页“帮助中心”提供操作手册，下载者可以下载并根据操作手册提
示进行注册、登录等操作。易交易平台技术支持联系方式
供应商技术支持热线：400-828-0799（工作时间：9:00-11:30,13:30-19:00）
明
参
供
应
与
目
商
项
说
操
作
：
https://www.ejy365.com/upload/link/2022/08/30/48e1dd12-5050-4bbf-bfc9-
a0d7a037ba1c.pdf 技术支持服务态度不满意投诉热线：400-828-0799 转 0。
（5）联合体投标（如允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名义
在平台办理注册、下载文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各方均
具有约束力。
3.4 纸质招标文件服务费每套 400 元，售后不退。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
分 （北京时间）
日 09
5 年 1 月 13
点 30
4.1 202
4.2 提交投标文件地点及开标地点：南京市鼓楼区清江南路 18 号鼓楼创新广场 D 栋
11 楼开标 2 室
投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至投标
截止时间前 3 个月（2024 年 9 月-2024 年 11 月）的社保缴纳证明材料。
投标人因故未出席开标会的，视同同意本项目开标结果。
4.3 投标人应提供投标文件一式伍份（正本壹份、副本肆份），所有投标文件均应密封后
递交，同时应提供电子版投标文件壹份（电子版须为投标文件正本加盖公章、签字后形成
PDF 扫描件，扫描件内容应与纸质投标文件正本完全一致、U 盘形式（单独封装）、随纸质
正本文件一并提交）。当电子版文件和纸质正本文件不一致时，以纸质正本文件为准。电子
版文件用于辅助评标和平台存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
6.1 本项目在中国政府采购网网站发布公告。
6.2 投标人应当从采购代理机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请按“标段”获
取招标文件，编制、提交投标文件，并按“标段”开标、评标。
6.3 勘察现场：无。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系
　 7.1 采购人信息
名 称：东南大学
3
地址：南京市四牌楼 2 号
联系方式：微纳平台：张老师，电话：0510-85116656；
实验室与设备管理处：刘老师，电话：025-83792693。
7.2 采购代理机构信息
名 称：江苏省设备成套股份有限公司
地　址：南京市鼓楼区清江南路 18 号鼓楼创新广场 D 座 9 楼 908 室
联系人：李晨娟、褚燕琳
联系方式：（025）86631092、86636850
邮箱：chuyl@jcec.cn
7.3 项目联系方式
联系人：李晨娟、褚燕琳
联系方式：（025）86631092、86636850
采购代理机构：江苏省设备成套股份有限公司
2024 年 12 月 20 日
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联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com