一、项目名称：变温光电测量系统

二、招标编号：S*******

三、招标人：苏州大学国有资产与实验室管理处

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021 　　 　 传真：****-********

联系人：罗老师 　　　 电话：****-********，********

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：邓老师 　 　 电话：189*****299

电子邮箱：zdeng@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

变温光电测量系统　　1套

（一）性能指标

1.配备半导体特性分析仪的低温探针台

1.1样品台温度范围：10K～350K，控温稳定性：优于±100mK。

1.2制冷形式：采用闭循环制冷机制冷，不需要消耗液氮或液氦。

1.3制冷机冷头的维护时间间隔不少于10000个小时，压缩机的维护时间不少于30000个小时。

1.4 六个探针臂。其中四个直流臂，一个带FC接头的光纤臂，一个67GHz微波探针臂。

1.5微波校准基片间距范围：75～250 μm。

1.6探针臂的可移动距离X方向超过50mm。

1.7探针臂的可移动距离Y方向不小于25mm。

1.8探针臂的可移动距离Z方向不小于25mm。

1.9五个温度传感器，一个安装在探针臂上、一个安装在样品台上、一个安装在一级冷头上、一个安装在二级冷头上、一个安装在防辐射屏上。

1.10其中一个探针臂上安装温度计。

1.11防辐射屏上带IR吸收的窗口以及可替换的石英窗口，安装温度计和加热器，系统可进行快速回温。

1.12一级冷头安装温度计和加热器。

1.13二级冷头安装温度计和加热器。

1.14采用4或6通道控温仪，可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温。

1.15直流探针具有Guard保护结构设计，配备50欧姆带状线探针夹具。

1.16配备柔性探针4个。

1.17探针臂分别在防辐射屏及样品台上热沉。

1.18带加热器接地样品座，最大样品尺寸：不小于50mm。

1.19探针台配备可连接量子效率光强标定探头的BNC接口。

1.20真空系统：含分子泵，涡旋式干泵，全量程真空计，控制器，5KW循环水冷机和接口电缆，真空度达5×10-6Torr。

1.21显微镜：光学显微镜系统：包含显微镜，CCD相机，监视器及两个照明灯，分别为环形光和轴型光。两种照明灯可在漫反射和镜面反射的样品下自由切换。

1.22探针台可以在光学显微系统和EQE透镜组单元之间切换，EQE透镜组单元带有三轴位移调节系统精确调节光斑位置。

1.23半导体分析仪配备5个测量单元，包括三个I-V源测量单元，一个C-V多频率电容单元，一个前置放大单元。三个I-V源测量单元包括一个中等功率（电流最大值100mA,功率约2.1W），二个高功率(电流最大值1A,功率约21W)，前端放大单元最小量程达1pA。

1.24C-V单元频率范围：1KHz～10MHz ，偏置电压：±30V（差分模式下为±60V）；系统具备C-V参数分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等参数。

2.光电器件量子效率测量单元

2.1研究级氙灯光源或钨灯/氘灯光源，光飘移小于1%，光源可提供300～2000nm连续波长；具备灯源位置三轴微调功能以及灯源计时器。

2.2单色仪：单色仪用光栅不少于两级，可用波长范围不窄于300 nm～1800nm；波长最小步进 < 1 nm, 扫描间隔0.1 nm ～50 nm。

2.3光斩波器：频率范围4～500 Hz，可通过计算机控制频率，频率解析度可达0.01Hz，稳定度 < ±0.05 Hz；频率改变所需稳定时间 < 3秒。

2.4自动滤波片转轮系统：光学式滤镜转轮；4片滤波片；可自动控制或手动控制，并通过LED显示器显示当前位置。

2.5锁相放大器模块：DSP锁相技术；最大增益：107；最大灵敏度：1 nv；最大输入电压：10V；Bandpass带宽滤波功能，自动滤除干扰信号；双锁相功能；信道自动切换功能；前置直流滤波模块。

2.6光学成像系统：光斑面积为方形1 x 1 mm2，可调；全波长反射镜反射率>75%；单色光光强：530 nm处不小于2 mW/cm2；光学入射角度：8度角；垂直照射光路；有效样品操作距离大于10 cm。

2.7 探头（校正硅/锗探头，需提供NIST可溯源的校准报告）

Si （硅） 300～ 1100nm；Ge（锗）for 900 ～ 1800 nm；BNC接口；面积10×10 mm2,不均匀度小于千分之五；附标定证书，溯源到NIST；锗探测器需有专用锁放输入通道；可通过计算机控制切换探测器通道。

2.8测量软件：绝对光强校正、光谱响应测量、外部量子效率测量（EQE）、禁带宽度测量（Bandgap）、自动、实时短路电流密度Jsc计算、单波长短路电流自动计算、独立控制操作整体硬件系统及数据读取、光谱失配因子计算（MMF）、信号监控功能、任意AM光谱短路电流密度计算功能。

2.9示波器模块：示波器显示窗口，时域信号和频域信号测量分析显示能力，最大时域范围10 s，信号监控功能；软件支持4 对1计算器控制讯号切换器，两组独立通道(EQE, IQE)，模拟输入分辨率14 Bits (ADC，模拟数字转换器)，取样率(Sampling Rate)最大分辨率48 KS/s，最大显示电压范围±10V，准确度 7.73 mV，最小读取电流1 nA。

2.10内部量子效率量测模块：积分球反射率测量，搭配两寸积分球，硫酸钡涂料，1.4 cm积分球开口，8度角入射，反射率测试波长300～1800 nm，300～1800 nm平均测量重复性≤1%，反射率光斑尺寸：与EQE一致，IQE和EQE同点测量，反射率及内部量子效率量测计算程序，硅/锗探测器，标准反射白板，附计量报告。

2.11直流测量模块：直流测量模式，斩波器切换器，直流测量软件，1kHz低通直流滤波器，增益大于106，直流模式全波长测量不重复性≤±1%。

2.12镀金平板测量样品台：6寸标准晶硅测量样品台，铜镀金平台，两段式真空吸附功能，7 L/min吸附能力真空泵，两组Z轴探针座，探针两根，针尖0.5 mm，标准电池水平固定平台，4个高度水平调整Z轴座，调整范围30mm，BNC接口。

2.13低温探针台整合EQE模块：测量范围 300 ～ 1800 nm，光纤导光切换模块组件，设备内外均可独立量测使用，专用防泄漏光纤管2米，手套箱专用KF40法兰密封组件，光纤聚光透镜组，光纤照射光斑大小达直径1 mm，光源由上向下导光照射，探针台固定支架，XYZ三轴移动装置调节聚光透镜组位置，三同轴转BNC信号连接线，光强监控探测器monitor。

2.14屏蔽暗箱：一体式整合设备，防杂光屏蔽暗箱，至少60cm暗箱操作空间。

2.15配备工业级计算机，windows操作系统。

3.光电器件I-V测量单元

3.1 AAA级太阳光模拟器；镀金探针台；标准电池；I-V源表采用探针台已经配备的半导体特性分析仪。

3.2测量基本功能：I-V曲线，P-V曲线，短路电流，开路电压，峰值功率，峰值功率点电压、电流，填充因子，电流密度，转换效率；串联电阻，并联电阻，暗电流，数据自动存储等。

3.3测量特殊功能：光照和暗态条件下正向、反向扫描功能，多次测量功能（可自定义测量次数），重复性测量功能（可将每次测量曲线在同图显示，直观显示重复性）。

3.4专用短弧氙灯，有效AAA级光斑面积不小于70 mm × 70 mm；氙灯工作功率状态实时显示方式：功率模式、电压模式、电流模式；标准照射强度1.0Sun，且光照强度连续可调，调节范围：70% ～ 130%；灯泡位置三维可调。

3.5照射方向：镜头式出光，四向可调，垂直向下、向上，水平向左、向右，可根据样品情况在现场自由旋转调整。

3.6准直角：＜±4度。

3.7光谱不匹配性,光强不稳定性,光强不均匀性均满足ASTM E927-5 3A标准、IEC60904-9 2007 Ed2 3A标准、JIS C8912 3A标准；安装测试要求：客户现场再现AAA级指标。

3.8光谱不匹配性（AM1.5G）：＜±25%A级。

3.9光强时间不稳性：长时＜±1%（测试时间≥1小时），短时＜±0.5%A级。

3.10光强不均匀性：＜±2%A级。

3.11氙灯寿命：不小于1000小时；系统可自动记录氙灯使用时间。

3.12氙灯预热至稳定指示器，氙灯工作指示器，快门工作指示器；光室过热指示器，电源控制器过热指示器，氙灯寿命超时指示器；光室过热预警保护功能，内置温度传感器；安全自锁功能。

3.13标准电池材料：单晶硅；面积2cm×2cm；由国际光伏行业权威机构认证，并带证书，可追溯AIST。

3.14光源支架。

3.15镀金探针测试台，镀金面积10cm×10cm，三维可调探针座×2，球尖探针×4。

（二）系统配置

1.探针台主机带6个探针，其中4个直流臂，一个光纤臂，一个微波臂。

2.一台四或六通道温度控制器可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温。

3.光学显微镜系统：包含显微镜，CCD相机，监视器及两个照明灯，分别为环形光和轴型光。两种照明灯可在漫反射和镜面反射的样品下自由切换。

4.探针12个。

5.一个尺寸1.25英寸的接地样品座，一个2英寸的三同轴样品座。

6.微波校准基片一个。

7.分子泵组一套：包括分子泵，前级干泵，真空表头，真空规管，连接管线及配套卡箍等附件。

8.循环冷却水系统一套，功率5kW。

9.半导体特性测试仪一台，配备5个测量单元，包括三个I-V源测量单元，一个C-V多频率电容单元，一个前置放大单元。三个I-V源测量单元包括一个中等功率，二个高功率，前端放大单元。

10.太阳光模拟器部分，包含主机、镀金探针台及标准电池一套。

11.IPCE测试仪部分，包含主机、光源系统、单色仪、光学成像系统、光斩波器、自动滤波片转轮系统、锁相放大器模块、校正探测器、测量软件、显示示波器模块、操作计算机、屏蔽暗箱、镀金平板测量样品台、EQE近红外波长扩展、长波长内部量子效率测量模块、直流测量模块、真空探针台整合EQE模块。

（三）质保期至少1年。

五、评分标准：

本次招标采用综合评分法，总分为100分,具体内容如下：

1.技术参数及整体综合性能（50分）

1.1技术参数（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

1.1.1所投标产品多项参数偏离招标要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

1.1.2所投产品不满足招标文件技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣2分。

1.2综合性能情况（15分）

1.2.1所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（8分）。其中优于功能要求的每处加1分。

1.2.2所投产品的市场反馈情况（7分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况等综合评定。

2.价格分（35分）

2.1评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分。

2.2其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

3.综合商务（15分）

3.1 售后与培训服务（3分）。根据投标人在苏州周边地区有无服务网点及其数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2质保期（3分）。质保期符合招标要求的得1分，每增加1年加1分。

3.3 投标人综合实力（3分）。根据投标人的注册资本、公司成立年限与员工数、投标人的资质与证书等综合评定。

3.4 财务状况（1分）。

3.5标书质量（2分）。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.6 其他优惠措施（3分）。根据是否提供招标文件要求范围以外，评标委员会认可的具体而实在的优惠措施等综合评定。

六、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

七、招标文件价格：人民币800元（可投标时交纳），售后不退。

八、投标报名截止时间：2016年12 月20日12：00。投标报名要求：

（一）在报名截止时间前将投标确认函（格式见附件）送达或传真至招标人处；

（二）未在苏州大学仪器设备供应商库http://gysk.suda.edu.cn注册的供应商，请在报名截止时间之前完成注册。

九、投标截止时间：2016年12月27日13：45。各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件一式8份（其中正本1份，副本7份）送达招标人处。

十、开标时间：2016年12月27日13：45。

十一、未尽事宜，按《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》中的相关条款执行。