电子束蒸发薄膜沉积系统清采比选号采购公告
电子束蒸发薄膜沉积系统清采比选号采购公告
采购项目名称：电子束蒸发薄膜沉积系统
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%
签约时间要求：成交后10个工作日内
交货时间要求：签订合同后20个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：1、设备适用于6英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积，6英寸样品不均匀性≤±4%； 2、设备用于蒸镀金属及氧化物半导体薄膜，纳米级单层及多层功能薄膜； 3、设备极限真空度优于5.0×10-5Pa，真空漏率≤10-7Pa.l/s，真空室从大气到抽到≤5.0×10-4Pa，小于30min； 4、 样品台加热或水冷结构兼容二选一，加热样品台控温精度±1℃，配置水冷样品台可升降可旋转； 5、电子枪功率0-8KW可调；带预熔功能
质保期：12个月
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