润西微电子重庆有限公司润西2025年度备件需求-LAM公告
润西微电子重庆有限公司润西2025年度备件需求-LAM公告
采购公告
公告编号:DZXYGG202*****0003
一、采购项目基本情况
采购人:润西微电子(重庆)有限公司
采购项目编号:DZCGXY202*****0003
采购项目名称:润西2025年度 备件需求-LAM
采购内容或范围:润西2025年度LAM 备件需求
二、供应商资格要求
无需资格审查
三、采购文件的获取
采购文件在华润集团守正电子招标平台发布,不再另行线下提供纸质采购文件,凡有意参与者可在本公告期间自行登陆守正平台查看和下载采购文件。
四、响应文件的提交
响应文件提交/报价截止时间: 2025-02-24 08:00:00 _(北京时间,若有变化另行通知)
响应文件提交/报价方式:在响应文件提交/报价截止时间前,通过华润集团守正电子招标平台提交电子响应文件或报价,逾期提交将被拒收。
五、采购人联系方式
联系人:黄飞
电话:182*****014
邮箱:huangfei111@rwm.crmicro.com
六、采购明细
行号 | 物品/项目名称 | 单位 | 需求数量 | 补充说明 |
1 | PVALOR008A_ORING,2-243,KALREZ 9100 | 个 | 1 | 无 |
2 | PVALOR010A_O-RING,CLEAN FKM,-224 | 个 | 9 | 无 |
3 | PVALOR011A_RING,CENTERING (ISO 100) | 个 | 4 | 无 |
4 | PVALOR012A_O-RING,2-250,VITON V747-75 | 个 | 4 | 无 |
5 | PVALOT034A_ORING,NW40,KALREZ 9100 UP | 个 | 1 | 无 |
6 | PVALOT037A_SPRING,NESTED,WAVE,.375 OD, | 个 | 40 | 无 |
7 | PVALOT049A_SCRW,MOER,ALUMINA,10-32 x .200 | 个 | 44 | 无 |
8 | PVALOT050A_WASHER,WAVY,362OD,INCONELX750 | 个 | 200 | 无 |
9 | PVEXOR001A_ORING,2-324,KALREZ 8575 | 个 | 56 | 无 |
10 | PVEXOR004A_ORING,SPLICED,.210,37.000IN,V | 个 | 1 | 无 |
11 | PVEXOR007B_ORING,2-112,VITON | 个 | 8 | 无 |
12 | PVEXOR009A_ORING,-112,PERLAST,G74P,.487I | 个 | 114 | 无 |
13 | PVEXOR012B_ORING,PVCover,2-259,XM | 个 | 6 | 无 |
14 | PVEXOR013A_ORING,2-313,CHEMRAZ,E38,.662"ID X .21"W | 个 | 8 | 无 |
15 | PVEXOR014A_ORING,-210,PERLAST,G74P,.734ID x .139CS | 个 | 60 | 无 |
16 | PVEXOR015A_ORING,CLEAN FKM,-249 | 个 | 15 | 无 |
17 | PVEXOR016A_ORING,CLEAN FKM,SP,46.60 ID X .275 DIA | 个 | 8 | 无 |
18 | PVEXOR017A_O-RING,2-258,VITON,1 | 个 | 2 | 无 |
19 | PVEXOR018A_O-RING,CLEAN FKM,6.984 ID X .139 DIA | 个 | 8 | 无 |
20 | PVEXOT043A_SHWRHD,300MM,13",3292 HOLES,C3 | 个 | 52 | 无 |
21 | PVEXOT046B_FILTER,INLINE,WAFRGRD | 个 | 4 | 无 |
22 | PVEXOT048B_FILTER,HI FLOW,1/4 VCR M-M,5" | 个 | 4 | 无 |
23 | PVEXOT053A_RING,CNTRNG,NW16,AL,ID,PERLAST | 个 | 8 | 无 |
24 | PVEXOR020A_ORING,AS568A-025,DUPRA DU3R1,RED (RPC V16) | 个 | 32 | 无 |
25 | PVEXOR019A_ORING,P14,9100 (RPC V16) | 个 | 32 | 无 |
26 | PVEXOR021A_ORING,V15,CHEMRAZ XRZ (RPC V16) | 个 | 32 | 无 |
27 | PVEXOT056A_RING,CNTRNG,NW16,TEFLON,OD,PER | 个 | 8 | 无 |
28 | PVEXOT057A_GATE,PV,DOUBLE BONDED,KALREZ 9 (VAT PN ******) | 个 | 10 | 无 |
29 | PBSPOT002A_BWE chuck pin 390ENTRIC PIN CHUCK 300 Z=28 M=0.5 | 个 | 96 | 无 |
30 | PBSPOT009A_BWE 伯努利ECO Pin | 个 | 36 | 无 |
31 | PBSPOT004A_BWE chuck压缩pin弹簧VD-043 | 个 | 1 | 无 |
32 | PBSPFI011C_SP323 DI滤芯(0.03um) | 个 | 2 | 无 |
33 | PBSPFI013C_SP323 SPIN E/D滤芯50nm | 个 | 4 | 无 |
34 | PBSPFI012C_SP323 DHF滤芯(0.05um) | 个 | 2 | 无 |
35 | PDFLOT050A_SLV,ADPTR,SLIP-ON,SELFCNTR,V PEEK | 个 | 60 | 无 |
36 | PDFLOT049A_Confinimentring 垫片小 | 个 | 793 | 无 |
37 | PDFLOT040A_Confinimentring 垫片大 | 个 | 199 | 无 |
38 | PDFLOT044A_HANGER,4R,.025,.08-.08-.12-.12 | 个 | 199 | 无 |
39 | PDFLOT046A_PIN,ALIGN,UPR ELCTD,300MM | 个 | 265 | 无 |
40 | PDFLGK001A_backing plate brown gasket | 个 | 34 | 无 |
41 | PDFLOT047A_SLV,ALIGN, INNER ELCTD | 个 | 5 | 无 |
42 | PDFLSR003A_Inner electrode clamp hex washer | 个 | 199 | 无 |
43 | PDM4OT013A_injector | 个 | 4 | 无 |
44 | PDM4OT010A_TCP window | 个 | 4 | 无 |
45 | PDVMOT017A_Top edge ring | 个 | 15 | 无 |
46 | PDVMQU002A_injector | 个 | 15 | 无 |
47 | PDKYOT002B_INJ,DUAL,IEP,SMOOTH QTZ | 个 | 1 | 无 |
48 | PDKYOT001B_WDO,GAS INJ,FACE SEAL,QRTZ,NSG | 个 | 1 | 无 |
49 | PDFLOT008A_RING,COVER,OUTER,GND | 个 | 159 | 无 |
50 | PDFLQU004A_COV,H/E RING,QTZ | 个 | 67 | 无 |
51 | PDFLQU001A_RING,WAP,QTZ,GENERIC,17.07 ID, 300MM | 个 | 80 | 无 |
52 | PDFLOT002A_RING,WAP,17.07X10THK,300MM | 个 | 20 | 无 |
53 | PDFLQU003A_SLV,QTZ,STEPPED,PIN,DC BIAS | 个 | 133 | 无 |
54 | PDM4OT009A_Bot edge ring | 个 | 4 | 无 |
55 | PDKYOT008A_RING,EDGE,BOT,QTZ,200-300MM | 个 | 18 | 无 |
56 | PDKYQU002A_OES,WINDOW | 个 | 43 | 无 |
57 | PDKYOT009A_RING,EDGE,TOP,QTZ,EBP,300MM | 个 | 146 | 无 |
58 | PDM4OT012A_Top edge ring | 个 | 4 | 无 |
59 | PDFLOT048A_PIN,PICK UP,DC BIAS,SI CARB. | 个 | 67 | 无 |
60 | PDFLOT006A_Coupling Ring | 个 | 34 | 无 |
61 | PDFLOT005A_R,HE,4XX ESC,W/O FLAT,300MM,SS | 个 | 17 | 无 |
62 | PDFLOT003A_ELCTD,INR,SI,300MM. | 个 | 34 | 无 |
63 | PDFLOT001A_ELCTD,OUTER, .18 STEP, 300MM. | 个 | 34 | 无 |
64 | PDVMOT018B_Bottom Edge Ring | 个 | 4 | 无 |
65 | PDVMQU001A_TCP window | 个 | 10 | 无 |
66 | PDFLSR004A_Inner electrode clamp lock washer | 个 | 15 | 无 |
67 | PDKYOR005A_injector bottom o-ring,1.049 ID X .103 C/S W | 个 | 60 | 无 |
68 | PDKYOR016A_views port 1.112IDX.103C/ | 个 | 43 | 无 |
69 | PDKYOR014A_OES O-RING,FFKM,1.237 ID | 个 | 43 | 无 |
70 | PDKYOR006A_O-RING,FFKM,.609 ID X .139 C/S W | 个 | 79 | 无 |
71 | PDKYOR008A_injector upper O-RING,SSE38,0.671 ID * .139 | 个 | 49 | 无 |
72 | PDKYOR007A_TOP chamber upper O-RING,17.955 ID X .139 C/S W | 个 | 166 | 无 |
73 | PDKYOR017A_views port 1.698IDX.142C/ | 个 | 86 | 无 |
74 | PDKYOR002A_O-RING,FFKM,21.171 ID X .142 C/S W | 个 | 96 | 无 |
75 | PDVMOR002A_chamber O-ring | 个 | 48 | 无 |
76 | PDFLOR017A_WAP pickup DC156 O-ring | 个 | 34 | 无 |
77 | PDKYOR003A_ESC O-RING | 个 | 95 | 无 |
78 | PDFLSR005A_Inner electrode clamp screw | 个 | 199 | 无 |
79 | PDFLOT052A_ASSY,RTNR,SPR TL,300MM,FLEX(弹簧挂圈) | 个 | 100 | 无 |
80 | PDFLSR001A_ASSY,STUD,SOCKET | 个 | 265 | 无 |
81 | PDKYOT026A_views port assembly | 个 | 43 | 无 |
82 | PDFLOT041A_Talon Gaskets 300mm | 个 | 80 | 无 |
83 | PDFLOT054A_Cirlex shim set - larger one | 个 | 34 | 无 |
84 | PDKYOT023A_CLIP,RETAINING, SYM DOOR MNT | 个 | 96 | 无 |
85 | PDFLOT053A_Backing plate – TCP brown gasket | 个 | 15 | 无 |
86 | PDKYOR013A_OUTER liner 特氟龙 | 个 | 144 | 无 |
87 | PDVMOR011A_VAC Paddle O-ring | 个 | 80 | 无 |
88 | PDSFOR002A_chamber O-ring | 个 | 3 | 无 |
89 | PDKYOR011A_VAT O-RING | 个 | 178 | 无 |
90 | PDKYOR012A_VAT O-RING | 个 | 115 | 无 |
91 | PDFLOR030A_VAT cover O-ring | 个 | 15 | 无 |
92 | PDKYOR018A_O-RING,FFKM,15.879 ID X .142 C/S W | 个 | 27 | 无 |
93 | PDKYOR002A_TOP chamber lower O-ring ,SSE38,21.171ID * .142 | 个 | 96 | 无 |
94 | PDVMOR009A_EXTNSN line o-ring | 个 | 10 | 无 |
95 | PDVMOR010A_EXTNSN line o-ring | 个 | 10 | 无 |
96 | PDVMOR013A_strip slit door o-ring(9.734*.139) | 个 | 20 | 无 |
97 | PDVMOR003A_heater plate o-ring/heater plate o-ring | 个 | 20 | 无 |
98 | PDFLOR004A_O-RING,SILICONE,DIA.21.215 X C/S DIA.210 | 个 | 15 | 无 |
99 | PDVMOR007A_VAT Rocker Valve Door o-ring | 个 | 10 | 无 |
100 | PDSFOR004A_chamber O-ring | 个 | 1 | 无 |
101 | PDSFOR007B_chamber O-ring | 个 | 1 | 无 |
102 | PDSFOR003A_chamber O-ring | 个 | 1 | 无 |
103 | PDSFOR006A_chamber O-ring | 个 | 1 | 无 |
104 | PDSFOR005B_chamber O-ring | 个 | 1 | 无 |
105 | PDSFOR001B_chamber O-ring | 个 | 16 | 无 |
106 | PDVMOT014A_Tube o-ring | 个 | 40 | 无 |
107 | PDFLOR017A_O-RING,FKM, .614 ID X .070 C/S W | 个 | 34 | 无 |
108 | PDFLOR019A_chamber O-ring | 个 | 45 | 无 |
109 | PDFLOR027A_Inner electrode – backing plate DC156 O-ring | 个 | 15 | 无 |
110 | PDFLOR028A_Inner electrode – backing plate DC156 O-ring | 个 | 15 | 无 |
111 | PDVMOR004A_gas block O-ring | 个 | 10 | 无 |
112 | PDFLOR025A_O-RING,FSI, 9.737 ID X .103 C/S W. | 个 | 15 | 无 |
113 | PDFLOR022A_O-RING,FSI, .359 ID X .139 C/S W | 个 | 1 | 无 |
114 | PDFLOR014A_O-RING,FSI, .421 ID X .139 C/S W | 个 | 15 | 无 |
115 | PDVMOR005A_Top Plate Showing Gas Block O-Rings | 个 | 10 | 无 |
116 | PDFLOR016A_chamber O-ring | 个 | 30 | 无 |
117 | PDFLOR012A_chamber O-ring | 个 | 30 | 无 |
118 | PDFLOR023A_chamber O-ring | 个 | 15 | 无 |
119 | PDFLOR009A_chamber O-ring | 个 | 15 | 无 |
120 | PDFLOR008A_Al backing plate to TCP blue FSI O-ring | 个 | 15 | 无 |
121 | PDFLOR029A_O-RING,FSI, 14.984 ID X .139 | 个 | 15 | 无 |
122 | PDFLOR002A_O-RING,FSI, 16.955 ID X .139 C/S W | 个 | 1 | 无 |
123 | PDVMOR006A_chamber lid o-ring/heater plate o-ring/ | 个 | 10 | 无 |
124 | PDFLOT043A_KIT,CHOKE RING | 个 | 15 | 无 |
125 | PDFLOT051A_Backing plate – TCP gasket set | 个 | 15 | 无 |
126 | PDFLOT056A_RING,COUPLING,CERAMIC,W/FLAT,300MM | 个 | 20 | 无 |
127 | PDFLOT057A_RING,HE,4XX ESC,W/FLAT,300MM | 个 | 40 | 无 |
128 | PDKYOR020A_O-RING,FFKM,1.299 ID X .103 C/S W | CE! | 个 | 200 | 无 |
129 | PDKYOR019A_O-RING,FFKM,.987 ID X .103 C/S W | CE! | 个 | 50 | 无 |
130 | PDKYQU003A_WDO,QTZ,BAYONET,2300 | 个 | 76 | 无 |
131 | PDKYOT027A_INJ,DUAL,FACSEAL,IEP,HNYCMB,CER | 个 | 30 | 无 |
七、答疑澄清、通知
答疑澄清、通知等文件一经在华润集团守正电子采购平台发布,视为已发放给相应供应商(发放时间即为发出时间),请随时关注华润集团守正电子采购平台发布的相关信息,并及时查阅和处理。
八、其它事项
1.本公告在华润集团守正电子采购平台(https://szecp.crc.com.cn)上公开发布。
2.本项目采购通过守正平台线上进行,供应商需注册华润集团守正电子采购平台,通过平台进行响应文件的递交或报价,具体操作步骤可查阅网站首页帮助中心的操作手册,也可以联系守正客服。
3.如对采购项目有异议,请登录华润集团守正电子采购平台,通过异议菜单提出。
2025年02月18日
标签: 备件
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