序号

货物名称

招标技术要求

1

透射电子显微镜

1分辨率

*1.1信息分辨率：≤0.12nm

1.2点分辨率：≤0.25nm

2加速电压

*2.1加速电压：最高200kV；最低至少20kV

2.2 加速电压全程范围内切换仅需通过软件控制完成。

2.3 高压稳定性：≤ 1ppm/10min　

3电子枪

3.1电子枪类型：肖特基场发射电子枪；

*3.2 束流：1nm束斑电流 ≥ 2nA; 0.31nm束斑电流 ≥ 0.4nA;

3.3 束斑漂移：<1nm/min

3.4 最小能量分辨率：≤ 0.8eV

4 最小束斑尺寸

1.4.1 平行光照明模式：最小束斑 ≤ 1.0 nm

*1.4.2 汇聚束照明模式：最小束斑 ≤ 0.3nm

5会聚束电子衍射（CBED）

*5.1最大衍射角：≥ 12° （半角）

6 透镜

6.1 球差系数：≤1.5mm

6.2 色差系数：≤ 1.6 mm

6.3 最小聚焦步长：≤ 3nm

*6.4 恒功率透镜

*6.5 全自动光阑系统

7 TEM放大系统

7.1 放大倍数：25 - 1,500,000倍

7.2 放大倍数重复性：< 1.5%

8 相机长度：最小 ≤ 14mm；最大 ≥ 5700mm

9 扫描透射(STEM)

*9.1分辨率：0.16 nm

9.2探头：高角环形暗场探头（HAADF）

9.3 BF/DF探头

9.4 STEM放大倍数：150-230M倍

9.5 TEM与STEM模式相互切换后所需热稳定时间小于30秒

10 样品台

10.1最大倾斜角度：± 90°

*10.2样品移动范围：X,Y ≥ 2 mm；Z : ±0.375 mm

10.3样品漂移速率（使用标准样品杆）：≤ 0.5nm/min

10.4 XY方向压电陶瓷样品台

11 能谱仪探测器

*11.1 四个集成在极靴内的SDD 探头，每个探头晶体面积30mm2，无窗设计，快门保护

11.2 能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)，在输出计数率10kcps内保持不变

11.3 最大输入计数率：≥ 500Kcps

11.4 EDS立体角：≥ 0.90srad

11.5 可进行快速点、线、面扫描等分析

12 数字化照相系统

*12.1底装CMOS相机：像素********像素，像素大小：≥14um14um，拍摄速度： 30fps@4k x 4k

13真空系统

13.1 真空系统构成：完全无油真空系统，由机械泵、涡轮分子泵和3个离子泵等构成

*13.2 真空度：电子枪真空度：≤ 5.0*10-6 Pa；镜筒真空度：≤ 2.0*10-5 Pa；

13.3 典型换样时间小于1min；

14 三维重构系统技术指标：

14.1 样品杆最大倾角：± 70°

14.2 倾角最小步长：0.2°

14.3三维重硬件和软件: 三维重构硬件包含专用大倾角样品杆一套；三维重构软件包括：数据采集软件包（TEM模式、STEM模式和EDS模式），和数据对中重构及可视化处理软件包

14.4 最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2um (+/- 70°内倾转)

14.5 最大欠焦量变化：≤ 4um (+/- 70°内倾转)

14.6 重复性：≤ 400nm (样品杆重复3次进入)

14.7 能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用。

*14.8 可以实现TEM模式的三维重构和、扫描透射(STEM)模式和能谱仪（EDS）模式三维重构。

15电镜操作

15.1 数字化操作系统，基于Windows7的64位计算机控制系统, 在用户图形界面上完成电镜的操作控制。

15.2 能方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。

15.3电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。

*15.4 电镜操作者可以远程控制和操作电镜，不需要暗室。

16．配置要求

16.1 场发射透射电镜主机一台，包括：

16.2电子显微镜基本单元 1套

16.3 冷却水循环系统、压缩机及必要的外围附属设备1套

16.4提供CMOS、EDS必需的通信接口并完成TEM与CMOS、EDS的配合 1套

16.电镜控制计算机等 1套

16.6其它保证设备正常运行和保养所需的全套标准备品备件、专用工具 1套

16.7 一体化STEM系统（全套软硬件） 1套

16.8 洛仑兹透镜1套

16.9 四探头能谱仪系统及相关软件 1套

16.10 CMOS相机系统（全套软硬件） 1套

16.11 TEM、STEM、EDS三维重构系统软硬件 1套

16.12备用场发射灯丝一根

16.13电子全息系统1套

序号

目录

招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期

1.1产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），货物免费保修一年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；第二年免费人工，第三年人工和配件全部免费

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

3

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）其他商务要求

1

关于交货

1.1签订合同后180天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学检测中心指定位置。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

1

透射电子显微镜

1分辨率

*1.1信息分辨率：≤0.12nm

1.2点分辨率：≤0.25nm

2加速电压

*2.1加速电压：最高200kV；最低至少20kV

2.2 加速电压全程范围内切换仅需通过软件控制完成。

2.3 高压稳定性：≤ 1ppm/10min

3电子枪

3.1电子枪类型：肖特基场发射电子枪；

*3.2 束流：1nm束斑电流 ≥ 2nA; 0.31nm束斑电流 ≥ 0.4nA;

3.3 束斑漂移：<1nm/min

3.4 最小能量分辨率：≤ 0.8eV

4 最小束斑尺寸

1.4.1 平行光照明模式：最小束斑 ≤ 1.0 nm

*1.4.2 汇聚束照明模式：最小束斑 ≤ 0.3nm

5会聚束电子衍射（CBED）

*5.1最大衍射角：≥ 12° （半角）

6 透镜

6.1 球差系数：≤1.5mm

6.2 色差系数：≤ 1.6 mm

6.3 最小聚焦步长：≤ 3nm

*6.4 恒功率透镜

*6.5 全自动光阑系统

7 TEM放大系统

7.1 放大倍数：25 - 1,500,000倍

7.2 放大倍数重复性：< 1.5%

8 相机长度：最小 ≤ 14mm；最大 ≥ 5700mm

9 扫描透射(STEM)

*9.1分辨率：0.16 nm

9.2探头：高角环形暗场探头（HAADF）

9.3 BF/DF探头

9.4 STEM放大倍数：150-230M倍

9.5 TEM与STEM模式相互切换后所需热稳定时间小于30秒

10 样品台

10.1最大倾斜角度：± 90°

*10.2样品移动范围：X,Y ≥ 2 mm；Z : ±0.375 mm

10.3样品漂移速率（使用标准样品杆）：≤ 0.5nm/min

10.4 XY方向压电陶瓷样品台

11 能谱仪探测器

*11.1 四个集成在极靴内的SDD 探头，每个探头晶体面积30mm2，无窗设计，快门保护

11.2 能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)，在输出计数率10kcps内保持不变

11.3 最大输入计数率：≥ 500Kcps

11.4 EDS立体角：≥ 0.90srad

11.5 可进行快速点、线、面扫描等分析

12 数字化照相系统

*12.1底装CMOS相机：像素4096*

4096像素，像素大小：≥14um*

14um，拍摄速度： 30fps@4k x 4k

13真空系统

13.1 真空系统构成：完全无油真空系统，由机械泵、涡轮分子泵和3个离子泵等构成

*13.2 真空度：电子枪真空度：≤ 5.0*10-6 Pa；镜筒真空度：≤ 2.0*10-5 Pa；

13.3 典型换样时间小于1min；

14 三维重构系统技术指标：

14.1 样品杆最大倾角：± 70°

14.2 倾角最小步长：0.2°

14.3三维重硬件和软件: 三维重构硬件包含专用大倾角样品杆一套；三维重构软件包括：数据采集软件包（TEM模式、STEM模式和EDS模式），和数据对中重构及可视化处理软件包

14.4 最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2um (+/- 70°内倾转)

14.5 最大欠焦量变化：≤ 4um (+/- 70°内倾转)

14.6 重复性：≤ 400nm (样品杆重复3次进入)

14.7 能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用。

*14.8 可以实现TEM模式的三维重构和、扫描透射(STEM)模式和能谱仪（EDS）模式三维重构。

15电镜操作

15.1 数字化操作系统，基于Windows7的64位计算机控制系统, 在用户图形界面上完成电镜的操作控制。

15.2 能方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。

15.3电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。

*15.4 电镜操作者可以远程控制和操作电镜，不需要暗室。

16．配置要求

16.1 场发射透射电镜主机一台，包括：

16.2电子显微镜基本单元 1套

16.3 冷却水循环系统、压缩机及必要的外围附属设备1套

16.4提供CMOS、EDS必需的通信接口并完成TEM与CMOS、EDS的配合 1套

16.电镜控制计算机等 1套

16.6其它保证设备正常运行和保养所需的全套标准备品备件、专用工具 1套

16.7 一体化STEM系统（全套软硬件） 1套

16.8 洛仑兹透镜1套

16.9 四探头能谱仪系统及相关软件 1套

16.10 CMOS相机系统（全套软硬件） 1套

16.11 TEM、STEM、EDS三维重构系统软硬件 1套

16.12备用场发射灯丝一根

16.13电子全息系统1套

序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

免费保修期

1.1产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），货物免费保修一年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；第二年免费人工，第三年人工和配件全部免费

2

维修响应及故障解决时间

2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在24 小时内提供现场服务。

2.3供应商应定期对产品进行预维护保养，以防患于未然。在整个产品运行过程中，供应商帮助南方科技大学解决在应用过程中遇到的各种技术问题

3

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）其他商务条款偏离表

1

关于交货

1.1签订合同后180天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学指定地点。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

53

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

2

技术规格偏离情况

50

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分。 “*”重要技术参数每项负偏离，扣10分；一般技术参数每项负偏离，扣5分；扣分最高不超过100分。

3

商务需求

9

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

6

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据服务响应时间,售后服务时间及技术支持及技术解决方案等情况进行横向比较评分：优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0-30分打分。

2

其他商务条款偏离情况

3

专家打分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据交货、验收等响应情况进行横向比较评分：优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0-30分打分。

4

综合实力部分

8

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

3

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。