序号

货物名称

招标技术要求

1

等离子体增强化学气相沉积设备

★1.1: 制造商需要有超过30年的该等离子体设备的生产制造经验

★1.2：制造商在广州或深圳至少要有一名售后服务人员，便于及时到达现场服务。

★1.3：制造商需提供ISO9001：2008资格证书

★1.4：制造商需提供不少于10个同类产品销售案例（仅中国科研机构及大学）

★1.5：投标商需提供不少于10个在南方科技大学的同等规模以上的设备销售案例

1.6 等离子增强化学气相沉积系统主要由以下几部分组成：反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、控制系统与软件、配套附件等

1.7 要求整机原装

★1.8知名国际品牌射频源，如AE或Comdel，稳定的射频源（RF）和低频源（LF）

★1.9 用于沉积高质量氮化硅、氧化硅薄膜

★1.10 反应腔室具备原位等离子体清洗功能

1.11 反应腔室由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率

1.12反应腔室上盖可打开,并与下电极互锁,便于反应腔室的清洁和维护。同时需配有快锁装置和警示灯

★1.13 反应腔室极限真空≤5×10-4Torr

★1.14反应腔室真空漏率≤5×10-4 mbar·L/s

★1.15 上电极为铝制电极，配有射频与低频驱动，直径≥200mm

1.16 上电极带showerhead的气体喷淋装置，所有气体通过上电极的showerhead 进入反应腔

★1.17 下电极为铝制电极，接地。下电极直径200-250mm

1.18 样品直径最大8英寸。兼容3英寸、4英寸、6英寸以及碎片。

1.19 内置加热器，P.I.D.控温，温控范围最高可达380℃

1.20 上电极配射频源与低频源发生器及匹配单元，用于驱动上电极

★1.21知名国际品牌射频源，如AE或Comdel射频发生器：频率13.56 MHz，射频功率300~600 W，带冷却系统

★1.22知名国际品牌低频源，如AE或Comdel低频发生器：频率≥100KHZ，射频功率500W带冷却系统。

1.23反应腔室真空系统：知名品牌干泵，抽速600立方每小时，从大气抽到5×10-4Torr，时间小于15min

1.24配置2Torr电容式真空计。

★1.25气路系统至少八路工艺气体，其中必须包括：沉积氮化硅、氧化硅和清洁反应腔所需工艺气体气路。

1.26每路工艺气路均配置数控型MFC、颗粒过滤器和气动截止阀。需使用国际知名品牌MFC，控制范围为满量程的2%~100%，控制精度：+/-1%设定值（20~100%量程）；+/-0.2%设定值（2~20%量程）

1.27 其中SiH4和NH3气路配置防腐蚀MFC和旁路设计

1.28工艺操作软件可通过程序控制气体流量、气压、射频功率、低频功率、下电极温度等工艺参数。工艺程序自动运行，也可人为控制。可编辑、调用、拷贝相关工艺程序，具有数据记录、输出功能

1.29 配置一台主流的品牌电脑，采用Win7 系统控制所有软件，对系统分级密码保护

1.30 根据用户设定能实时监控和记录工艺参数，方便用户分析验证工艺条件

1.31 设备配置紧急停止开关和完善的安全互锁功能

1.32 对于危险部件需有警示标识, 需有急停开关和相应的互锁系统

1.33 设备运行环境

电源: 3相 380V。

环境温度：20-25℃。

相对湿度： 40%-60%

★1.34 SiO2沉积工艺验收条件：

沉积温度: 300℃

沉积速率：>50nm/min

片内厚度均匀性： ≤ ± 2%

片间厚度重复性：≤ ± 2%

折射率：1.46±0.02

片内折射率均匀性：≤ ± 5%

薄膜应力： ≤ 300 MPa compressive

腐蚀速率： <350nm/min(7:1 BHF@20℃)

★1.35 Si3N4沉积工艺验收条件：

沉积温度: 300℃

沉积速率：>10nm/min

片内厚度均匀性：≤ ± 2%

片间厚度重复性： ≤ ± 2%

折射率：1.98±0.02

片内折射率重复性： ≤ ± 5%

薄膜应力： ≤ 100 MPa

腐蚀速率： <150nm/min(7:1 BHF@20℃)

1.36 安装调试：供方应在设备到用户现场后1周内，安排技术人员到用户现场免费安装和调试

★1.37 设备搬运：供方需提供设备搬运服务，搬运至使用方指定地点，并完成设备安装调试

1.38 技术培训：供方需对用户相关人员进行设备使用及维护培训

……

……

……

序号

目录

招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期

货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

售后服务人员配备

在保修期内，投标人应保证在广州或深圳常驻有技术支持人员或设备维护工程师

3

维修响应及故障解决时间

在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。

4

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）其他商务要求

1

关于交货

1.1签订合同后120天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

2

关于验收

1.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

1.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

1

等离子体增强化学气相沉积设备

★1.1: 制造商需要有超过30年的该等离子体设备的生产制造经验

★1.2：制造商在广州或深圳至少要有一名售后服务人员，便于及时到达现场服务。

★1.3：制造商需提供ISO9001：2008资格证书

★1.4：制造商需提供不少于10个同类产品销售案例（仅中国科研机构及大学）

★1.5：投标商需提供不少于10个在南方科技大学的同等规模以上的设备销售案例

1.6 等离子增强化学气相沉积系统主要由以下几部分组成：反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、控制系统与软件、配套附件等

1.7 要求整机原装

★1.8知名国际品牌射频源，如AE或Comdel，稳定的射频源（RF）和低频源（LF）

★1.9 用于沉积高质量氮化硅、氧化硅薄膜

★1.10 反应腔室具备原位等离子体清洗功能

1.11 反应腔室由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率

1.12反应腔室上盖可打开,并与下电极互锁,便于反应腔室的清洁和维护。同时需配有快锁装置和警示灯

★1.13 反应腔室极限真空≤5×10-4Torr

★1.14反应腔室真空漏率≤5×10-4 mbar·L/s

★1.15 上电极为铝制电极，配有射频与低频驱动，直径≥200mm

1.16 上电极带showerhead的气体喷淋装置，所有气体通过上电极的showerhead 进入反应腔

★1.17 下电极为铝制电极，接地。下电极直径200-250mm

1.18 样品直径最大8英寸。兼容3英寸、4英寸、6英寸以及碎片。

1.19 内置加热器，P.I.D.控温，温控范围最高可达380℃

1.20 上电极配射频源与低频源发生器及匹配单元，用于驱动上电极

★1.21知名国际品牌射频源，如AE或Comdel射频发生器：频率13.56 MHz，射频功率300~600 W，带冷却系统

★1.22知名国际品牌低频源，如AE或Comdel低频发生器：频率≥100KHZ，射频功率500W带冷却系统。

1.23反应腔室真空系统：知名品牌干泵，抽速600立方每小时，从大气抽到5×10-4Torr，时间小于15min

1.24配置2Torr电容式真空计。

★1.25气路系统至少八路工艺气体，其中必须包括：沉积氮化硅、氧化硅和清洁反应腔所需工艺气体气路。

1.26每路工艺气路均配置数控型MFC、颗粒过滤器和气动截止阀。需使用国际知名品牌MFC，控制范围为满量程的2%~100%，控制精度：+/-1%设定值（20~100%量程）；+/-0.2%设定值（2~20%量程）

1.27 其中SiH4和NH3气路配置防腐蚀MFC和旁路设计

1.28工艺操作软件可通过程序控制气体流量、气压、射频功率、低频功率、下电极温度等工艺参数。工艺程序自动运行，也可人为控制。可编辑、调用、拷贝相关工艺程序，具有数据记录、输出功能

1.29 配置一台主流的品牌电脑，采用Win7 系统控制所有软件，对系统分级密码保护

1.30 根据用户设定能实时监控和记录工艺参数，方便用户分析验证工艺条件

1.31 设备配置紧急停止开关和完善的安全互锁功能

1.32 对于危险部件需有警示标识, 需有急停开关和相应的互锁系统

1.33 设备运行环境

电源: 3相 380V。

环境温度：20-25℃。

相对湿度： 40%-60%

★1.34 SiO2沉积工艺验收条件：

沉积温度: 300℃

沉积速率：>50nm/min

片内厚度均匀性：≤±2%

片间厚度重复性：≤±2%

折射率：1.46±0.02

片内折射率均匀性≤±5%

薄膜应力：≤300MPa compressive

腐蚀速率：<350nm/min (7:1 BHF@20℃)

★1.35 Si3N4沉积工艺验收条件：

沉积温度: 300℃

沉积速率：>10nm/min

片内厚度均匀性：≤±2%

片间厚度重复性：≤±2%

折射率：1.98±0.02

片内折射率重复性：≤±5%

薄膜应力： ≤ 100 MPa

腐蚀速率：<150nm/min (7:1 BHF@20℃)

1.36 安装调试：供方应在设备到用户现场后1周内，安排技术人员到用户现场免费安装和调试

★1.37 设备搬运：供方需提供设备搬运服务，搬运至使用方指定地点，并完成设备安装调试

1.38 技术培训：供方需对用户相关人员进行设备使用及维护培训

序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

免费保修期

货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

售后服务人员配备

在保修期内，投标人应保证在广州或深圳常驻有技术支持人员或设备维护工程师

3

维修响应及故障解决时间

在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。

……

其他

投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（一）免费保修期外售后服务条款偏离表

1

2

……

（三）其他商务条款偏离表

1

关于交货

1.1签订合同后120天（日历日）内。

1.2投标人必须承担保修期内设备免费搬迁一次、安装调试两次、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。为招标人的操作人员提供免费的理论和实操培训。

2

关于验收

1.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

1.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

……

序号

评分项

权重

1

价格

≥30

2

技术部分

53-57

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

（采购人可根据项目具体情况设置评价因素）

2

施工安全保障措施

（仅适用于有施工要求的项目）

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施，评标委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

3

检测报告

（仅适用于对产品有检测要求的项目）

≤5

专家打分

因不同产品检测要求可能不一样，建议由采购人根据采购项目的具体情况确定需要提供的检测报告的类别并设置评分规则，统一采用客观评分。

（检测合格的得分，检测不合格的或不合格项达到一定数量的不得分。）

4

样品/演示

（可选）

≤3

专家打分

评审委员会根据样品/演示情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。未提供样品或未演示的该项不得分。

（所有采购项目不允许要求投标人提供大样。样品需求只能将设计图纸作为参考，不得放图片和照片）

5

技术规格偏离情况

≤50

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，每负偏离一项扣x分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。

2. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，完全满足招标文件要求的得60-80分（该分值由采购人设定），每正偏离一项加x分，每负偏离一项扣x分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。

（上述1、2由采购人根据项目具体情况选择一种适用）

3.产品性能测试：该项仅适用于专用设备。由采购人根据项目的具体内容设定，设为客观分。

3

商务需求

7-9

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

5

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣x分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

2

免费保修期外售后服务条款偏离情况

（可选）

2

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣x分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

3

其他商务条款偏离情况

2

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣x分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

4

综合实力部分

6-8

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

3

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

履约评价

3

专家评分

根据深圳市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得100分，有差评的得0分。

3

节能环保

（可选）

2

专家评分

1、财政部、国家发展和改革委员会制定的《节能产品政府采购清单》；

2、财政部、环境保护部制定的《环境标志产品政府采购清单》

上述清单以截图及网址为准。两项都提供的得100分，少提供一项得50分，未提供的不得分。