扫描电镜需求公示招标公告

招 标 正 文
 

扫描电镜需求公示招标公告

( 扫描电镜采购 )需求公示

项目名称

扫描电镜采购

是否预选项目

否

采购人名称

南方科技大学

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

3,800,000.00

项目背景



扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌扫描观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，是微纳制造和器件制作方向的必备和常用研究设备。
目前南方科技大学正在建设成为广东省高水平理工科大学，其中“先进电子与信息技术”重点学科群是建设高水平理工科大学的关键学科群。而在“微电子科学与技术”学科方向中，第三代半导体材料的功率器件、高密度存储器、MEMS传感器、能量采集器件、Brain-on-a-chip和Lab-on-a-chip、纳米压印技术等研究都需要提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料，以便能够更全面、客观第进行判断分析。而扫描电子显微镜实现了一机多用，是一种快速、直观的综合性分析仪器。扫描电镜设备的采购可以进一步完善先进我校电子与信息技术学科的建设，加强学科建设力量，提高微纳电子方向的科研教学水平，实现学科建设的交叉性和前沿性。
因此，电子系微电子科学与技术方向五位教授经过共同协商决定使用高水平大学专项研究基金380万购买扫描电镜设备一套，供微电子科学与技术方向和校公共平台共同使用。

投标人资质要求


1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；
3）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《深圳经济特区政府采购条例实施细则》第三十四条的规定。）

货物清单

序号采购计划编号货物名称数量单位备注财政预算限额(元)
1PLAN-2017-136001-000021扫描电镜采购1.0批*******.0

具体技术要求



序号
货物名称
招标技术要求

1
扫描电镜系统（SEM）
1.基本要求



1.1发射源：热场发射电子枪



★1.2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计


★1.3分辨率： 0.8 nm @ 15kV

1.4 nm @ 1kV (非减速模式)




★1.4加速电压范围：20V－30kV，连续可调，无需更换模式



1.5放大倍数范围：12X－2,000,000X，连续可调，无需更换模式



1.6探针电流：范围3pA-20nA，连续可调
稳定度优于 0.2 %/h



1.7减震方式：气垫式自动水平系统



★1.8镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测,以及EBSD不更换模式的使用.



2 全无油真空系统



2.1 无油干泵 + 涡轮分子泵 + 离子泵



2.2 样品室极限真空度：≤2×10-4 Pa



3 样品室及样品台



3.1样品室尺寸（不小于）：内部直径330mm，高度270mm
3.2配备四个探测器：
独立的镜筒内环形In-lens二次电子探测器
样品室内ET 二次电子探测器
可伸缩式五象限高灵敏度背散射电子探测器
样品室内红外CCD摄像机(可与电镜控制软件实现一体化控制)



★3.3样品台：类型5轴全自动马达驱动样品台

安装抽屉式

控制双操纵杆控制盒




★3.4样品台马达移动范围（不小于）： 130mm（X方向），130mm（Y方向），50mm（Z方向），-3°— 70°（倾斜），360°（旋转）



3.5能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，X射线出射角35°



★3.6 物镜光栏：数量不少于 6孔

更换与对中方式电磁式




4 图像处理系统


4.1配套计算机系统（不低于）：CPU Intel 3.1 GHz Quad Core Processor，RAM 4 Gb，硬盘 1TB，光盘刻录机，24″TFT显示屏，带电镜控制旋钮的多功能键盘，鼠标，USB接口。




4.2显示图像分辨率：不小于 1024×768像素



★4.3最大存储图像分辨率：不小于32768×24576像素



4.4存储图象格式：TIFF、BMP与JPEG



4.5降噪方式：像素平均、帧/行平均、帧/行叠加



5 控制系统


5.1操作系统Windows 7，电镜操作控制软件。




5.2自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理。



5.3分屏显示，双放大，直方图，伪彩色，图像注释，图像测量。
6 附件及备件



6.1 X射线能谱仪



6.1.1探测器：



6.1.1.1类型：硅漂探测器，电制冷。



6.1.1.2活性区面积：20mm2



6.1.1.3分辨率：优于127eV



6.1.1.4探测元素范围：Be4-Cf98



6.1.2软件系统：



6.1.2.1分析导航器。



6.1.2.2全中文软件操作界面。



6.1.2.3信息管理系统。



6.1.2.4实验报告系统。



6.1.2.5元素面分布分析软件。



6.1.2.6电子束任意定位和分析软件。



6.1.2.7定性、定量分析软件。



6.1.3计算机系统（最低配置）：



6.1.3.1PC工作站。



6.1.3.2操作系统：Windows 7



6.1.3.3RAM：1GB



6.1.3.4硬盘：240 GB



6.1.3.5显示器：不小于24寸的彩色LCD显示器

商务需求



序号
目录
招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1
免费保修期
货物免费保修期一年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2
维修响应及故障解决时间
2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。
2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在48小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

……
其他
投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）免费保修期外售后服务要求（可选）

1


2


……


（三）其他商务要求

1
关于交货
1.1签订合同后150天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学指定位置。

2
关于验收
2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。

……


……


……

技术规格偏离表




序号
货物名称
招标技术要求
投标技术响应
偏离情况
说明

1
扫描电镜（SEM）系统
1.基本要求





1.1发射源：热场发射电子枪





★1.2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计




★1.3分辨率： 0.8 nm @ 15kV

1.4 nm @ 1kV (非减速模式)







★1.4加速电压范围：20V－30kV，连续可调，无需更换模式





1.5放大倍数范围：12X－2,000,000X，连续可调，无需更换模式





1.6探针电流：范围3pA-20nA，连续可调

稳定度优于 0.2 %/h







1.7减震方式：气垫式自动水平系统





★1.8镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测,以及EBSD不更换模式的使用.





2 全无油真空系统





2.1 无油干泵 + 涡轮分子泵 + 离子泵





2.2 样品室极限真空度：≤2×10-4 Pa





3 样品室及样品台





3.1样品室尺寸（不小于）：内部直径330mm，高度270mm





3.2配备四个探测器：
独立的镜筒内环形In-lens二次电子探测器
样品室内ET 二次电子探测器
可伸缩式五象限高灵敏度背散射电子探测器
样品室内红外CCD摄像机(可与电镜控制软件实现一体化控制)





★3.3样品台：类型5轴全自动马达驱动样品台
安装抽屉式
控制双操纵杆控制盒





★3.4样品台马达移动范围（不小于）： 130mm（X方向），130mm（Y方向），50mm（Z方向），-3°— 70°（倾斜），360°（旋转）





3.5能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，X射线出射角35°





★3.6 物镜光栏：数量不少于 6孔
更换与对中方式电磁式





4 图像处理系统




4.1配套计算机系统（不低于）：CPU Intel 3.1 GHz Quad Core Processor，RAM 4 Gb，硬盘 1TB，光盘刻录机，24″TFT显示屏，带电镜控制旋钮的多功能键盘，鼠标，USB接口。







4.2显示图像分辨率：不小于 1024×768像素





★4.3最大存储图像分辨率：不小于32768×24576像素





4.4存储图象格式：TIFF、BMP与JPEG





4.5降噪方式：像素平均、帧/行平均、帧/行叠加





5 控制系统





5.1操作系统Windows 7，电镜操作控制软件。





5.2自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理。





5.3分屏显示，双放大，直方图，伪彩色，图像注释，图像测量。





6 附件及备件





6.1 X射线能谱仪





6.1.1探测器：





6.1.1.1类型：硅漂探测器，电制冷。





6.1.1.2活性区面积：20mm2





6.1.1.3分辨率：优于127eV





6.1.1.4探测元素范围：Be4-Cf98





6.1.2软件系统：





6.1.2.1分析导航器。





6.1.2.2全中文软件操作界面。





6.1.2.3信息管理系统。





6.1.2.4实验报告系统。





6.1.2.5元素面分布分析软件。





6.1.2.6电子束任意定位和分析软件。





6.1.2.7定性、定量分析软件。





6.1.3计算机系统（最低配置）：





6.1.3.1PC工作站。





6.1.3.2操作系统：Windows 7





6.1.3.3RAM：1GB





6.1.3.4硬盘：240 GB





6.1.3.5显示器：不小于24寸的彩色LCD显示器





6.1.3.6打印机


商务规格偏离表



序号
目录
招标商务条款
投标商务条款
偏离情况
说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1
免费保修期
货物免费保修期一年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。



2
维修响应及故障解决时间
2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。



2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在48小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。



……
其他
投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。



（一）免费保修期外售后服务条款偏离表

1





2





……





（三）其他商务条款偏离表

1
关于交货
1.1签订合同后150天（日历日）内。



1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。



2
关于验收
2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。



2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。


评标信息



序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

50


序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

5

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

（采购人可根据项目具体情况设置评价因素）

2

施工安全保障措施

（仅适用于有施工要求的项目）

5

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施，评标委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

3

检测报告

（仅适用于对产品有检测要求的项目）

0

专家打分

因不同产品检测要求可能不一样，建议由采购人根据采购项目的具体情况确定需要提供的检测报告的类别并设置评分规则，统一采用客观评分。

（检测合格的得分，检测不合格的或不合格项达到一定数量的不得分。）

4

样品/演示

（可选）

0

专家打分

评审委员会根据样品/演示情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。未提供样品或未演示的该项不得分。

（所有采购项目不允许要求投标人提供大样。样品需求只能将设计图纸作为参考，不得放图片和照片）

5

技术规格偏离情况

40

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，完全满足招标文件要求的得60分（该分值由采购人设定），星号部分每正偏离或无偏离一项加5分，每负偏离一项扣5分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。

2.产品性能测试：该项仅适用于专用设备。由采购人根据项目的具体内容设定，设为客观分。

3

商务需求

10


序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

5

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣10分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

2

免费保修期外售后服务条款偏离情况

（可选）

0

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣10分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

3

其他商务条款偏离情况

5

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣10分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

4

综合实力部分

10


序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

5

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。

3

节能环保

（可选）

0

专家评分

1、财政部、国家发展和改革委员会制定的《节能产品政府采购清单》；

2、财政部、环境保护部制定的《环境标志产品政府采购清单》

上述清单以截图及网址为准。两项都提供的得100分，少提供一项得50分，未提供的不得分。

其它


附件

*******&dateType=FILE" target="_blank">扫描电镜(SEM)设备采购项目需求申报1208.docx
备注：本公示期限为2个工作日。公示期内如有异议，请登录采购系统，点击“提出采购需求质疑”功能点进行质疑，由采购人进行回复。采购需求质疑及回复列表
序号质疑标题质疑内容质疑单位质疑人质疑附件质疑日期标题内容单位采购人附件日期
( 扫描电镜采购 )需求公示

项目名称

扫描电镜采购

是否预选项目

否

采购人名称

南方科技大学

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

3,800,000.00

项目背景



扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌扫描观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，是微纳制造和器件制作方向的必备和常用研究设备。
目前南方科技大学正在建设成为广东省高水平理工科大学，其中“先进电子与信息技术”重点学科群是建设高水平理工科大学的关键学科群。而在“微电子科学与技术”学科方向中，第三代半导体材料的功率器件、高密度存储器、MEMS传感器、能量采集器件、Brain-on-a-chip和Lab-on-a-chip、纳米压印技术等研究都需要提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料，以便能够更全面、客观第进行判断分析。而扫描电子显微镜实现了一机多用，是一种快速、直观的综合性分析仪器。扫描电镜设备的采购可以进一步完善先进我校电子与信息技术学科的建设，加强学科建设力量，提高微纳电子方向的科研教学水平，实现学科建设的交叉性和前沿性。
因此，电子系微电子科学与技术方向五位教授经过共同协商决定使用高水平大学专项研究基金380万购买扫描电镜设备一套，供微电子科学与技术方向和校公共平台共同使用。

投标人资质要求


1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；
3）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《深圳经济特区政府采购条例实施细则》第三十四条的规定。）

货物清单

序号采购计划编号货物名称数量单位备注财政预算限额(元)
1PLAN-2017-136001-000021扫描电镜采购1.0批*******.0

具体技术要求



序号
货物名称
招标技术要求

1
扫描电镜系统（SEM）
1.基本要求



1.1发射源：热场发射电子枪



★1.2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计


★1.3分辨率： 0.8 nm @ 15kV

1.4 nm @ 1kV (非减速模式)




★1.4加速电压范围：20V－30kV，连续可调，无需更换模式



1.5放大倍数范围：12X－2,000,000X，连续可调，无需更换模式



1.6探针电流：范围3pA-20nA，连续可调
稳定度优于 0.2 %/h



1.7减震方式：气垫式自动水平系统



★1.8镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测,以及EBSD不更换模式的使用.



2 全无油真空系统



2.1 无油干泵 + 涡轮分子泵 + 离子泵



2.2 样品室极限真空度：≤2×10-4 Pa



3 样品室及样品台



3.1样品室尺寸（不小于）：内部直径330mm，高度270mm
3.2配备四个探测器：
独立的镜筒内环形In-lens二次电子探测器
样品室内ET 二次电子探测器
可伸缩式五象限高灵敏度背散射电子探测器
样品室内红外CCD摄像机(可与电镜控制软件实现一体化控制)



★3.3样品台：类型5轴全自动马达驱动样品台

安装抽屉式

控制双操纵杆控制盒




★3.4样品台马达移动范围（不小于）： 130mm（X方向），130mm（Y方向），50mm（Z方向），-3°— 70°（倾斜），360°（旋转）



3.5能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，X射线出射角35°



★3.6 物镜光栏：数量不少于 6孔

更换与对中方式电磁式




4 图像处理系统


4.1配套计算机系统（不低于）：CPU Intel 3.1 GHz Quad Core Processor，RAM 4 Gb，硬盘 1TB，光盘刻录机，24″TFT显示屏，带电镜控制旋钮的多功能键盘，鼠标，USB接口。




4.2显示图像分辨率：不小于 1024×768像素



★4.3最大存储图像分辨率：不小于32768×24576像素



4.4存储图象格式：TIFF、BMP与JPEG



4.5降噪方式：像素平均、帧/行平均、帧/行叠加



5 控制系统


5.1操作系统Windows 7，电镜操作控制软件。




5.2自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理。



5.3分屏显示，双放大，直方图，伪彩色，图像注释，图像测量。
6 附件及备件



6.1 X射线能谱仪



6.1.1探测器：



6.1.1.1类型：硅漂探测器，电制冷。



6.1.1.2活性区面积：20mm2



6.1.1.3分辨率：优于127eV



6.1.1.4探测元素范围：Be4-Cf98



6.1.2软件系统：



6.1.2.1分析导航器。



6.1.2.2全中文软件操作界面。



6.1.2.3信息管理系统。



6.1.2.4实验报告系统。



6.1.2.5元素面分布分析软件。



6.1.2.6电子束任意定位和分析软件。



6.1.2.7定性、定量分析软件。



6.1.3计算机系统（最低配置）：



6.1.3.1PC工作站。



6.1.3.2操作系统：Windows 7



6.1.3.3RAM：1GB



6.1.3.4硬盘：240 GB



6.1.3.5显示器：不小于24寸的彩色LCD显示器

商务需求



序号
目录
招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1
免费保修期
货物免费保修期一年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2
维修响应及故障解决时间
2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。
2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在48小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

……
其他
投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

（二）免费保修期外售后服务要求（可选）

1


2


……


（三）其他商务要求

1
关于交货
1.1签订合同后150天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

1.3交货地点：南方科技大学指定位置。

2
关于验收
2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。

……


……


……

技术规格偏离表




序号
货物名称
招标技术要求
投标技术响应
偏离情况
说明

1
扫描电镜（SEM）系统
1.基本要求





1.1发射源：热场发射电子枪





★1.2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计




★1.3分辨率： 0.8 nm @ 15kV

1.4 nm @ 1kV (非减速模式)







★1.4加速电压范围：20V－30kV，连续可调，无需更换模式





1.5放大倍数范围：12X－2,000,000X，连续可调，无需更换模式





1.6探针电流：范围3pA-20nA，连续可调

稳定度优于 0.2 %/h







1.7减震方式：气垫式自动水平系统





★1.8镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测,以及EBSD不更换模式的使用.





2 全无油真空系统





2.1 无油干泵 + 涡轮分子泵 + 离子泵





2.2 样品室极限真空度：≤2×10-4 Pa





3 样品室及样品台





3.1样品室尺寸（不小于）：内部直径330mm，高度270mm





3.2配备四个探测器：
独立的镜筒内环形In-lens二次电子探测器
样品室内ET 二次电子探测器
可伸缩式五象限高灵敏度背散射电子探测器
样品室内红外CCD摄像机(可与电镜控制软件实现一体化控制)





★3.3样品台：类型5轴全自动马达驱动样品台
安装抽屉式
控制双操纵杆控制盒





★3.4样品台马达移动范围（不小于）： 130mm（X方向），130mm（Y方向），50mm（Z方向），-3°— 70°（倾斜），360°（旋转）





3.5能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，X射线出射角35°





★3.6 物镜光栏：数量不少于 6孔
更换与对中方式电磁式





4 图像处理系统




4.1配套计算机系统（不低于）：CPU Intel 3.1 GHz Quad Core Processor，RAM 4 Gb，硬盘 1TB，光盘刻录机，24″TFT显示屏，带电镜控制旋钮的多功能键盘，鼠标，USB接口。







4.2显示图像分辨率：不小于 1024×768像素





★4.3最大存储图像分辨率：不小于32768×24576像素





4.4存储图象格式：TIFF、BMP与JPEG





4.5降噪方式：像素平均、帧/行平均、帧/行叠加





5 控制系统





5.1操作系统Windows 7，电镜操作控制软件。





5.2自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理。





5.3分屏显示，双放大，直方图，伪彩色，图像注释，图像测量。





6 附件及备件





6.1 X射线能谱仪





6.1.1探测器：





6.1.1.1类型：硅漂探测器，电制冷。





6.1.1.2活性区面积：20mm2





6.1.1.3分辨率：优于127eV





6.1.1.4探测元素范围：Be4-Cf98





6.1.2软件系统：





6.1.2.1分析导航器。





6.1.2.2全中文软件操作界面。





6.1.2.3信息管理系统。





6.1.2.4实验报告系统。





6.1.2.5元素面分布分析软件。





6.1.2.6电子束任意定位和分析软件。





6.1.2.7定性、定量分析软件。





6.1.3计算机系统（最低配置）：





6.1.3.1PC工作站。





6.1.3.2操作系统：Windows 7





6.1.3.3RAM：1GB





6.1.3.4硬盘：240 GB





6.1.3.5显示器：不小于24寸的彩色LCD显示器





6.1.3.6打印机


商务规格偏离表



序号
目录
招标商务条款
投标商务条款
偏离情况
说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1
免费保修期
货物免费保修期一年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。



2
维修响应及故障解决时间
2.1质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，供应商应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由供应商承担，供应商如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。



2.2质保期内，供应商将向南方科技大学提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受南方科技大学的电话技术咨询，如故障不能排除，供应商应在48小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。



……
其他
投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。



（一）免费保修期外售后服务条款偏离表

1





2





……





（三）其他商务条款偏离表

1
关于交货
1.1签订合同后150天（日历日）内。



1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。



2
关于验收
2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。



2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。


评标信息



序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

50


序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

5

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

（采购人可根据项目具体情况设置评价因素）

2

施工安全保障措施

（仅适用于有施工要求的项目）

5

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施，评标委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

3

检测报告

（仅适用于对产品有检测要求的项目）

0

专家打分

因不同产品检测要求可能不一样，建议由采购人根据采购项目的具体情况确定需要提供的检测报告的类别并设置评分规则，统一采用客观评分。

（检测合格的得分，检测不合格的或不合格项达到一定数量的不得分。）

4

样品/演示

（可选）

0

专家打分

评审委员会根据样品/演示情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。未提供样品或未演示的该项不得分。

（所有采购项目不允许要求投标人提供大样。样品需求只能将设计图纸作为参考，不得放图片和照片）

5

技术规格偏离情况

40

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，完全满足招标文件要求的得60分（该分值由采购人设定），星号部分每正偏离或无偏离一项加5分，每负偏离一项扣5分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。

2.产品性能测试：该项仅适用于专用设备。由采购人根据项目的具体内容设定，设为客观分。

3

商务需求

10


序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

5

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣10分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

2

免费保修期外售后服务条款偏离情况

（可选）

0

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣10分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

3

其他商务条款偏离情况

5

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣10分。

（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

4

综合实力部分

10


序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

5

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。

3

节能环保

（可选）

0

专家评分

1、财政部、国家发展和改革委员会制定的《节能产品政府采购清单》；

2、财政部、环境保护部制定的《环境标志产品政府采购清单》

上述清单以截图及网址为准。两项都提供的得100分，少提供一项得50分，未提供的不得分。

其它


附件

备注：本公示期限为2个工作日。公示期内如有异议，请登录采购系统，点击“提出采购需求质疑”功能点进行质疑，由采购人进行回复。采购需求质疑及回复列表

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 扫描电镜

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