高真空电阻蒸发镀膜设备招标公告
高真空电阻蒸发镀膜设备招标公告
基本信息: | |
申购单主题: | 高真空电阻蒸发镀膜设备 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2017-04-10 17:19 |
竞价结束时间: | 2017-04-13 16:59 我要报价 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1 | 台 | 微纳真空 | VZZ系列 | 是 | 1)质保期为一年;质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外),质保期内由于设备本身原因而引起的零配件的更换,其费用由仪器公司承担。 2)建立客户设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行。 3) 仪器公司在接到故障通知 2 小时内给予解答;对于设备故障,公司在接到故障通知后,北京地区 12 小时内派技术人员到达现场处理,外阜地区 48 小时内到达现场。 4) 质保期以外对设备终身维护,仪器公司只收取成本费,免除服务费。 5) 所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 | ※真空腔室:直径不小于300mm,高度不小于400mm; ※真空系统:主泵采用分子泵,分子泵抽速不小于400L/s,国产或进口一线品牌; ※ 真空极限:优于3.0×10-5Pa; 基片台尺寸:最大可镀基片尺寸不小于4英寸; ※源基距:源基距最高可达300mm以上; ※可在线监测镀膜速率和厚度,膜厚仪采用国产或进口一线品牌; 蒸发源及电源:不少于两组蒸发源; ※交货周期:合同签订后1周; 其他:配齐设备需要的其它外围设备,冷水机一台,设备备品备件一套,要求设备到位后即能开展工作。 注:附送定制的一体化高精度刻蚀掩膜版两块。 注意:※标必须满足,否则做废标处理! | 无 |
标签: 大学
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