西安交通大学-竞价公告(CB106982017001103)
西安交通大学-竞价公告(CB106982017001103)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 匀胶旋涂仪,加热台,紫外臭氧清洗机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 专用设备 |
| 使用币种： | 美元 |
| 竞价开始时间： | 2017-05-12 10:38 |
| 竞价结束时间： | 2017-05-17 10:37 我要报价 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 匀胶旋涂仪 | 1 | 套 | 美国Laurell | WS-650Mz-23NPPB | 是 | 按行业标准提供服务 | 、 系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；1.3 设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4 通信接口，蓝牙连接2、处理腔体2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米)；2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；3、 旋转马达3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm，3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；4、控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；4.2 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；4.3可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；4.4 分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；5、配套泵浦5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；6、系统附件6.1 免费赠送基于Windows的操作软件；6.2 原装进口水平测试仪； 6.3 两袋密封圈； 6.4 配有两套可更换的废液接收单元；7、制造厂商证书要求7.1 已通过ROHS认证；7.2 已通过NIST标准认证； 7.3已通过EC认证（欧盟标准符合性证明书）； | 无 |
| 加热台 | 1 | 套 | 英国EMS | HP1000-3 | 是 | 按行业标准提供服务 | ★1、温度加热范围：50℃到250℃；2、热板表面材料：阳极氧化铝；★3、温度均匀性：工作界面上±1%；4、适用基片尺寸：10mm~150mm；5、配置真空端口，可以使基片和热板的紧密接触；★6、热板配置直径2.5mm顶针，最大升起高度3mm；7、P.I.D温度控制，数字显示；8、高亮度4位数字LED显示温度；★9、控温显示精确到0.1位（℃/℉）；10、配置定时器，可编程定时控制真空和顶针；11、电源：220V,50/60Hz；12、无油真空泵一台； | 无 |
| 紫外臭氧清洗机 | 1 | 套 | 美国Jelight | 42-220 | 是 | 按行业标准提供服务 | 1、样品高度：所有系统都配置可调节高度的样品台，调节灯与样品之间的间距，并带位置锁定，调节高度不低于1.5英寸。2、最大清洗尺寸：6.75 x 6.5英寸。3、UV格栅灯：产生臭氧的低压汞格栅灯，灯管寿命大约为5000小时。4、典型强度：25－35Mw/cm2 @254nm。5、样品放置：抽屉式样品放置。6、安全装置：当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯。7、进出气口：符合国际标准的进出气接口。8、电源：220~240伏交流，50/60赫兹。 | 无 |
标签: 西安交通大学
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