微波等离子体化学气相沉积系统项目已具备招标条件。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受河北半导体研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围
1.1 货物名称：微波等离子体化学气相沉积系统

1.2 招标编号：****-********A002

1.3 主要技术参数：

1.3.1反应腔体能够支持高功率密度等离子体，且工艺气压可达350mbar。

1.3.2正常生长金刚石时，系统的微波反射功率≤10 W。

1.3.3生长样品过程中样品台高度实时电动可调，调节精度可达10 μm，设计用于一次性生长厚单晶。

1.3.4提供衬底旋转功能，转速最大可达10 rpm。

1.4.5支持与实验室气体泄漏探测报警系统耦合，当实验室气体泄漏报警时能够自动关闭设备工艺气体、高功率微波源。

1.3.6支持全自动、半自动和手动操作模式。

1.3.7适合生长超高纯度单晶，杂质浓度可以低于1 ppb。

1.3.8适合一次性生长厚单晶以及多种子生长，单次生长厚度可达2 mm。

1.3.9适合生长2英寸光学级金刚石薄膜。

1.4 数量：1套

1.5 交货期：合同签订后6个月内

1.6 项目现场：河北省石家庄市合作路113号

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2 投标人必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

2.3 制造商在2014年至今应具有同类产品的制造销售业绩，提供业绩证明材料（合同复印件或中标通知书或用户证明）。

2.4 本项目不接受联合体投标。

2.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

2.6 接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取
3.1 凡有意参加投标者，请于2017年5月17日至2017年5月24日，每日上午9时至11时，下午14时至16时（北京时间，下同）购买招标文件。

3.2 购买招标文件前请详细填写招标文件购买记录表（详见附件）中的每一项内容，填写完整将其传真到***-********，同时向[email protected]邮箱发送招标文件购买记录表word版。注意：发送购买信息的邮箱必须与接收招标文件的邮箱相同。

3.3 招标文件每套售价800元，如需邮寄纸质版招标文件需另加邮寄费100元。招标文件售后不退。有意参加投标的单位以单位账户向招标代理机构电汇购标款，汇款时请注明招标编号。

3.4 我公司将在收到招标文件购买记录表及标书款到账后发送招标文件。因标书款到账时间会有延迟，请您耐心等待。

4. 投标文件的递交
4.1 投标文件递交的截止时间为2017年6月13日9时30分，投标文件递交地点为河北省石家庄市新华区合作路111-1号石家庄新上海国际饭店五层小会议室。

4.2 逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

5. 开标
开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。

7. 联系方式
招标人名称：河北半导体研究所

地址：河北省石家庄市合作路113号

联系人：张振宇

电话：****-********

招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼二层

售卖联系人：刘女士

电话：***-********

传真：***-********

户 名：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

开户行（人民币）：华夏银行北京西客站支行

帐 号（人民币）：****************0

2017年5月17日