上海中招招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2017-05-31在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:科研教育
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0834-1741SH17A115/02
招标项目名称:离子束蚀刻系统
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
0834-1741SH17A115/01	高温非光学真空型恒温器	1台	真空度：优于6.5×10-5mbar。
0834-1741SH17A115/02	离子束蚀刻系统	1套	真空腔室尺寸：直径要大于等于16英寸，深度要大于等于20英寸。
0834-1741SH17A115/03	原子力显微镜	1台	轻敲模式带有Q-control控制技术 (AC mode)。
0834-1741SH17A115/04	湿式蚀刻清洗系统	3套	可依据工艺需求设置时间、液位和电阻率等参数，在控制器控制下完成清洗过程，具备LED实时显示工艺状态。可存储100个Cycle。
0834-1741SH17A115/05	晶圆切割机	1台	θ轴旋转角度≥320°。
0834-1741SH17A115/06	临界点干燥仪	1套	超临界温度控制范围：-30℃ ~ +60℃。
0834-1741SH17A115/07	膜厚分析系统	1套	运行环境：1000级净化间。
0834-1741SH17A115/08	半导体器件分析仪	1套	中功率IV测试模块的电压测量最小分辨率≤0.5uV。
0834-1741SH17A115/09	快速热处理系统	1套	典型工艺温度范围：400℃～1050℃。
0834-1741SH17A115/10	微控楔键合机	1套	可键合金丝、铝丝、金带。
0834-1741SH17A115/11	真空烘箱	1套	HMDS排空真空度：≤100 mTorr。
0834-1741SH17A115/12	空压设备	1套	通风:需冷却风通风管道。
0834-1741SH17A115/13	超纯水设备	1套	基本配置包括：全自动增压泵、全自动超滤系统、全自动软化过滤器。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:见招标文件
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2017-05-31
招标文件领购结束时间:2017-06-07
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市共和新路1301号C座110室
招标文件售价:￥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2017-06-21 13:00
投标文件送达地点:上海市共和新路1301号C座111会议室
开标地点:上海市共和新路1301号C座111会议室
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人:上海科技大学
地址:上海市浦东新区环科路199号行政中心205号
联系人:厉莉
联系方式:86-21-********
招标代理机构:上海中招招标有限公司
地址:上海市共和新路1301号C座110室
联系人:胡玮
联系方式:86-21-********
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国民生银行上海分行虹桥支行
招标代理机构开户银行(美元):中国民生银行上海分行虹桥支行
账号(人民币):****************
账号(美元):****************
其他:Swift BIC: MSBCCNBJ002