南方科技大学-竞价公告(CB143252017000200)
南方科技大学-竞价公告(CB143252017000200)
基本信息: | |
申购单主题: | 手套箱蒸镀一体机 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2017-06-21 19:41 |
竞价结束时间: | 2017-06-28 17:30 我要报价 |
申购备注: | 质保期:2年送货时间:不晚于2017-10-16付款方式:合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装,调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%;余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。质保期,付款方式,送货时间为最低要求,不满足以上要求的视为无效投标。供应商必须按要求填写附件中的多品牌网上竞价技术要求,并在参与竞价时上传,如不提供,视为无效投标。 |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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手套箱蒸镀一体机 | 1 | 无 | 无 | 是 | 按行业标准提供服务 | 1.蒸发室技术指标1.1蒸发室极限真空度: 5×10-5pa1.2蒸发室从大气开始抽气,40分钟能达到7×10-4Pa。 1.3设备总体漏率:全自动真空系统,1200lkyky分子泵+9l静音机械泵,关机停泵12小时后,真空度优于5Pa。1.4系统真空检漏漏率:≤5.0x10-10 Pa.l/S1.5基片尺寸:最大100*100mm 一片;或多小片;1.6蒸发可调间距:240±30mm。可加热旋转升降。1.7基片转速:0~30转/分连续可调。1.8膜厚探头4只.1.9有机蒸发源4只,金属蒸发源4组。挡板电动或气动。2.设备配置说明: 2.1 蒸发室真空;腔体为内尺寸约440×440×550mm,方型真空室,前后开门结构,材质为高真空专业SUS304不锈钢,内外表喷丸,电解抛光处理,可内烘烤100~150℃。真空室盖上有一个CF630刀口法兰接基片加热器及转架与基片挡板机构。真空室侧面有一个CF200刀口法兰接CF200弯管机构,连接KYKY-1200L型高性能分子泵。前门有一个带防污染挡板上观察窗组件和下观察窗组件。后门在手套箱内,可滑动开门,门上有俩套DN100观察窗,腔体周围有CF35法兰,可连接CF35气动角阀、四芯引线法兰、电阻规管、金属电离规管、蒸发源挡板等。CF16法兰1个,一个放阀。3.电控部分3.1电控柜 1套。 电器柜,1.8M,用于放置各种电控U箱3.2 控制系统1套。控制真空系统,PLC+10寸触屏,控制前级,机械泵,样品台旋转控制。样品运行控制,蒸发源挡板,设备安全报警。 3.3复合真空计 1套成都正华 ZDF-4型数显复合真空计。一高一低。3.4 膜厚仪 1套。在线测量膜厚6路。3.5有机蒸发电源1套国产电源可加热600度,一带四。3.6金属蒸发电源2套, 国产,5V,200A。一带二。可切换。3.7样品架电源1套温度:常温~500℃可调,配置日本导电SR3控制仪。控温精度±1℃。PID自整定迅速可靠。3.8分子泵电源 1台KYKY-1200分子泵的控制电源一套。2.9烘烤照明电源1套。用于真空室内照明,烘烤,照明灯与烘烤灯分开.由触摸屏控制。1米,1.2米,1.8标准手套箱各一台。自动控制水冷系统一套。 | 登陆后可下载附件 |
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