曝光前温控设备&恒温污染物处理设备国际招标公告(1)
曝光前温控设备&恒温污染物处理设备国际招标公告(1)
中国电子进出口总公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2017-06-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:第6代LTPS/AMOLED生产线项目
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-164BOECD0002/62
招标项目名称:第6代LTPS/AMOLED生产线项目
项目实施地点:中国四川省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-164BOECD0002/59 | 超声波清洗机 | 19 | 该设备主要用于AMOLED柔性Dry Etch/Sputter/Oven等工艺前的超声波清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-164BOECD0002/60 | 刻蚀液管理系统 | 2 | 该设备主要用于低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中刻蚀液管理系统。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500 |
0714-164BOECD0002/61 | 对流式加热炉&薄膜封装热老化炉 | 3+2 | 该设备主要用于加热工艺和加热老化工艺。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-164BOECD0002/62 | 曝光前温控设备&恒温污染物处理设备 | 8+8 | 该设备主要用于曝光前玻璃基板温度控制。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-164BOECD0002/63 | 宏观微观缺陷检查机&结晶测量仪 | 4+4 | 该设备主要用于宏观微观光学检测。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-164BOECD0002/64 | 玻璃边缘检查机 | 33 | 该设备主要用于当玻璃在取放片过程中或传送过程中,去检测玻璃边缘/表面, 以及在PECVD制程后,检测非成膜区域。当EGIS检测到裂痕或缺角或异物或非成膜区域超过设定规格要求, EGIS将会发信号及时通知主设备安全地停止并报警。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-164BOECD0002/65 | 加热恒温设备 | 150 | 该设备主要用于分析薄膜化学键含量。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-164BOECD0002/66 | 特气供应系统 | 2 | 该设备主要用于特殊气体供应。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-164BOECD0002/67 | 基板初始清洗机&切割后清洗机&激光剥离前清洗机 | 2+1+2 | 基板初始清洗机主要用于6G-HALF 基板蒸镀前清洗。切割后清洗机主要用于6代线半切及研磨后的清洗工艺。激光剥离前清洗机主要用于OLED封装工艺的LLO前清洗工艺。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
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