南方科技大学-竞价公告(CB143252017000447)
南方科技大学-竞价公告(CB143252017000447)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 脉冲激光沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2017-09-15 10:57 |
| 竞价结束时间： | 2017-09-22 10:20 我要报价 |
| 申购备注： | 1.付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；剩余5%的尾款作为质保金，在验收12个月后在未发现乙方有违反售后服务承诺或质量问题的前提下，由甲方全部无息支付给乙方。 2.保修期1年； 3.报价包含代理费等货物送到学校指定地点的一切费用； |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 脉冲激光沉积系统 | 1 | 套 | 沈阳科仪 | PLD-300 | 是 | 按行业标准提供服务 | 1.极限真空度：≤8x10-6 Pa (经烘烤除气后)；2.系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；3.系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；4.激光入射口到地面的距离为1160±60mm5.球型真空室尺寸Ф300mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理。6.每次可以装4块靶材，靶材尺寸：Φ1"； 靶材可实现自转，转速5～60转/分，连续可调，由电机驱动磁力耦合机构控制；靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制；靶材屏蔽罩将3块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；7. 基片尺寸：可放置φ1″基片；基片加热最高温度 800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化材料作加热器；基片可连续回转，转速5～60转/分，电机驱动磁耦合机构控制；基片与旋转靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制；8. RF150两用活开门：1套； RF63石英玻璃窗口：1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）；3RF63红外石英玻璃窗口：1块（透过红外波段JGS3石英玻璃，供红外测温使用；9. 100SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：2路10.相关备件 1套 | 无 |
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