GAN REWORK清洗机招标公告
GAN REWORK清洗机招标公告
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2017-09-25在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1 SPM清洗机 1台(套) 包2 GAN REWORK清洗机 1台(套) 包3 ITO+BOE半自动蚀刻清洗机 1台(套) 包4 PLASMA清洗设备 3台(套)
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1740SUMECL53/02
招标项目名称:GAN REWORK清洗机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包1 | SPM清洗机 | 1台 | 加工对象:蓝宝石基底的GaN、砷化镓基底的AlGaInP晶片和PSS衬底 | 无 |
包2 | GAN REWORK清洗机 | 1台 | 晶圆尺寸:适用于4 / 6 inch | 无 |
包3 | ITO+BOE半自动蚀刻清洗机 | 1台 | 槽位设置:ITO蚀刻槽2组,每组1酸1水;BOE蚀刻槽2组,每组1酸1水 | 无 |
包4 | PLASMA清洗设备 | 3台 | 制程温度: <70℃(5 min) | 无 |
招标
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