等离子清洗机,匀胶旋涂仪,加热台招标公告
等离子清洗机,匀胶旋涂仪,加热台招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 等离子清洗机,匀胶旋涂仪,加热台 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2017-09-28 09:11 |
| 竞价结束时间： | 2017-10-11 10:00 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 等离子清洗机 | 1 | 台 | Harrick | PDC-002 | 是 | 免费年度巡检服务；每年提供所在城市的免费设备巡检服务不少于3次，检查设备潜在故障和隐患，培训新操作人员。 | 1、紧凑的台式设备、功率为低、中、高档可调。2、圆柱形舱：长6.5 (165mm)英寸，直径6 (152mm)英寸；3、应用最大到30W 的射频线圈；4、档位功率设置：输入功率200W5、应用射频线圈，产生的等离子功率对应表：低档功率：电压716V,DC电流10mA，DC工作功率 7.16W中档功率：电压720V,DC电流15mA，DC工作功率10.15W高档功率：电压740V,DC电流40mA，DC工作功率29.6W6、RVR003H美国Dekker原装进口高级油泵，附带软管、软管箍、卡箍等连接套件。7、真空实时监视单元：包含真空管路转接件、真空数据采集、真空数据传感器和真空数值实时显示。8、PDC-HQT真空样品托盘 | 无 |
| 匀胶旋涂仪 | 1 | 台 | Laurell | WS-650Mz-23NPPB | 是 | 免费年度巡检服务；每年提供所在城市的免费设备巡检服务不少于3次，检查设备潜在故障和隐患，培训新操作人员。 | 1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm；3、转动速度：0-12,000rpm， 4、*马达旋涂转速：稳定性能误差<±1%；5、转速调节精度：<0.2rpm，重复性<0.2rpm；6、工艺时间设定：1-5999.9sec/step0.1精度；7、*匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；8、*高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。9、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；10、*分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！]11．保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气和压缩气体，对旋转马达进行气流保护；12．真空泵系统：无油型 220V，50Hz；13、原装进口水平测试仪； | 无 |
| 加热台 | 2 | 台 | Asone | NDK-1K | 是 | 按行业标准提供服务 | 1、尺寸为170mm×170mm，采用铝合金材质表面喷涂陶瓷保护层制作，具有非常好的耐药品性；2、PID温度控制，最高温度350°C，温度显示精度±2%，温度分布精度±2℃；3、定时功能：设定范围为1分钟-99小时59分钟（1分钟单位），4、程序控制：可设置8个步骤，重复次数可达9999次。 | 无 |
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