晶圆单片式晶圆清洗机招标公告
晶圆单片式晶圆清洗机招标公告
湖北省成套招标股份有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2017-10-15在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:长江存储科技有限责任公司国际设备采购(第14批)
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0668-1740H*******/05
招标项目名称:长江存储科技有限责任公司国际设备采购项目(第14批)
项目实施地点:中国湖北省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 单片式轻聚合物化学清洗机 | 2 | 详见文件 | |
2 | 单片式臭氧化学清洗机 | 2 | 详见文件 | |
3 | 单片式钨制程晶背清洗机 | 2 | 详见文件 | |
4 | 单片式钨制程化学清洗机 | 2 | 详见文件 | |
5 | 晶圆单片式晶圆清洗机 | 2 | 详见文件 | |
6 | 晶圆单片式晶圆清洗机(铜制程) | 2 | 详见文件 | |
7 | 晶圆表面沾污测量系统 | 2 | 详见文件 | |
8 | 薄膜厚度光学量测系统 | 4 | 详见文件 | |
9 | 半导体材料元素浓度测量系统 | 2 | 详见文件 | |
10 | 薄膜电性分析和硅基底测量系统 | 2 | 详见文件 | |
11 | 薄膜厚度和成分测量仪 | 2 | 详见文件 | |
12 | 薄膜厚度和成分测量系统 | 2 | 详见文件 | |
13 | 光学特征尺寸量测系统 | 4 | 详见文件 | |
14 | 介质薄膜测量系统 | 2 | 详见文件 | |
15 | 扫描电镜曝光对准测量系统 | 2 | 详见文件 | |
16 | 金属薄膜测量系统 | 2 | 详见文件 | |
17 | 晶圆质量测量系统 | 2 | 详见文件 | |
18 | 扫描电镜关键尺寸测量系统 | 4 | 详见文件 | |
19 | 扫描电镜关键尺寸测量系统 | 4 | 详见文件 | |
20 | 扫描电镜曝光对准测量系统 | 2 | 详见文件 | |
21 | 原子力显微镜系统 | 4 | 详见文件 | |
22 | 浅槽隔离集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
23 | 层间介质层集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
24 | 氧化硅集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
25 | 多晶硅集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
26 | 前段钨集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
27 | 后段钨集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
28 | 铜集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 | 2 | 详见文件 | |
29 | 电子束缺陷扫描量测仪 | 1 | 详见文件 | |
30 | 电子束缺陷扫描仪 | 2 | 详见文件 | |
31 | 电子显微镜 | 2 | 详见文件 | |
32 | 光学宏观缺陷扫描仪 | 3 | 详见文件 | |
33 | 光学显微镜 | 3 | 详见文件 | |
34 | iline扫描光刻机2 | 1 | 详见文件 | |
35 | 晶圆级器件可靠性并行测试机台 | 1 | 详见文件 |
招标
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